一种多角度自动转换式半导体检测设备的制作方法

文档序号:11486364阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多角度自动转换式半导体检测设备,其特征在于,包括机台,机台的底端均匀的设有若干支脚,机台的顶端面左侧设有基座,基座的顶端固定连接SQUID检测装置,SQUID检测装置的正前端设有控制器,SQUID检测装置的右侧端设有SQUID探头,SQUID探头上设有聚焦透镜,机台内设有空腔,空腔的右侧端设有主电机,主电机的电机轴固定连接减速器,减速器设在主电机的顶端,减速器转动连接转轴,转轴的另一端穿过空腔的顶壁,且固定连接第一工作台;转轴通过轴承与机台转动连接,第一工作台的顶端面固定连接轴承支撑座和微型电机,微型电机设在轴承支撑座的右侧,微型电机的电机轴上固定连接有主动轮,轴承支撑座内嵌设有连接轴,连接轴是水平方向设置,连接轴通过轴承与轴承支撑座转动连接,连接轴靠近微型电机的一端固定连接从动轮,从动轮通过皮带与主动轮连接,连接轴的另一端固定连接有与SQUID探头配合的第二工作台,第二工作台是L型结构,第二工作台包括横向台板和竖直台板,横向台板一侧端和竖直台板的一侧端垂直固定连接在一起,横向台板上固定连接半导体夹具,竖直台板的另一端固定连接配重块,控制器分别与SQUID检测装置、主电机和微型电机连接。

2.根据权利要求1所述的一种多角度自动转换式半导体检测设备,其特征在于,机台的底端均匀的设有4或8个支脚。

3.根据权利要求1所述的一种多角度自动转换式半导体检测设备,其特征在于,控制器是采用PLC系统进行控制。

4.根据权利要求1所述的一种多角度自动转换式半导体检测设备,其特征在于,轴承选用角接触球轴承。

5.根据权利要求1所述的一种多角度自动转换式半导体检测设备,其特征在于,微型电机选用步进电机。

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