半导体器件的测试装置的制作方法

文档序号:11987348阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体器件的测试装置,包括大板(1),在大板(1)上安装测试装置和推动装置;其特征是:所述测试装置包括上夹件(5)和下夹件(6),上夹件(5)和下夹件(6)的中部通过第一销轴(9)实现转动连接,上夹件(5)和下夹件(6)的前端呈平行状,上夹件(5)和下夹件(6)的后端呈扇形开口状,上夹件(5)和下夹件(6)的后端之间由弹簧(12)连接;所述推动装置安装于上夹件(5)和下夹件(6)的后端,推动装置包括气缸(14),气缸(14)的活塞杆端部连接推件(13),推件(13)的端部通过第二销轴(11)连接滚轮(10),滚轮(10)设置于上夹件(5)和下夹件(6)之间。

2.如权利要求1所述的半导体器件的测试装置,其特征是:在所述测试装置前端安装用于半导体器件行走的轨道(2)。

3.如权利要求2所述的半导体器件的测试装置,其特征是:在所述轨道(2)上设置轨道盖板(3)。

4.如权利要求1所述的半导体器件的测试装置,其特征是:所述第一销轴(9)的两端设置在轴承(8)中,轴承(8)设置于轴承座(7)中,轴承座(7)安装在大板(1)上。

5.如权利要求1所述的半导体器件的测试装置,其特征是:在所述上夹件(5)和下夹件(6)的前端均设有与半导器件测试引脚相配合的测试爪(4)。

6.如权利要求1所述的半导体器件的测试装置,其特征是:所述气缸(14)安装在气缸座(15)上,气缸座(15)设置在大板(1)上。

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