喷流型电镀槽的制作方法

文档序号:11975006阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种喷流型电镀槽,包括:多个槽体、喷流装置,所述多个槽体按两个槽体一行设置为多列,所述每个槽体底部前后两端各设置有一组喷流装置;所述喷流装置包括:进水管、回水管、循环泵、垂直喷杆、喷头,所述进水管设置在槽体底部一端,所述回水管设置在槽体底部中部,所述进水管、回水管与循环泵相连接;所述进水管上竖直设置有多根垂直喷杆,每根垂直喷杆从上到下均匀设置有多个喷头。本实用新型提供的喷流型电镀槽,利用槽体两端设置的喷流装置,可以充分的对两组喷流装置中间设置的面板进行药液喷流;另外,垂直喷杆与喷头的结构,可保证面板电镀均匀,镀铜纯度高,提高盲孔,钻孔的电镀质量。

技术研发人员:崔纪涛
受保护的技术使用者:昆山沪利微电有限公司
文档号码:201620497363
技术研发日:2016.05.27
技术公布日:2016.12.07

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