气瓶接头保护装置及气体供应装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及化工设备技术领域，特别涉及一种气瓶接头保护装置和具有气瓶接头保护装置的气体供应装置。
【背景技术】
[0002]蚀刻制程中常需要使用氯气(Cl2)对特定的薄膜层进行蚀刻，所以需要持续提供氯气。通常，氯气被压缩充装于供气设备的气瓶中，并通过气瓶接头接入供气设备的气瓶以持续利用氯气进行蚀刻。
[0003]因为氯气具有毒性、氧化性，特别是与水结合后会产生盐酸和次氯酸会腐蚀气瓶接头。所以，通常需要在气瓶接头上设置排气箱。图1是现有的供气设备的气瓶接头设置排气箱的结构示意图。如图1所示，供气设备200包括气瓶210、气体导引管220、气瓶接头230、导管240、气体处理装置250和排气箱260。气体导引管220连接于气瓶210的端部，气瓶接头230垂直连接于气体导引管220，导管240 —端连通于气瓶接头230，另一端连通于气体处理装置250，气体导引管220和导管240穿过排气箱260，并使气体导引管220和气瓶接头230处于排气箱260内。排气箱260连接有抽气装置(图未示)，通过抽气装置抽除排气箱260内的空气，使排气箱260内处于负压状态。周围湿度较大的空气会通过排气箱260的缝隙进入到排气箱260内，并聚集在气瓶接头230的泄漏孔处凝结出微量水分。
[0004]当气瓶接头230长时间使用或处于气瓶接头230内的垫片(图未示)安装稍有偏差，就会造成微量氯气从气瓶接头230上设的泄漏孔(图未示)中溢出，并与泄漏孔周围的水产生反应，消耗了溢出的氯气。所以设置在排气箱260内的侦测器(图未示)无法侦测到泄漏的微量氯气。微量氯气与水反应产生盐酸和次氯酸，进而造成气瓶接头230长时间被腐蚀，使气瓶接头230后期维修非常困难。此外，为了解决气瓶接头230被腐蚀，防止氯气泄漏事故的发生，通常需要使用优质的垫片或者使用操作经验丰富的人员定期更换气瓶接头230，因此大大增加了使用成本，而且不能及时知道气瓶接头230是否发生泄漏，其稳定性低。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于，提供了一种气瓶接头保护装置，能够防止气瓶接头被腐蚀，降低气瓶接头的使用成本。
[0006]本实用新型的目的在于，提供了一种气体供应装置，能够防止气瓶接头被腐蚀，降低气瓶接头的使用成本。
[0007]本实用新型解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。
[0008]一种气瓶接头保护装置，用于保护连接供气瓶的气瓶接头，气瓶接头具有泄气孔。气瓶接头保护装置包括保护箱、保护气供应装置以及气体回收装置，保护箱具有容置腔，气瓶接头穿设于保护箱，且泄气孔处于容置腔内。保护气供应装置和气体回收装置分别与容置腔连通，保护气供应装置提供惰性气体至容置腔，气体回收装置回收容置腔的惰性气体及经由泄气孔泄漏的供气瓶中的气体。
[0009]在本实用新型的较佳实施例中，上述保护箱包括多个侧壁、第一底板和第二底板。多个侧壁依次围合连接并连接于第一底板和第二底板之间形成保护箱。
[0010]在本实用新型的较佳实施例中，上述保护箱的第一底板设有第一安装孔，第二底板设有第二安装孔，第一安装孔和第二安装孔同轴设置，气瓶接头穿设于第一安装孔和第二安装孔。
[0011]在本实用新型的较佳实施例中，上述保护箱的第一安装孔和第二安装孔内分别设有密封圈，气瓶接头通过密封圈与保护箱密封固定。
[0012]在本实用新型的较佳实施例中，上述保护箱的第一底板设有进气孔，且进气孔与保护气供应装置连通。第二底板设有出气孔，且出气孔与气体回收装置连通，进气孔和出气孔贯通容置腔。
[0013]在本实用新型的较佳实施例中，上述出气孔内的内壁上设有气体侦测器，气体侦测器检测由泄气孔泄漏的供气瓶中的气体。
[0014]在本实用新型的较佳实施例中，上述惰性气体为氮气。
[0015]一种气体供应装置，其包括供气装置和气体处理装置。供气装置包括供气瓶、气瓶接头和导管，气瓶接头连接于供气瓶，导管一端连接于气瓶接头，另一端连接于气体处理结构，且气体供应装置还包括上述的气瓶接头保护装置。
[0016]本实用新型的气瓶接头保护装置和具有气瓶接头保护装置的气体供应装置包含保护箱，保护气供应装置和气体回收装置。气瓶接头保护装置中的保护气供应装置和气体回收装置分别与保护箱的容置腔连通，保护气供应装置提供惰性气体至容置腔，且惰性气体包裹位于容置腔内的气瓶接头，避免气瓶接头损坏时从泄气孔泄漏出的微量有毒气体与水接触并产生腐蚀性物质，防止了气瓶接头被腐蚀性物质腐蚀。而且，从供气瓶内泄漏的微量有毒气体混合着惰性气体一起被气体回收装置回收，防止了微量有毒气体污染环境。此夕卜，泄漏出的微量有毒气体由于没有被消耗，所以容易被检测出来，无需使用优质的垫片并定期更换气瓶接头，能够大大降低气瓶接头的使用成本。
[0017]上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明。
【附图说明】
[0018]图1是现有的供气设备的气瓶接头设置排气箱的结构示意图。
[0019]图2是本实用新型一实施例的气体供应装置的结构示意图。
[0020]图3是本实用新型一实施例的气瓶接头的拆分结构示意图。
[0021]图4是本实用新型一实施例的气瓶接头的组合剖视示意图。
[0022]图5是本实用新型一实施例的保护箱与气瓶接头的剖视结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的气瓶接头保护装置和具有气瓶接头保护装置的气体供应装置的【具体实施方式】、结构、特征及其功效，详细说明如下。
[0024]有关本实用新型的前述及其它技术内容、特点及功效，在以下配合参考图示的较佳实施例的详细说明中将可清楚呈现。通过【具体实施方式】的说明，当可对本实用新型为达成预定目的所采取的技术手段及功效得以更加深入且具体的了解，然而所附图示仅是提供参考与说明之用，并非用来对本实用新型加以限制。
[0025]图2是本实用新型一实施例的气体供应装置的结构示意图。如图2所示，在本实施例中，气体供应装置100包括供气装置110、气瓶接头保护装置120和气体处理装置130。如图2所示，供气装置110包括供气瓶112、气瓶接头114和导管116，气瓶接头114连接于供气瓶112，导管116的一端连接于气瓶接头114，另一端连接于气体处理装置130，气瓶接头保护装置120连接于气瓶接头114。供气瓶112包括瓶体1122和供气连接部1124，供气连接部1124连接于瓶体1122的一端，且瓶体1122内的气体通过供气连接部1124可与外界流通。
[0026]图3是本实用新型一实施例的气瓶接头的拆分结构示意图，图4是本实用新型一实施例的气瓶接头的组合剖视示意图。如图3和图4所示，气瓶接头114包括接口部1142、垫片1143、管接柱1144和连接螺母1146。气瓶接头114的接口部1142连接于供气瓶112的供气连接部1124，垫片1143设置在接口部1142内，且管接柱1144抵靠于垫片1143并设置在接口部1142内，管接柱1144的中部设有抵靠部1145，连接螺母1146的端部设有与管接柱1144的抵靠部1145配合的阻挡部1148，且连接螺母1146沿着轴线方向设有贯穿连接螺