技术特征：
技术总结
本发明公开了一种集成型生物传感器及其制备方法，所述入射波导设置在本体的输入端，所述滤波器的输入端位于本体的输入端上，所述滤波器的输出端位于本体的输出端上，所述热调谐微环设置在滤波器的输出端上，所述功分器的输入端位于热调谐微环的下载端上，所述传感微环设置在功分器的另一个输出端，所述锗硅探测器设置在传感微环的下载端的输出口，所述加热电极设置在热调谐微环之上，所述传感微环位于所述传感窗口内。本发明将光电探测器与传感无源器件的进行单片集成，易于进行阵列式传感；输入的光源为宽谱光源，以及不需要外接光功率计，减少了系统的损耗以及复杂性；无需昂贵的可调谐激光器和高精度的光谱仪，大大的减小了整个系统成本。
技术研发人员：金里;周杰;方俏然;赵恒;吴浩然;冯俊波;郭进;崔乃迪
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第三十八研究所
技术研发日：2017.03.28
技术公布日：2017.07.11