一种单晶炉用隔离阀座的制作方法

文档序号:17359500发布日期:2019-04-09 21:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶炉用隔离阀座,包括阀座基体(1)、设置于阀座基体(1)内的翻板阀(2),其特征在于:所述翻板阀(2)顶壁连接有阀杆(3),所述阀杆(3)底壁平行于翻板阀(2)顶壁,所述阀杆(3)底壁长度方向的一端与翻板阀(2)固定连接,另一端连接有驱动轴(4);

所述阀杆(3)固定在驱动轴(4)的外壁上,所述驱动轴(4)的转动方向与翻板阀(2)的翻动方向一致,所述驱动轴(4)穿出阀座基体(1)并连接有电机驱动组件(5),所述驱动轴(4)由电机驱动组件(5)驱使转动。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔离阀座,其特征在于:所述驱动轴(4)呈一端大一端小的阶梯状,所述驱动轴(4)直径较大的一端形成第一连接端(41),直径较小的一端形成第二连接端(42);

所述第一连接端(41)位于阀座基体(1)内并通过轴承座(43)与阀座基体(1)固定连接,所述第一连接端(41)外壁设置有用于与阀杆(3)连接的固定平面(411);

所述第二连接端(42)穿出阀座基体(1)并与电机驱动组件(5)连接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉用隔离阀座,其特征在于:所述驱动轴(4)内设置有相互平行的进水通道(44)和出水通道(45);

所述进水通道(44)长度方向的一端穿出第二连接端(42)端面并形成第一进水口(441),另一端穿出固定平面(411)并形成第一出水口(442);

所述出水通道(45)长度方向的一端穿出第二连接端(42)端面并形成第三出水口(451),另一端穿出固定平面(411)并形成第三进水口(452);

所述翻板阀(2)内设置有冷却腔(21),所述翻板阀(2)顶壁开设有与冷却腔(21)连通的第二进水口(22)和第二出水口(23);

所述第一出水口(442)与第二进水口(22)之间、第二出水口(23)和第三进水口(452)之间均通过软管连通。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉用隔离阀座,其特征在于:所述冷却腔(21)内固定有分隔板(24)并形成单线曲形冷却通道(25),所述冷却通道(25)由翻板阀(2)中部向外周盘绕,所述冷却通道(25)的两端分别贯通翻板阀(2)顶壁并形成所述第二进水口(22)和所述第二出水口(23);

所述第二进水口(22)和第二出水口(23)位于翻板阀(2)远离驱动轴(4)的一端。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉用隔离阀座,其特征在于:所述固定平面(411)上固定连接有两个分别与第一出水口(442)和第三进水口(452)连通的第一水管连接头(6);

所述翻板阀(2)顶壁固定连接有两个分别与第二进水口(22)和第二出水口(23)连通的第二水管连接头(7)。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔离阀座,其特征在于:所述阀杆(3)底壁远离驱动轴(4)的一端垂直固定有朝向翻板阀(2)的连杆(31),所述连杆(31)远离阀杆(3)的一端固定有平行于翻板阀(2)的连接盘(32),所述连接盘(32)与翻板阀(2)顶壁通过螺钉固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔离阀座,其特征在于:所述阀座基体(1)侧壁设置有观察窗(11)。

8.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔离阀座,其特征在于:所述翻板阀(2)的翻转角度为0-120度。

9.根据权利要求1所述的一种单晶炉用隔离阀座,其特征在于:所述电机驱动组件(5)包括驱动电机(51)、与驱动电机(51)输出轴连接的减速器(52),所述减速器(52)的输出轴上同轴固定有驱动齿轮(53);

所述驱动轴(4)穿出阀座基体(1)的一端同轴固定有不完全齿轮(54),所述不完全齿轮(54)与驱动齿轮(53)相啮合,所述不完全齿轮(54)两个末端分别与驱动齿轮(53)啮合时,所述翻板阀(2)分别处于开启和闭合状态。

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