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半导体封装及其制造方法与流程
文档序号:18949813
发布日期:2019-10-23 02:01
阅读:
来源:国知局
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半导体封装及其制造方法与流程
技术特征:
技术总结
一种半导体封装可包含:衬底;安置在所述衬底上的微机电装置;将所述衬底连接到所述微机电装置的互连结构;以及围绕所述互连结构的金属密封结构。
技术研发人员:
陈重豪;郭进成
受保护的技术使用者:
日月光半导体制造股份有限公司
技术研发日:
2019.03.20
技术公布日:
2019.10.22
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