1.用于晶圆电镀设备的盖子,其特征在于,包括:
晶圆夹持件,用于固定晶圆;和
第二驱动机构,所述第二驱动机构与所述晶圆夹持件传动连接,用于驱动所述晶圆夹持件沿轴向移动。
2.根据权利要求1所述的盖子,其特征在于,还包括:
安装座,用于盖接在电镀液槽上;所述第一驱动机构安装在所述安装座上;
第一驱动机构,所述第一驱动机构与所述晶圆夹持件传动连接,用于驱动所述晶圆夹持件周向旋转。
3.根据权利要求2所述的盖子,其特征在于:
所述第一驱动机构包括第一传动轴,所述晶圆夹持件周向固定在所述第一传动轴上;
所述第一驱动机构被配置为用于带动所述第一传动轴旋转,从而带动所述晶圆夹持机构周向旋转。
4.根据权利要求3所述的盖子,其特征在于:
所述第一驱动机构包括第一旋转电机、第一主动轮、第二从动轮;
所述第一主动轮周向固定在所述第一旋转电机的第一输出轴上;
所述第一传动轴周向固定在所述从动轮上;
所述第一主动轮通过传动带带动所述第一从动轮旋转。
5.根据权利要求3所述的盖子,其特征在于:
所述晶圆夹持件轴向固定在所述第一传动轴上;
所述第二驱动机构与所述第一传动轴传动连接,用于带动所述第一传动轴沿轴向移动,从而带动所述晶圆夹持件沿轴向移动。
6.根据权利要求5所述的盖子,其特征在于:
所述第二驱动机构包括第二旋转电机、第二主动轮、第二从动轮和轴承座;
所述第二从动轮轴向固定在所述安装座上;所述轴承座周向固定在所述安装座上;所述轴承座通过轴承套设在所述第一传动轴上;
所述第二旋转电机的第二输出轴周向固定在所述第二主动轮上,用于带动所述第二主动轮旋转;
所述第二主动轮与所述第二从动轮相啮合,用于带动所述第二从动轮旋转;
所述从动轮设置有内螺纹,所述轴承座设置有外螺纹;所述第二从动轮的内螺纹套设在所述轴承座的外螺纹上,用于带动所述轴承座和所述第一传动轴沿轴向移动。
7.根据权利要求6所述的盖子,其特征在于:
所述第二旋转电机安装在所述安装座上;
所述轴承座上固定连接有顶固定板,所述顶固定板上设置有第一导向件;
所述安装座上设置有第二导向件,所述第二导向件与所述第一导向件相配合以限定所述轴承座沿轴向移动。
8.根据权利要求7所述的盖子,其特征在于:
所述第一导向件的数量至少有两个;
所述第二导向件的数量与所述第一导向件的数量相等,且分别对应;
所述第二导向件与对应所述第一导向件相配合,从而周向固定所述轴承座。
9.根据权利要求7所述的盖子,其特征在于:
所述第一导向件为导向柱,所述第二导向件为导向孔;所述导向柱插设至所述导向孔中。
10.根据权利要求6所述的盖子,其特征在于:
所述安装座上可设置有轴向固定件,所述轴向固定件上设置有两个轴向间隔设置的阻挡件;所述第二从动轮轴向固定在两个所述阻挡件之间。
11.根据权利要求1所述的盖子,其特征在于:
所述晶圆夹持件上设置有晶圆容置槽,用于固定安装晶圆。
12.晶圆电镀设备,其特征在于,包括:
电镀液槽,所述电镀液槽设置有搅拌装置,用于搅拌电镀液;
根据权利要求1-11中任一项所述的盖子,所述盖子盖接在所述电镀液槽上;
晶圆,所述晶圆固定安装在所述晶圆夹持件上。