一种耐腐蚀组合阀门装置的制作方法

专利名称：一种耐腐蚀组合阀门装置的制作方法
专利说明
背景技术：
本实用新型涉及一种用于多种气体混合分装和准分子激光器的激光气体控制中的耐腐蚀组合阀门装置。
背景技术：
在气体激光器中，特别是准分子激光器，其必须的激光工作气体是稀有气体单卤化物，一般都需要卤素气体、稀有气体和缓冲气体混合而成。为了保证激光能量和稳定可靠的工作，则激光器的激光工作气体必须使用纯度为99.999％以上的单一气体以一定的气体比分混合，通过气体配气装置罐装到钢瓶中，制成钢瓶装的激光混合气体，可直接用作激光工作气体；或者通过激光器本身的气体控制装置直接将三种气体以合适的比例充入密封的激光腔体中。不管是那种方式都需要激光气体控制装置。现如今，常用的准分子激光器是稀有气体单卤化物准分子激光器，如ArF，KrF和XeCl等，波长都处于紫外波段，在工业、医疗和科研方面都有着重要的应用。
但是准分子激光器的工作气体之一的卤化物具有很强的毒性，同时当激光工作气体混入空气时，会和空气中的水蒸汽形成腐蚀性很高酸性物质，会对激光腔中的零件进行腐蚀，会极大影响激光器的气体寿命和激光能量的大小，这就对准分子激光工作气体的纯度提出很高的要求。以前都是通过许多分立的阀门和管道元件构成气体控制装置，系统装置复杂而且也增加了气体管道连接过程中的泄漏几率。
本实用新型内容本实用新型的目的是针对上述的缺陷，提供一种既能保证为准分子激光器提出纯度很高的激光工作气体，又耐腐蚀和密封性好，且安装操作简单的耐腐蚀组合阀门装置。
本实用新型包括壳体和置于其内的组合阀门及真空阀门，其特征在于a、所述的组合阀门包括缓冲气体阀门、稀有气体阀门和卤素气体阀门三个单体阀门，其上的进气口由分支气路管道分别与三个卡套式缓冲气体接口、稀有气体接口和卤素气体接口连接，出气口分别与主气路管道连通，主气路管道端头装有一接口；b、真空阀的进气口与主气路管道连通，其端头装有压力表接口，出气口上装有真空泵接口。
单体阀门的圆形进气口内置有一内放有顶针的弹簧，顶针外紧贴有密封垫，内有顶塞的阀门旋钮旋拧于阀门固定板上，固定螺母穿过阀门固定板将密封垫压紧于阀门座外部的密封槽内。
壳体、组合阀门和真空阀门均采用不锈钢材料为质材，密封垫采用聚四；氟密封垫。
单体阀门的进气口比出气口高0.4～0.6mm。
阀门固定板的环形表面与密封槽相匹配。
由于阀门固定板的环形表面和密封槽相匹配，能保证阀门内的进气口和出气口的气体不向阀门外部泄漏；当要截止进气口和出气口之间的气路时，由于阀门进气口高出阀门出气口0.4～0.6mm，通过顺时针旋紧阀门旋钮带动顶塞压紧聚四氟密封垫使其形变，聚四氟密封垫通过顶针压紧弹簧封住阀门的进气口；当要打开进气口和出气口之间的气路时，逆时针旋松阀门旋钮，由于内部弹簧的弹性形变作用顶开聚四氟密封垫，这样气体就可以在进、出口之间通过。
使用时，将缓冲气体钢瓶、稀有气体钢瓶和卤素气体钢瓶通过减压阀连接到组合阀门的缓冲气体接口、稀有气体接口和卤素气体接口上；通过真空泵接口连接到外部真空泵，通过压力表接口连接检测压力表，最后将主气路管道接口连接到混合钢瓶或激光腔中。首先关闭三个单体阀门打开真空阀门对混合钢瓶或激光腔抽真空，当检测压力表上的真空度达到要求时，关闭真空阀门和真空泵；然后根据激光气体配比要求依次打开三个单体阀门充入一定比例的气体，这样激光气体就充入钢瓶和激光腔。
本实用新型效果由于该装置采用耐腐蚀的不锈钢材料制成，集成了四个阀门和五个接口，减少了阀门和接口之间的管道连接，从而不仅耐腐蚀和密封性好而且安装使用方便，且在高腐蚀气体的分装和准分子激光器分路控制中有很强的实用价值，利于广泛推广应用。


图1为本实用新型结构示意图。
图2为单体阀门结构示意图。
具体实施方式
实施例1参见图1、2，本实用新型包括采用不锈钢材料制作的壳体1和置于其内的组合阀门2及真空阀门3，组合阀门2包括缓冲气体阀门4、稀有气体阀门5和卤素气体阀门6三个单体阀门，其上的进气口7由分支气路管道8分别与三个卡套式缓冲气体接口9、稀有气体接口10和卤素气体接口11连接，出气口12分别与主气路管道13连通，进气口比出气口高0.4～0.6mm，主气路管道端头端有一接口14；真空阀3的进气口与主气路管道13连通，其端头装有压力表接口15，出气口上装有真空泵接口16。单体阀门的圆形进气口7内置有一内放有一顶针17的弹簧18，其高出进气口约2mm；顶针外紧贴有厚度为2mm的聚四氟密封垫19，内有顶塞20的阀门旋钮21旋拧于阀门固定板22上，四个固定螺母23均分穿过阀门固定板将聚四氟密封垫19压紧于阀门座24外部的密封槽内25内。阀门固定板的环形表面与密封槽相匹配。
权利要求1.一种耐腐蚀组合阀门装置，包括壳体和置于其内的组合阀门及真空阀门，其特征在于a、所述的组合阀门包括缓冲气体阀门、稀有气体阀门和卤素气体阀门三个单体阀门，其上的进气口由分支气路管道分别与三个卡套式缓冲气体接口、稀有气体接口和卤素气体接口连接，出气口分别与主气路管道连通，主气路管道端头装有一接口；b、真空阀的进气口与主气路管道连通，其端头装有压力表接口，出气口上装有真空泵接口。
2.根据权利要求1所述的耐腐蚀组合阀门装置，其特征在于单体阀门的圆形进气口内置有一内放有顶针的弹簧，顶针外紧贴有密封垫，内有顶塞的阀门旋钮旋拧于阀门固定板上，固定螺母穿过阀门固定板将密封垫压紧于阀门座外部的密封槽内。
3.根据权利要求1所述的耐腐蚀组合阀门装置，其特征在于壳体、组合阀门和真空阀门均采用不锈钢材料为质材，密封垫采用聚四氟密封垫。
4.根据权利要求1所述的耐腐蚀阀门装置，其特征在于单体阀门的进气口比出气口高0.4～0.6mm。
5.根据权利要求1或2所述的耐腐蚀阀门装置，其特征在于阀门固定板的环形表面与密封槽相匹配。
专利摘要本实用新型涉及一种耐腐蚀组合阀门装置，包括壳体和置于其内的组合阀门及真空阀门，其特征在于所述的组合阀门包括缓冲气体阀门、稀有气体阀门和卤素气体阀门三个单体阀门，其上的进气口由分支气路管道分别与三个卡套式缓冲气体接口、稀有气体接口和卤素气体接口连接，出气口分别与主气路管道连通，主气路管道端头装有一接口；真空阀的进气口与主气路管道连通，其端头装有压力表接口，出气口上装有真空泵接口。本实用新型既能保证准分子激光器提出纯度很高的激光工作气体，又耐腐蚀和密封性好，且安装操作简单，利于广泛推广应用。
文档编号F16K11/10GK2699083SQ20042002683
公开日2005年5月11日 申请日期2004年4月29日 优先权日2004年4月29日
发明者邓国庆, 贺龙梅, 余吟山, 张玉亮 申请人:中国科学院安徽光学精密机械研究所