上盖控制装置及半导体加工设备的制造方法_3

文档序号:9370150阅读:来源:国知局
盖转动至其关闭过程的中段时,第二通断阀将处于连通状态的第二支路断开,并将处于断开状态,且流量更大的另一第二支路连通,从而使通入气缸I的第二腔5的气体的流量变大,进而使气缸I驱动上盖转动的速度加快。在第一位置传感器21'检测到气缸I的活塞到达其所对应的位置处,即上盖转动至其关闭过程的末段时,第二通断阀将多个第二支路中流量较小的一个第二支路连通,而使其他第二支路处于断开状态,使通入气缸I的第二腔5的气体的流量较小,从而使气缸I驱动上盖转动的速度较慢。优选地,在上盖关闭过程的初段,与气缸I的第二腔5连通的第二支路和在上盖关闭过程的末段,与气缸I的第二腔5连通的第二支路为同一个第二支路。
[0038]根据上述可知,在上盖开启过程的初段和关闭过程的末段,气缸I驱动上盖以较慢的速度转动,这样可以在该过程中使上盖与反应腔室的腔体之间避免发生由于上盖转动速度太快而引起的碰撞;在上盖开启过程的末段和关闭过程的初段,气缸I驱动上盖以较慢的速度转动,这样可以在该过程中使上盖以及上盖与腔体之间的连接结构不发生抖动;而在上盖开启和关闭过程的中段,气缸I驱动上盖以较快的速度转动,这样可以减小上盖开启或关闭所需的时间,从而提高工作效率。
[0039]在本实施例中,第一个预设角度为15°,第二个预设角度为62°,但本发明并不限于此,在实际应用中,根据实际要求通过具体调试确定第一个预设角度和第二个预设角度的角度值,以及在上盖开启或关闭过程的初段、中段和末段,通入气缸I的气体的流量;从而获得满足上盖与腔体之间不发生碰撞,以及上盖、上盖与腔体之间的连接结构不发生抖动的要求的参数值。
[0040]在本实施例中,上盖开启过程的初段、中段和末段,第一通断阀仅将一个具有特定流量的第一支路接通,上盖关闭过程的初段、中段和末段,第二通断阀仅将一个具有特定流量的第二支路接通;但在实际应用中,第一通断阀在上述过程中,尤其是上盖开启过程的中段,还可以同时接通多个第一支路,这样使本实施例提供的上盖控制装置还可以通过将多个第一支路进行不同的组合,使其处于连通或断开状态,来调节通入气缸I的第一腔的气体的流量,从而使通入气缸I的第一腔的气体的流量可以在更大的范围内调节,进而使上盖在其开启过程可以在更大的速度范围内进行变速。容易理解,与上述类似,第二通断阀在上述过程中,尤其是上盖关闭过程的中段,也可以同时接通多个第二支路,使通入气缸I的第二腔的气体的流量可以在更大的范围内调节,进而使上盖在其关闭过程可以在更大的速度范围内进行变速。此外,上述设置条件下,在开启或关闭上盖之前,通过调节第一节流阀或第二节流阀设置每个第一支路或第二支路的流量时,多个第一支路或第二支路的流量可以相同。
[0041]需要说明的是,在本实施例中,预设角度的数量为两个,也就是说,在上盖的开启或关闭过程中,上盖进行两次变速,且上盖在其开启过程中进行变速的角度和在其关闭过程中进行变速的角度相同,但本发明并不限于此,在实际应用中,还可以设置一个或更多个角度不同的预设角度,使上盖在其开启或关闭过程中进行一次或更多次的变速;此外,还可以设置相应的预设角度,使上盖仅在其开启过程中转动至该预设角度时进行变速,或者仅在其关闭过程中转动至该预设角度时进行变速。
[0042]还需要说明的是,在本实施例中,在上盖开启过程的初段和末段,与气缸I的第一腔4连通的第一支路为同一个第一支路,在上盖关闭过程的初段和末段,与气缸I的第二腔5连通的第二支路为同一个第二支路,也就是说,上盖在其开启或关闭过程的初段和末段的转速相同,但本发明并不限于此,在实际应用中,还可以在上盖开启过程的初段和末段,通过流量调节单元使通入气缸I的第一腔4的气体的流量不同,以及在上盖关闭过程的初段和末段,通过流量调节单元使通入气缸I的第二腔5的气体的流量不同,从而使上盖在其开启或关闭过程的初段和末段的转速不同。
[0043]还需要说明的是,在本实施例中,位置传感器21对应于上盖的张开角度到达预设角度时,气缸I的活塞所在的位置处,其在活塞到达其所在位置处时向控制单元发送检测信号,但本发明并不限于此,在实际应用中,位置传感器21还可以设置在上盖上,并实时检测上盖的张开角度,并向控制单元发送实时检测信号;在此情况下,由控制单元根据该实时检测信号,将上盖的张开角度与预设角度进行比较,在上盖的张开角度到达预设角度时,控制单元向流量调节单元发送控制信号。
[0044]此外,在本实施例中,第一节流阀的数量与第一支路的数量相等,且每个第一节流阀一一对应地设置于每个第一支路上;第二节流阀的数量与第二支路的数量相等,且每个第二节流阀一一对应地设置于每个第二支路上。但本发明并不限于此,在实际应用中,第一节流阀的数量还可以少于第一支路的数量,第一节流阀一一对应地设置于其中一部分第一支路上;每个第一节流阀用于调节其所在第一支路的流量;第二节流阀的数量还可以少于第二支路的数量,第二节流阀一一对应地设置于其中一部分第二支路上;每个第二节流阀用于调节其所在第二支路的流量。在此情况下,在开启上盖之前,首先通过手动调节第一节流阀,使多个第一节流阀所在第一支路具有不同的流量。在开启上盖的过程中,第一通断阀将流量较小的第一支路连通,以减小通入气缸I的第一腔4的气体的流量,将流量较大的第一支路连通,或者增加处于连通状态的第一支路的数量,以增大通入气缸I的第一腔的气体的流量。关闭上盖的过程与上述过程类似,在此不再赘述。
[0045]请参看图4,图4为本发明第二实施例提供的上盖控制装置的示意图。本发明第二实施例提供的上盖控制装置与上述第一实施例相比,同样包括气缸I和气路控制单元,由于上述气缸I和气路控制单兀的结构和功能在上述第一实施例中已有了详细描述,在此不再赘述。
[0046]下面仅就本实施例提供的上盖控制装置与上述第一实施例的不同之处进行详细描述。在本实施例中,流量调节单元3包括第一流量控制阀31和第二流量控制阀32 ;其中,第一流量控制阀31设于开盖气路6上,其用于在上盖的开启过程中,对通入气缸I的第一腔4的气体的流量进行调节;第二流量控制阀32设于闭盖气路7上,其用于在上盖的关闭过程中,对通入气缸I的第二腔5的气体的流量进行调节。
[0047]具体地,在上盖的开启过程中,控制单元根据检测信号向第一流量控制阀31发送控制信号,第一流量控制阀31根据该控制信号对通入气缸I的第一腔4的气体的流量进行调节;在上盖的关闭过程中,控制单元根据检测信号向第二流量控制阀32发送控制信号,第二流量控制阀32根据该控制信号对通入气缸I的第二腔5的气体的流量进行调节。
[0048]优选地,在本实施例中,预设角度的数量为两个,且两个预设角度与上述第一实施例相同。相应地,位置传感器21同样包括与上述第一实施例相同的第一位置传感器21 '和第二位置传感器21"。
[0049]在本实施例中,具体地,在开启上盖的初段,第一流量控制阀31调节开盖气路6的流量,使通入气缸I的第一腔4的气体的流量较小,从而可以使气缸I驱动上盖转动的速度较慢。而在第一位置传感器21 '检测到气缸I的活塞到达其所对应的位置处,即上盖转动至其开启过程的中段时,第一流量控制阀31调节开盖气路6的流量,使通入气缸I的第一腔4的气体的流量变大,从而可以使气缸I驱动上盖转动的速度加快。在第二位置传感器21 '检测到气缸I的活塞到达其所对应的位置处,即上盖转动至其开启过程的末段时,第一流量控制阀31调节开盖气路6的流量,使通入气缸I的第一腔4的气体的流量较小,从而可以使气缸I驱动上盖转动的速度较慢。
[0050]与上述过程类似,第二流量控制阀32调节闭盖气路7的流量,在上盖关闭过程的初段,使上盖的转动速度较慢;在上盖关闭过程的中段,使上盖的转动速度较快;在上盖关闭过程的末段,
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