一种电镀镍边缘屏蔽装置的制作方法

文档序号:5291581阅读:346来源:国知局
专利名称:一种电镀镍边缘屏蔽装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种电镀镍边缘屏蔽装置。
背景技术
现有技术中,靶材在电镀过程中,镀层边缘镍沉积速度一般为其他区域的2-3倍,为保持镀层厚度的均匀性,一般要将边缘部分切除4-5mm,这样不仅造成镀层材料的浪费,更重要的是造成了靶材的浪费,特别是对于In、Ga等贵重合 金靶材边料的切除损失非常大。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种电镀镍边缘屏蔽装置。本实用新型内容是通过以下技术方案实现的本实用新型包括传动导电辊(I)、屏蔽器(3)、卡槽(4)、弹簧(5)、电镀液(6)、电镀槽壁(7)。其特征在于电镀槽内设有两个屏蔽器(3),用弹簧(5)将屏蔽器(3)与电镀槽壁
(7)连接,屏蔽器(3)内设有卡槽(4),电镀槽内设有两个传动导电棍(I),电镀液(6)置于电镀槽中。所述的屏蔽器(3)为开口卡槽型,卡槽(4)的材质为pvc板,卡槽的高度为祀材厚度与预期镍镀层厚度的2倍之和,卡槽(4)的长度为两传动导电辊(I)间距的2/3。所述的弹簧(5)的材质为普通弹簧,弹性系数为O. 5N/mm。本实用新型的有益效果是靶材在电镀过程采用屏蔽装置,镍镀层边缘厚度为其他区域的I. 5倍左右,边料切除量相比以前减少60%,大大提高了材料的利用率。本实用新型保持了镀层厚度的均匀性,降低了镀层边缘镍沉积速度,从而减少了靶材余料的浪费,节约了成本。

图I为本实用新型的结构示意图。图2为图I的3所示局部放大图。图I和图2中所不1、传动导电棍;2、祀材;3、屏蔽器;4、卡槽;5、弹簧;6、电镀
液;7、电镀槽壁。
具体实施方式
如图I和图2中所示,本实用新型包括传动导电辊I、屏蔽器3、卡槽4、弹簧5、电镀液6、电镀槽壁7。其特征在于电镀槽内设有两个屏蔽器3,用弹簧5将屏蔽器3与电镀槽壁7连接,屏蔽器3内设有卡槽4,电镀槽内设有两个传动导电棍I,电镀液6置于电镀槽中。屏蔽器3为开口卡槽型,卡槽4的材质为pvc板,卡槽的高度为祀材厚度与预期镍镀层厚度的2倍之和,卡槽4的长度为两传动导电辊间距的2/3,靶材2边缘部分在卡槽3内。工作状态下,靶材2边缘随传动导电辊I运动,在运动过程中经过卡槽4内部,卡槽4起到提高电镀液中镍离子的运动路程的作用,弹簧5起到防止靶材偏移从而导致卡槽失效的作用,采用此装置降低了靶材边缘附近的镍离子浓度,从而降低镍沉积速度。 ·
权利要求1.一种电镀镍边缘屏蔽装置,它包括传动导电辊(I)、屏蔽器(3)、卡槽(4)、弹簧(5)、电镀液(6 )、电镀槽壁(7 ),其特征在于电镀槽内设有两个屏蔽器(3 ),用弹簧(5 )将屏蔽器(3 )与电镀槽壁(7 )连接,屏蔽器(3 )内设有卡槽(4 ),电镀槽内设有两个传动导电辊(I),电镀液(6 )置于电镀槽中。
2.根据权利要求I所述的一种电镀镍边缘屏蔽装置,其特征在于,屏蔽器(3)为开口卡槽型,卡槽(4)的材质为pvc板,卡槽的高度为靶材厚度与预期镍镀层厚度的2倍之和,卡槽(4)的长度为两传动导电辊间距的2/3。
3.根据权利要求I所述的一种电镀镍边缘屏蔽装置,其特征在于,弹簧(5)为普通弹簧,弹性系数为O. 5N/mm。
专利摘要本实用新型涉及一种电镀镍边缘屏蔽装置,本实用新型包括传动导电辊、屏蔽器、卡槽、弹簧、电镀液、电镀槽壁。其特征在于电镀槽内设有两个屏蔽器,用弹簧将屏蔽装置与电镀槽壁连接,屏蔽器内设有卡槽,电镀槽内设有两个传动导电辊,电镀液置于电镀槽中。屏蔽器为开口卡槽型,靶材边缘随传动导电辊运动,在运动过程中经过卡槽内部,卡槽起到提高电镀液中镍离子的运动路程的作用,弹簧起到防止靶材偏移从而导致卡槽失效的作用,本实用新型保持了镀层厚度的均匀性,降低了镀层边缘镍沉积速度,从而减少了靶材余料的浪费,节约了成本。
文档编号C25D5/02GK202509143SQ20122003192
公开日2012年10月31日 申请日期2012年2月1日 优先权日2012年2月1日
发明者李应国, 王萍, 袁泽中, 邹硕华, 陈锦文 申请人:湖南中精伦金属材料有限公司
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