号向流量调节单元发送控制信号，流量调节单元根据该控制信号调节通入气缸内的气体的流量，使气缸驱动上盖在其开启或关闭过程中进行变速；从而，本发明提供的上盖控制装置可以在上盖开启过程的初段和关闭过程的末段，控制上盖以较慢的速度转动，使上盖与反应腔室的腔体之间不发生碰撞；以及在上盖开启过程的末段和关闭过程的初段，控制上盖以较慢的速度转动，使上盖以及上盖与腔体之间的连接结构不发生抖动；还可以在上盖开启和关闭过程的中段，控制上盖以较快的速度转动，从而可以提高上盖开启或关闭的速度，提高工作效率。
[0021]本发明提供的半导体加工设备，其采用本发明提供的上述上盖控制装置，可以使上盖在其开启或关闭过程中进行变速；从而，在反应腔室的上盖开启过程的初段和关闭过程的末段，上盖可以以较慢的速度转动，使上盖与反应腔室的腔体之间不发生碰撞；以及在上盖开启过程的末段和关闭过程的初段，上盖可以以较慢的速度转动，使上盖以及上盖与腔体之间的连接结构不发生抖动；在上盖开启和关闭过程的中段，上盖可以以较快的速度转动，从而可以提高上盖开启或关闭的速度，提高工作效率。
【附图说明】
[0022]图1为现有的上盖控制装置的结构示意图；
[0023]图2为图1所示上盖控制装置的气路控制单元的气路图；
[0024]图3为本发明第一实施例提供的上盖控制装置的示意图；以及
[0025]图4为本发明第二实施例提供的上盖控制装置的示意图。
【具体实施方式】
[0026]为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的上盖控制装置及半导体加工设备进行详细描述。
[0027]请参看图3，图3为本发明第一实施例提供的上盖控制装置的示意图。上盖控制装置用于控制反应腔室的上盖开启或者关闭，其包括气缸I和气路控制单元。气缸I用于在气路控制单元的控制下驱动上盖开启或关闭；气路控制单元包括检测单元2、流量调节单元3和控制单元。其中，检测单元2用于在上盖开启和关闭的过程中，检测上盖的张开角度是否到达预设角度，若是，则向控制单元发送检测信号；控制单元用于根据检测信号向流量调节单元3发送控制信号；流量调节单元3用于根据控制信号在上盖的开启或关闭过程中对通入气缸I的流量进行调节，以改变上盖开启或关闭的速度。
[0028]检测单元2包括位置传感器21，位置传感器21对应地设置在上盖的张开角度到达预设角度时，气缸I的活塞所在的位置处；位置传感器21在上盖的张开角度到达预设角度时，向控制单元发送检测信号。容易理解，在本实施例中，位置传感器21的数量与预设角度的数量相等，且一一对应。
[0029]气路控制单元还包括开盖气路6和闭盖气路7，其中，开盖气路6与气缸I内的位于活塞一侧的第一腔4连接，用于通过向气缸I的第一腔4通入气体，使气缸I驱动上盖开启。闭盖气路7与气缸I内的位于活塞另一侧的第二腔5连接,用于通过向气缸I的第二腔5通入气体，使气缸I驱动上盖关闭。
[0030]在本实施例中，开盖气路6包括相互并联的多个第一支路；闭盖气路7包括相互并联的多个第二支路。流量调节单元3还包括第一通断阀、第一节流阀、第二通断阀和第二节流阀；其中，第一通断阀为电磁阀，其设置于开盖气路6上，用于在控制单元的控制下，可选择地接通一个或多个第一支路；第一节流阀的数量与第一支路的数量相对应，且第一节流阀一一对应地设置于第一支路上，用于调节其所在第一支路上的流量。具体地，在上盖的开启过程中，控制单元根据检测单元发送的检测信号向第一通断阀发送控制信号，第一通断阀根据该控制信号，使至少一个处于连通状态的第一支路断开，和/或，使至少一个处于断开状态的第一支路连通，并在此过程中，使经处于连通状态的第一支路通入气缸I的第一腔4的气体的流量发生变化，从而实现对通入气缸I的第一腔4的气体的流量的调节。
[0031]第二通断阀为电磁阀，其设置于闭盖气路7上，用于在控制单元的控制下，可选择地接通一个或多个第二支路；第二节流阀的数量与第二支路的数量相对应，且第二节流阀一一对应地设置于第二支路上，用于调节其所在第二支路上的流量。具体地，在上盖的关闭过程中，控制单元根据检测单元发送的检测信号向第二通断阀发送控制信号，第二通断阀根据该控制信号，使至少一个处于连通状态的第二支路断开，和/或，使至少一个处于断开状态的第二支路连通，并在此过程中，使经处于连通状态的第二支路通入气缸I的第二腔5的气体的流量发生变化，从而实现对通入气缸I的第二腔5的气体的流量的调节。
[0032]下面就本实施例提供的上盖控制装置控制上盖在其开启和关闭过程中进行变速的原理进行详细描述。
[0033]在开启上盖之前，首先设置每个第一支路上的第一节流阀，使每个第一支路具有相应的流量。在上盖的开启过程中，气缸I驱动上盖进行转动；在该过程中，若位置传感器21检测到气缸I的活塞运动至其所在位置处，则表明上盖的张开角度到达预设角度，在此情况下，位置传感器21向控制单元发送检测信号，而控制单元根据该检测信号向第一通断阀发送控制信号，第一通断阀根据该控制信号，使至少一个处于连通状态的第一支路断开，和/或，使至少一个处于断开状态的第一支路连通，并在此过程中，使经处于连通状态的第一支路通入气缸I的第一腔4的气体的流量发生变化，从而推动气缸I的活塞加速或减速，使上盖的转动速度加快或减慢，进而在上盖开启的过程中实现上盖开启速度的变速。
[0034]在上盖的关闭过程中，实现上盖关闭速度变速的原理与上述过程类似，在此不再赘述。
[0035]进一步地，在本实施例中，设置预设角度的数量为两个，其中，第一个预设角度为上盖接近闭合状态，且上盖与反应腔室的腔体脱离接触时的张开角度值；第二个预设角度为上盖接近其最大张开角度时的张开角度值。优选地，第一个预设角度为15°，第二个预设角度为62°。此外，位置传感器21的数量为两个，分别为第一位置传感器21 '和第二位置传感器21"，其中，第一位置传感器21丨与第一个预设角度相对应，第二位置传感器21"与第二个预设角度相对应。
[0036]具体地,就本实施例而言,在开启上盖之前，首先通过调节多个第一节流阀，使多个第一支路具有不同的流量。在开启上盖的初段，第一通断阀将多个第一支路中流量较小的一个第一支路连通，使通入气缸I的第一腔4的气体的流量较小，从而使气缸I驱动上盖转动的速度较慢。而在第一位置传感器21'检测到气缸I的活塞到达其所对应的位置处，即上盖转动至其开启过程的中段时，其向控制单元发送检测信号；控制单元根据第一位置传感器21丨发送来的检测信号，向第一通断阀发送控制信号；第一通断阀根据该控制信号，将处于连通状态的第一支路断开，并将处于断开状态，且流量更大的另一第一支路连通，从而使通入气缸I的第一腔4的气体的流量变大,进而使气缸I驱动上盖转动的速度加快。在第二位置传感器21丨检测到气缸I的活塞到达其所对应的位置处，即上盖转动至其开启过程的末段时，其向控制单元发送检测信号；控制单元根据第二位置传感器21"发送来的检测信号，向第一通断阀发送控制信号；第一通断阀根据该控制信号，将多个第一支路中流量较小的一个第一支路处于连通状态，而使其他第一支路处于断开状态，使通入气缸I的第一腔4的气体的流量较小,从而使气缸I驱动上盖转动的速度较慢。优选地,在上盖开启过程的初段，与气缸I的第一腔4连通的第一支路和在上盖开启的末段,与气缸I的第一腔4连通的第一支路为同一个第一支路。
[0037]与上述过程类似，在上盖关闭过程的初段，第二通断阀控制多个第二支路中流量较小的一个第二支路连通，使通入气缸I的第二腔5的气体的流量较小，从而使上盖转动的速度较慢。在第二位置传感器21"检测到气缸I的活塞到达其所对应的位置处，即上