能够电镀大尺寸化经光致抗蚀剂限定的特征的铜电镀浴和电镀方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明提供允许在高电流密度下镀覆具有基本上均匀的形态和减少的节结产生的经光致抗蚀剂限定的大型特征的铜电镀浴和方法。所述铜电镀浴包括提供具有良好TIR％和WID％平衡的大型特征的杂环含氮共聚物的混合物。

技术研发人员：M·托尔塞斯;R·阿兹布鲁克;M·斯卡利西;Z·尼亚兹伊别特娃;J·狄茨维斯泽柯
受保护的技术使用者：罗门哈斯电子材料有限责任公司
技术研发日：2017.03.27
技术公布日：2017.10.10