的悬浊液的情况，将容器11内的压力化设定为 1000化而进行成膜的情况下，形成对于波长550nm的光的折射率为2. 400且具有良好的光 学特性的氧化铁膜。据认为，通过将化设定为lOOOPa，化高于氧化铁的常溫下的蒸汽压 (无测定数据，从外插值预测为10 1中aW下），低于水的常溫下的蒸汽压（约3000化)，结果 形成了致密的无机氧化铁膜，得到良好的光学特性。
[0079] <其他实施方式〉
[0080] 本发明的成膜装置不限于上述成膜装置1的方式（成膜剂溶液21的排出方向朝 下），可W将喷嘴17的设置朝向配置为朝横向（成膜剂溶液21的排出方向朝横向）。设为 朝横向的情况下，例如，可W从真空容器11的内部侧方水平方向插入喷嘴17的一端，使喷 嘴17的另一端露出于容器11的侧壁外部。或者，也可W在喷嘴17的长度方向中间附近安 装此前的部分（包括排出部19)可W转动例如±90度左右的转动部件（图示省略），在此 基础上，将该喷嘴17的一端（排出部19连接于此）从真空容器11的内部上方朝下插入， 使喷嘴17的另一端露出于容器11外部而进行配置。无论哪种情况，将喷嘴17的设置朝向 设为朝横向的情况下，与此对应，基板支架31在真空容器11的内部侧方被配置成保持该基 板100的面与连接于喷嘴17的一端的排出部19对置。
[0081] 此外，还可将基板支架31构成为可移动的同时喷嘴17构成为可通过未图示的搬 运机构移动，或者构成为喷嘴17能够另外通过未图示的搬运机构移动。该情况下，即使喷 嘴17侧为移动的方式，也可W应用该成膜方法。 阳0間实施例
[0083] 接着，举出将上述发明的实施方式更具体化的实施例，对本发明进行进一步详细 的说明。
[0084][实验例1~6]
[0085] <1.防污膜样品的制作〉
[0086] 使用图1示出的成膜装置1，在基板支架31的基板保持面上设置2张基板100 (玻 璃基板，尺寸：50mmX100mm)。
[0087] 准备表1所述的构成的成膜剂溶液a~d。
[0088][表1]
[0090] 需要说明的是，表1中，"防油剂1"是表面防污涂布剂（大金工业公司制造，商品 名：化toolDSX，成分名：含氣有机娃化合物），"防油剂2"是氣系防污涂布剂（信越化学工 业公司制造，商品名：KV-178,成分名：含氣有机娃化合物），"溶剂1"为氣系溶剂（住友3M 公司制造，商品名：Novec7200)，"溶剂2"是氣系溶剂（住友3M公司制造，商品名：Novec 7300)。
[0091] 将成膜开始时的容器11内的压力化、距离D等其他的成膜条件列于表2。需要说 明的是，使用可W排出140~260ym尺寸的溶液状粒子的喷雾喷嘴作为喷嘴的排出部，成 膜剂溶液的排出时间一律设为30秒。然后，得到于基板100上成膜有厚度10~15nm的防 污膜的各实验例样品。
[0092] 需要说明的是，在实验例1~3中，W设置有基板100的基板支架31静止于真空 容器11内的状态进行防污膜的成膜（分批处理）。在实验例4~6中，在真空容器11内一 边搬运设置有基板100的基板支架31，一边进行成膜（连续处理）。
[0093] <2.评价〉
[0094] 2-1.防污膜的耐久性
[0095] 在得到的各实验例样品的防污膜的表面上负载Icm2的钢丝棉（SW)#0000,W施加 Ikg/cm2载荷的状态，使其在50mm的直线上W1秒往复1次的速度往复（摩擦）。进行3500 次该往复操作后，测定防污膜面的纯水的接触角。一并测定刚成膜之后的防污膜面的纯水 的接触角。关于接触角的值，对于纯水滴加1分后的接触角的测定值，采用重复5次滴加、 测定得到的测定值的平均值。将结果列于表2。
[0096]2-2.防污膜的最大擦伤往复次数
[0097] 在得到的各实验例样品的防污膜的表面上负载Icm2的钢丝棉（SW)#0000,W施加 Ikg/cm2载荷的状态，使其在50mm的直线上W1秒往复1次的速度往复（摩擦）。每进行100 次该往复操作，用油性万能笔（有机溶剂型记号笔，商品名：mckee极细，斑马公司制造）在 试验面（防污膜面）上划线，并评价能否用干布擦去油性万能笔的有机溶剂型墨液。其结 果，将能够擦去有机溶剂型墨液的最大擦伤往复次数列于表2。 阳09引[表引
阳100] <3.考察〉 阳101] 3-1.分批处理的情况（实验例1~3) 阳102] 如表1和表2所示，实验例1、2(低真空下的排出）中，排出成膜剂溶液时的压力 化高于Sl的蒸汽压PU低于S2的蒸汽压P2,其刚成膜之后的防污膜表面的接触角在SW摩 擦后几乎没有降低，耐久性极其优异。此外，最大擦伤往复次数达3500次W上，是充分的， 确认其具备可W禁得起实用的耐摩擦性。 阳10引需要说明的是，虽然表2中未示出，但是在与实验例1、2相同条件下，在10化（中 真空）下排出的情况下（实验例la、2a)，使溶质浓度降低至0.01重量％的情况下（实验例 化、化），作为成膜剂溶液使用表1的溶液C或者d的情况下（实验例lc、2c)也得到了与实 验例1和2大致同等的结果。此外，在与实验例1、2相同条件下，使溶质浓度降低至0. 005 重量％的情况下（实验例Id, 2d)，防污膜的耐久性与实验例1和2相比较略微下降，但是也 确认具备可W禁得起实用程度的耐久性。
[0104] 与此相对，化过高于P2的实验例3(在大气压下的喷雾）中，刚成膜之后的防污 膜表面的接触角在SW摩擦后大幅下降。此外，最大擦伤往复次数也极少，确认到其不具备 耐久性。 阳105] 3-2.连续处理的情况（实验例4~6)
[0106] 基板的搬运速度变快时，防污膜的耐久性下降，此外确认到最大擦伤往复次数存 在变少的趋势。膜性能和生产率平衡好的是实验例5。
【主权项】
1. 一种成膜方法，其是在真空中于基板上形成薄膜的成膜方法，其中，将含有2种以上 材料的溶液在基于构成该溶液的各材料的蒸汽压而设定的压力的气氛下排出至基板上。2. 如权利要求1所述的成膜方法，其中，构成所述溶液的各材料含有第1材料（S1)和 具有高于该S1的蒸汽压（P1)的蒸汽压（P2)的第2材料（S2)时，在高于P1且低于P2的 低压力的气氛下排出所述溶液。3. 如权利要求1所述的成膜方法，其中，构成所述溶液的各材料含有第1材料（S1)和 具有高于该S1的蒸汽压（P1)的蒸汽压（P2)的第2材料（S2)时，在P2以上的压力的气氛 下排出所述溶液。4. 如权利要求1所述的成膜方法，其中，构成所述溶液的各材料含有第1材料（S1)和 具有高于该S1的蒸汽压（P1)的蒸汽压（P2)的第2材料（S2)时，在P1以下的压力的气氛 下排出所述溶液。5. 如权利要求1~4任一项所述的成膜方法，其中，其以具有搬运机构的自动化方式进 行成膜。6. -种成膜装置，其是用于在真空中于基板上形成薄膜的成膜装置，其中，所述装置包 括： 在内部设置作为成膜对象的基板的真空容器、 对真空容器内进行排气的排气单元、 储藏含有2种以上材料的溶液的储藏容器、 将所述溶液排出至所述基板上的喷嘴， 其构成为：所述真空容器内的压力达到基于构成所述溶液的各材料的蒸汽压而设定的 压力时，将所述溶液从喷嘴排出至基板上。7. 如权利要求6所述的成膜装置，其中，其为具备搬运基板的搬运机构的自动化方式。
【专利摘要】本发明提供一种以低成本成膜出具备耐久性的薄膜的方法。该成膜方法使用成膜装置(1)。该装置(1)包括基板(100)配置于内部下方的真空容器(11)、对该容器(11)内进行排气的真空泵(15)、设置于容器(11)外部且储藏成膜剂溶液(21)的储藏容器(23)、一端具有成为可排出成膜剂溶液(21)的排出部(19)的喷嘴(17)。使用含有2种以上材料的溶液作为成膜剂溶液(21)。将该成膜剂溶液(21)在基于构成该溶液的各材料的蒸汽压而设定的压力的气氛下排出至基板上。
【IPC分类】B05C9/10, B05D3/00
【公开号】CN105377451
【申请号】CN201480007385
【发明人】佐守真悟, 高濑慎一, 菅原聪, 长江亦周, 姜友松
【申请人】株式会社新柯隆
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2014年5月23日
【公告号】CN105307783A, CN105307784A, WO2015177916A1, WO2015178167A1, WO2015178193A1