专利名称：用于卷轴上器件的材料输送器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种材料输送器，用于将巻轴上的器件移动到测试器 以对该器件进行测试。
背景技术：
随着消费性电子产品遍布市场，为消费者提供了越来越多的选择。 为了获得竞争优势，芯片制造商的动机转向具有高性能、高速度、小 尺寸和低成本的半导体器件。
带载封装(TCP, tape carrier package)和覆晶薄膜(COF， chip on film)形式的封装是满足目前所需要的高性能器件的小外形和高脚数 (leadcount)互连的期望的方式。这些器件必须经过测试。
专用输送器已经被设计成对被称为巻轴上器件的这些封装形式进 行测试。通过相对于被测器件(DUT)移动探针卡(probe card)来测 试这些巻轴上器件。然而，测试过程遭受由于在测试期间所遇到的长 的信号通路而导致的信号干扰。此外，向DUT移动测试头延长了测试过程。
本发明的目的在于改进上述问题。
发明内容
根据本发明的第一实施例，提供了一种用于向用于测试的测试器 传送巻轴上器件的材料输送器，所述材料输送器包括可旋转组件， 该可旋转组件接合(engage)巻轴上器件并且朝着测试器旋转巻轴上器 件，该测试器具有探针头；比较器装置，该比较器装置比较器件关于探针头的位置；对准装置，该对准装置与比较器装置通信，以将器件 定位到用于测试的探针头，其中，该对准器装置将器件定位到探针头， 以供在用于直接对接的器件上执行测试。有利地，这消除了在测试头 上将探针旋转到器件的需要，并且进一步减小了信号长度并且因此减 小了信号通路中的电容量。
优选地，可旋转组件与对准装置集成在一起。
还优选地，可旋转组件在至少x、 y和e方向上移动。
优选地，比较器装置是光学比较器，例如，图像捕获设备。
优选地，该图像捕获设备是第一和第二光学照相机，其中，第一 光学照相机识别巻轴上器件的位置，并且第二光学照相机识别探针头 的位置。
优选地，该图像捕获设备进一步包括逻辑控制器，该逻辑控制器 用以确定在x、 y和/或e方向上的任何一个或其组合上将器件移动到用 于测试的探针头的运动范围。
根据本发明的第二实施例，提供了一种用于向测试器传送巻轴上 器件的材料输送器，所述测试器具有用于测试的探针头，该材料输送 器包括可旋转组件，该可旋转组将能够在x、 y和e方向上移动；接 收器，该接收器被连接到可旋转组件，以接收巻轴上器件；比较器装 置，该比较器装置用以比较关于探针头的器件的位置，其中，该比较 器装置与该可旋转组件通信，以将该器件移动到用于测试的探针头。
优选地，该接收器是接触平板。
还优选地，该接触平板进一步包括对准向导(guide)来对准接收到的器件巻轴。
优选地，该比较器装置是光学比较器，例如，图像捕获设备。
优选地，该图像捕获设备是第一和第二光学照相机，其中，该第 一光学照相机识别巻轴上器件的位置，并且第二光学照相机识别探针 头的位置。
优选地，该图像捕获设备进一步包括逻辑控制器，该逻辑控制器
用以确定在x、 y和/或e方向的一个或其组合上将器件移动到用于测试 的探针头的运动范围。
优选地，将器件巻轴与探针头之间的定位位移通信到可旋转组件， 以将器件移动到探针头以供执行测试。
根据本发明的第三实施例，提供了一种用于向测试器传送巻轴上
器件的材料输送器，所述测试器具有探针头，该材料输送器包括可 旋转组件，该可旋转组件具有接触平板和器件巻轴；以及光学比较器， 该光学比较器用以识别该器件关于探针头的位置，所述光学比较器与 该可旋转组件进行通信，其中，可旋转组件响应于光学比较器来将器 件移动到探针头。
根据本发明的另一个方面，提供了一种对巻轴上器件进行测试的 方法，所述方法包括将材料输送器和巻轴上器件旋转到具有探针头 的探针；比较该探针头到该器件的位移；对准该材料输送器，以将该 器件对准该探针头；以及执行测试。
优选地，比较步骤包括下述步骤识别器件的器件引脚的位置； 识别探针卡的探针引脚的位置；以及建立该探针头到该器件引脚的位 移。
为了可以更加充分地理解本发明，仅通过示例的方式，参考附图 描述了发明的实施例，在附图中
图1A涉及现有技术的输送器。
图1B示出了现有技术的输送器的图1A的G部分。
图2示出了本发明的材料输送器的第一实施例。
图3A示出了本发明的材料输送器的第二实施例。
图3B图示了图3A的A-A截面。
图3C图示了图3A的B-B截面。
图4示出了当器件被测试时的本发明的材料输送器。
图5图示了根据本发明的处理器件的方法。
在实施例和变体的每一个中，仅仅为了容易理解本说明书，对于 类似的部件已经使用了相同的附图标记。
具体实施例方式
现在将对本发明的优选实施例详细地作出参考，在附图中图示了 其示例。尽管将结合优选实施例来描述本发明，但是应当理解，不希 望将本发明限于这些实施例。相反，本发明意在涵盖包括在如所附权 利要求所限定的本范明的精神和范围内的替代、修改和等价物。而且， 在本发明的下述详细描述中，阐述了许多特定细节，以便于提供本发 明的透彻理解。然而，对于本领域普通技术人员来说明显的是，本发 明可以不通过这些特定细节来实践。在其它的情况中，没有详细地描 述公知的方法、程序、部件和特征，以免不必要地掩盖本发明的各方 面。
图1A图示了现有技术的输送器500。该输送器包括要在测试器200 上被测试的巻轴300上的器件。待测器件被连接到带或膜并且被巻起， 以将器件传送到测试器200的测试头210以供进行测试。输送器500
9位于最接近测试头的位置，以最小化信号干扰。测试头210旋转以进 行该器件所需要的各种测试。
如可以在图1A中所看到的，在测试过程中，测试头和被测器件 (DUT)之间存在信号通路S。这在当信号通路很长时在测试期间转变 成增加的信号干扰。
图1B示出了图1A的A部分。在测试期间，关于DUT旋转探针 卡，使得可以执行各种测试。输送器500在x-y方向上移动来定位要由 测试器测试的巻轴上器件。可以看到长的信号长度S。
图2示出了本发明的材料输送器100的第一实施例。材料输送器 输送用于测试的巻轴12上的器件11。该巻轴旋转以推进每个器件11 以供测试器执行测试。材料输送器100包括可旋转组件20，该可旋转 组件20用以朝着测试器或测试头210定位巻轴上器件。材料输送器100 进一步包括比较器装置30，该比较器装置30被示作以第一光学照相机 32和第二光学照相机33的形式的光学比较器31。
第一光学照相机32朝向器件11，并且第二光学照相机33朝向测 试头210。第一光学照相机32识别巻轴上器件的位置，而第二光学照 相机33识别测试头210的探针头211的位置。在该实施例中，对准装 置(图中未示出)与比较器装置通信，并且该对准装置与可旋转组件 集成在一起。该可旋转组件是机动化的，并且能够在x、 y和e方向上 移动。响应于来自第一和第二光学照相机的关于器件引脚到探针头的 位移的反馈，促动该可旋转组件来定位器件到探针头的直接对接处 (direct dock)以供执行测试。这消除了现有技术所遇到的任何信号干 扰或高Z干扰。
可以由逻辑控制器来执行该反馈，以确定准确地将器件对接到探 针头以供执行测试所必需的运动范围。图3A示出了具有可旋转组件、接收器40和比较器装置的材料输 送器的第二实施例。示出接收器40以接触平板41的形式来接收巻轴 上器件。
图3B示出了图2的A-A截面，并且示出了传递给接触平板41的 由可旋转组件20在x、 y和e方向上使能的运动的范围。在该图中， 可旋转组件将四个器件lla、 llb、 llc和lld与探针头对准以供执行测 试。在变体中并且另外地，在接触平板41和测试头上可以包括参考点， 用于进行额外的对准。然后，将接触平板上的参考点A和B与测试头 的参考点C和D对准(如图3C中所看到的)。
图3C示出了图2的B-B截面，具有探针头211和对准参考点C和D。
图4示出了当使四个器件lla、 llb、 llc和11d与探针头211a、 211b、 211c和211d接触时的输送器。该输送器进一步包括以接触平板 41的形式来接收巻轴上器件的接收器40。
图5图示了使用本发明的材料输送器进行测试的方法。该方法包 括将材料输送器和巻轴上器件旋转到具有探针头的探针；比较探针 头到用于测试的器件的位移；对准该材料输送器来将器件对准该探针 头，以将器件对接到探针头；以及最后执行测试。
在该方法的变体中，比较的方法包括下述步骤识别器件的器件 引脚的位置；识别探针卡的探针引脚的位置；以及建立探针头到器件 引脚的位移。
已经仅通过示例的方式提出了本发明的实施例，并且在按照由所 附权利要求限定的本发明的范围内，修改是可能的。
1权利要求
1.一种用于向用于测试的测试器传送卷轴上器件的材料输送器，所述材料输送器包括可旋转组件，所述可旋转组件接合所述卷轴上器件并且朝着测试器旋转所述卷轴上器件，所述测试器具有探针头；比较器装置，所述比较器装置用以比较所述器件关于所述探针头的位置；对准装置，所述对准装置与所述比较器装置进行通信，以将所述器件定位到用于测试的所述探针头；其中，所述对准装置将所述器件定位到所述探针头，以供在所述器件上执行测试。
2. 根据权利要求1所述的用于传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述可旋转组件与所述对准装置集成在一起。
3. 根据权利要求1或2中的任何一项所述的用于传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述可旋转组件在至少x、 y和0方向上移动。
4. 根据权利要求1所述的用于传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述比较器装置是光学比较器。
5. 根据权利要求4所述的用于传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述光学比较器是图像捕获设备。
6. 根据权利要求5所述的用于传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述图像捕获设备是第一和第二光学照相机。
7. 根据权利要求6所述的用于传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述第一光学照相机识别所述巻轴上器件的位置。
8. 根据权利要求6所述的用于传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述第二光学照相机识别所述探针头的位置。
9. 根据权利要求6所述的用于传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述图像捕获设备进一步包括逻辑控制器，所述逻辑控制器用以确定在x、y和/或e方向的一个或其组合上将所述器件移动到用于测试的所述探针头的运动的范围。
10. 根据权利要求1到9中的任何一项所述的用于传送器件的材料输送器，其中，所述可旋转组件由马达促动。
11. 一种用于向测试器传送巻轴上器件的材料输送器，所述测试器具有用于测试的探针头，所述材料输送器包括-可旋转组件，所述可旋转组件能够在x、 y和e方向上移动；接收器，所述接收器被连接到所述可旋转组件，以接收所述巻轴上器件；比较器装置，所述比较器装置用以比较所述器件关于所述探针头的位置；其中，所述比较器装置与所述可旋转组件进行通信，以将所述器件移动到用于测试的所述探针头。
12. 根据权利要求11所述的用于向测试器传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述可旋转组件由马达促动。
13. 根据权利要求11所述的用于向测试器传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述接收器是接触平板。
14. 根据权利要求12所述的用于向测试器传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述接触平板进一步包括对准向导，所述对准向导用以对准接收到的器件巻轴。
15. 根据权利要求11所述的用于向测试器传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述比较器装置是光学比较器。
16. 根据权利要求14所述的用于向测试器传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述光学比较器是图像捕获设备。
17. 根据权利要求15所述的用于向测试器传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述图像捕获设备是第一和第二光学照相机。
18. 根据权利要求16所述的用于向测试器传送巻轴上器件的材料输送 器，其中，所述第一光学照相机识别所述巻轴上器件的位置。
19. 根据权利要求16所述的用于向测试器传送巻轴上器件的材料输送器，其中，所述第二光学照相机识别所述探针头的位置。
20. 根据权利要求18所述的用于向测试器传送巻轴上器件的材料输送器，其中，将在器件巻轴与所述探针头之间的定位位移通信到所述可旋转组件，以将所述器件移动到到所述探针头以供执行测试。
21. —种用于向测试器传送巻轴上器件的材料输送器，所述测试器具有探针头，所述材料输送器包括可旋转组件，所述可旋转组件具有接触平板和器件巻轴；以及光学比较器，所述光学比较器用以识别所述器件关于所述探针头的位置，所述光学比较器与所述可旋转组件进行通信；其中，所述可旋转组件响应于所述光学比较器来将所述器件移动到探针头。
22. —种对巻轴上器件进行测试的方法，所述方法包括将材料输送器和巻轴上器件旋转到具有探针头的探针；比较所述探针头到所述器件的位移；对准所述材料输送器，以将所述器件对准探针头；以及执行测试。
23.根据权利要求20所述的对巻轴上器件进行测试的方法，其中，所述比较步骤包括下述步骤识别所述器件的器件引脚的位置；识别探针卡的探针引脚的位置；以及建立所述探针头到所述器件引脚的位移。
全文摘要
本发明涉及一种用于向用于测试的测试器传送卷轴上器件的材料输送器，所述材料输送器包括可旋转组件，所述可旋转组件接合卷轴上器件并且朝着测试器旋转该卷轴上器件，所述测试器具有探针头；比较器装置，所述比较器装置比较该器件关于该探针头的位置；对准装置，该对准装置与该比较器装置进行通信，以将该器件定位到该用于测试的探针头，其中，该对准装置将该器件定位到探针头，以供在用于直对接的器件上执行测试。有利地，这消除了在测试头上将该探针旋转到该器件的需要，并且进一步减小了信号长度并且因此减小了信号通路中的电容量。
文档编号G01R31/26GK101669035SQ200880008544
公开日2010年3月10日 申请日期2008年1月29日 优先权日2007年3月16日
发明者约翰·亚当斯 申请人:泰瑞达亚洲股份有限公司