成膜装置的制作方法

技术总结
本实用新型公开一种成膜装置，包括：容器，其内部能够容置基板；储藏机构，其储藏含有成膜材料的溶液；喷嘴，其与所述储藏机构连通；所述喷嘴能将所述溶液排出至所述基板上；除残机构，其能将所述喷嘴内残留的所述溶液排出所述喷嘴。

技术研发人员：青山贵昭;远藤光人
受保护的技术使用者：株式会社新柯隆
文档号码：201720780692
技术研发日：2017.06.30
技术公布日：2018.03.23