一种真空压力调节阀的制作方法

文档序号:5608481阅读:219来源:国知局
专利名称:一种真空压力调节阀的制作方法
技术领域
一种真空压力调节阀技术领域[0001 ] 本发明涉及阀门技术领域,尤其涉及一种压力调节阀。
背景技术
[0002]真空压力调节阀是真空设备上必不可少的部件,用来调节真空设备的压强,其操作的可控性和稳定性直接影响真空设备的使用性能。真空压力调节阀一般通过调节阀口流导大小来调节反应室真空度,流导是真空管道、孔、挡板、阱及阀门等元件传输气体的能力。 一般阀门的最小可控流导越小,阀的灵敏度越高,因此真空压力调节阀设计过程中需尽可能增大阀芯厚度,同时又要顾及到阀芯在阀腔内转动自如,间隙不能过小,因此要求阀腔、 阀芯和阀杆具有较高的精度,这就给设计和制造带来了难度。实用新型内容[0003]本实用新型提供一种真空压力调节阀,包括阀体、阀芯、阀杆、轴承、压力传感器、 PLC系统、电位器、电机和封堵,所述阀体内设置有阀芯和阀杆,所述阀杆穿过阀芯,其一端与所述轴承连接,其特征在于所述阀杆另一端与压力传感器连接,所述压力传感器还与 PLC系统连接,PLC系统分别通过导线与电位器、电机连接,所述封堵设置在阀体端部。[0004]本实用新型的有益效果为阀体设置有PLC系统,PLC能通过采集压力传感器所检测到的真空室实际压力值,与设定值比较,然后调节阀杆位置,来调节阀口流导大小,使真空室达到设定值,简化了传动及定位机构,整个过程快速自动实现对阀门的调节,精度较高,同时采用电机作动力源,经济、实用。整个阀结构紧凑,体积小,适合广泛推广。


[0005]图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
[0006]
以下结合附图对本实用新型作进一步解释说明。[0007]图I中1_阀体、2-阀芯、3-阀杆、4-轴承、5-压力传感器、6-PLC系统、7-电位器、 8_电机、9_封堵。[0008]在本实用新型中,阀芯2和阀杆3设置在阀体I内,阀杆3穿过阀芯2,其一端与轴承4连接,另一端与压力传感器5连接,压力传感器5与PLC系统6相连接,PLC系统6分别与电位器7和电机8连接,在阀体I端部还设置有封堵9。[0009]使用例[0010]本实用新型在使用时,启动电机,阀芯2在阀杆3的带动下开始运转,同时对压力传感器5产生力的作用,压力传感器5将测到的压力值传输至PLC系统6中,PLC系统6将接受到的压力值与设定值比较后判断阀芯2位置,再根据电位器7输出电压,给电机8指令,从而进一步调整阀杆的运动。[0011]以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例,不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
权利要求1. 一种真空压力调节阀,包括阀体(I)、阀芯(2)、阀杆(3)、轴承(4)、压力传感器(5)、 PLC系统(6)、电位器(7)、电机(8)和封堵(9),所述阀体(I)内设置有阀芯(2)和阀杆(3), 所述阀杆(3)穿过阀芯(2),其一端与所述轴承(4)连接,其特征在于所述阀杆(3)另一端与压力传感器(5)连接,所述压力传感器(5)还与PLC系统(6)连接,PLC系统(6)分别通过导线与电位器(7 )、电机(8 )连接,所述封堵(9 )设置在阀体(I)端部。
专利摘要本实用新型提供一种真空压力调节阀,包括阀体、阀芯、阀杆、轴承、压力传感器、PLC系统、电位器、电机和封堵,所述阀体内设置有阀芯和阀杆,所述阀杆穿过阀芯,其一端与所述轴承连接,其特征在于所述阀杆另一端与压力传感器连接,所述压力传感器还与PLC系统连接,PLC系统分别通过导线与电位器、电机连接,所述封堵设置在阀体端部。阀体设置有PLC系统,PLC能通过采集压力传感器所检测到的真空室实际压力值,与设定值比较,然后调节阀杆位置,来调节阀口流导大小,使真空室达到设定值,简化了传动及定位机构,整个过程快速自动实现对阀门的调节,精度较高,同时采用电机作动力源,经济、实用。整个阀结构紧凑,体积小,适合广泛推广。
文档编号F16K51/02GK202746762SQ201220318510
公开日2013年2月20日 申请日期2012年7月3日 优先权日2012年7月3日
发明者蔡敏, 唐广勇 申请人:天津市金佳同达科技有限公司
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