半导体封装及其制造方法与流程

文档序号:18949813发布日期:2019-10-23 02:01阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种半导体封装可包含:衬底;安置在所述衬底上的微机电装置;将所述衬底连接到所述微机电装置的互连结构;以及围绕所述互连结构的金属密封结构。

技术研发人员:陈重豪;郭进成
受保护的技术使用者:日月光半导体制造股份有限公司
技术研发日:2019.03.20
技术公布日:2019.10.22
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