技术总结
本实用新型提供了一种光谱检测基板，其具有形成于一基底上的至少一个光谱检测单元，所述光谱检测单元包括：一用于使光波沿特定方向传播的波导；一用于使特定波长的光波与所述波导耦合的选模耦合器；一用于感应从所述波导中输出的光波强度的感应器。本实用新型提供的光谱检测基板中，可采用平面工艺直接于基底上形成光谱检测单元，其制造工艺更为简单，能够有效节省成本。并且，可根据需求于基底上形成多个光谱检测单元，使所获取的检测结果可更为全面的反映出待测腔体的实际状况。
技术研发人员：袁可方;柏耸;王晓凤
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201621481518
技术研发日：2016.12.30
技术公布日：2017.07.11