评估系统和用于评估基板的方法
【专利说明】评估系统和用于评估基板的方法
[0001]相关的串请的交叉引用
[0002]本申请要求2013年5月23日提交的美国临时专利申请N0.61/826，945的优先权。该美国临时专利申请的内容以引用的方式并入本文。
【背景技术】
[0003]需要评估系统来检测越来越小的缺陷。附加地或替代地，需要评估系统来测量或检测越来越小的结构元件。现今，需要极紫外评估系统和深紫外评估系统来检测更小的缺陷以及更小的结构元件。
[0004]固体浸没透镜用于以改善的分辨率对基板进行成像和评估。这在例如以下文献中有所描述:美国专利 N0.7，526，158、7，221，502、7，149，036、7，359，115、7，414，800和7,480,051，美国专利申请公开序列号N0.2011/0216312和2012/0092655，以及滨松公司(Hamamatsu)技术备忘/纳米透镜(固体浸没透镜)(http://www.hamamatsu.com/resources/pdf/sys/e_nanolens.pdf)。
[0005]对于提供纳米级分辨率的评估系统具有与日倶增的需求。
【发明内容】
[0006]根据本发明的各种实施例，可以提供一种评估系统，所述评估系统可包括:多个空间传感器；固体浸没透镜；支撑结构；至少一个位置校正元件；以及控制器。所述支撑结构连接至所述空间传感器、所述固体浸没透镜以及所述至少一个位置校正元件。每一个空间传感器布置成生成空间关系信息，所述空间关系信息指示所述固体浸没透镜与基板之间的空间关系。所述控制器布置成接收所述空间关系信息，并且将校正信号发送到所述至少一个位置校正元件，以便引入所述固体浸没透镜与所述基板之间的所需的空间关系。其中，所述多个空间传感器包括多个原子力显微镜(AFM)。
[0007]每一个AFM可以包括悬臂、尖端、悬臂保持支架、布置成照射所述悬臂的悬臂照明装置、以及布置成感测从所述悬臂偏转的光的检测器。
[0008]多个AFM可以包括至少三个非共线的AFM。
[0009]多个AFM可以包括至少四个非共线的AFM。
[0010]每一个AFM都可以包括用于使所述悬臂振荡的振荡器。
[0011]尖端可以超过10纳米。
[0012]尖端可以超过50纳米。
[0013]尖端可以超过100纳米。
[0014]AFM可布置成执行对所述基板的粗略扫描。
[0015]AFM可布置成在不接触所述基板的情况下来扫描所述基板。
[0016]AFM可布置成在接触所述基板的同时来扫描所述基板。
[0017]评估系统可以包括用于校准多个AFM模块的校准站。
[0018]支撑结构可布置成将固体浸没透镜置于距所述基板小于100纳米的距离处。
[0019]支撑结构可布置成将固体浸没透镜置于距所述基板小于50纳米的距离处。
[0020]评估系统可以包括位置校正元件，所述位置校正元件布置来成相对于固体浸没透镜来提升多个空间传感器中的至少一个。
[0021]评估系统可以包括机械移动模块，所述机械移动模块布置成来在支撑结构与基板之间引入移动。
[0022]机械移动模块可布置成在支撑结构与基板之间引入至少50毫米/秒的移动。
[0023]至少一个空间传感器可以是电容传感器。
[0024]根据本发明的各种实施例，可以提供一种用于评估基板的方法，所述方法可以包括以下步骤:由固体浸没透镜扫描基板，同时尝试维持所述固体浸没透镜与所述基板之间的所需的空间关系，其中，所述尝试维持所需的空间关系可以包括:由多个空间传感器生成空间关系信息，所述空间关系信息指示所述固体浸没透镜与所述基板之间的空间关系；其中，所述多个空间传感器可包括多个原子力显微镜(AFM);由控制器接收所述空间关系信息，并且将校正信号发送到所述至少一个位置校正元件，以便尝试引入所述固体浸没透镜与所述基板之间的所需的空间关系；其中，所述支撑结构连接至所述多个空间传感器、所述固体浸没透镜以及所述至少一个位置校正元件。
[0025]每一个AFM可以包括悬臂、尖端、悬臂保持支架、可布置成照射所述悬臂的悬臂照明装置、以及可布置成感测从所述悬臂偏转的光的检测器。
[0026]可以提供在任何附图中的任何部件的任何组合。
[0027]可以提供上述系统中的任何系统的任何组合。
【附图说明】
[0028]在本说明书的结论部分专门指出并明确地要求保护视为本发明的主题。然而，当结合附图来阅读以下【具体实施方式】时，可参考以下【具体实施方式】在组织和操作方法两方面最好地理解本发明，并且可最好地理解本发明的目标、特征和优点，其中:
[0029]图1示出根据本发明的实施例的评估系统；
[0030]图2A至图2B示出根据本发明的各种实施例的检查头；
[0031]图3示出根据本发明的实施例的、在扫描基板时处于不同的时间点处的悬臂、尖端和悬臂保持支架；
[0032]图4示出根据本发明的实施例的悬臂、尖端和基板；
[0033]图5示出根据本发明的实施例的评估系统的校准站和检查头；
[0034]图6示出根据本发明的实施例的方法；
[0035]图7示出根据本发明的实施例的评估系统；
[0036]图8示出根据本发明的实施例的评估系统；
[0037]图9示出根据本发明的实施例的评估系统；以及
[0038]图10示出根据本发明的实施例的评估系统；
[0039]将会了解，为了说明的简洁和清楚，附图中所示的元件不一定是按比例绘制的。例如，为了清楚起见，这些元件中一些元件的尺度可相对于其他元件被扩大。另外，在认为适当的情况下，在各附图间可重复元件符号以指示对应的或相似的元件。
【具体实施方式】
[0040]在以下详细描述中，阐明许多特定细节以便提供对本发明的透彻理解。然而，本领域的技术人员将会理解，可在没有这些特定细节的情况下来实践本发明。在其他实例中，并未详细地描述公知的方法、过程和部件以避免使本发明含糊。
[0041]在本说明书的结论部分专门指出并明确地要求保护视为本发明的主题。然而，当结合附图来阅读以下【具体实施方式】时，可参考以下【具体实施方式】在组织和操作方法两方面最好地理解本发明，并且可最好地理解本发明的目标、特征和优点。
[0042]将会了解，为了说明的简洁和清楚，附图中所示的元件不一定是按比例绘制的。例如，为了清楚起见，这些元件中一些元件的尺度可相对于其他元件被放大。另外，在认为适当的情况下，在各附图间可重复元件符号以指示对应的或相似的元件。
[0043]由于对于大部分内容而言，本发明的所示实施例可使用为本领域技术人员所知的电子部件和模块来实现，因此除了上述被认为是必要的之外，将不进一步解释细节，以便理解和领会本发明的基本概念，并且不使得本发明的教导含糊或从本发明的教导中分心。
[0044]将相同元件符号分配给各种部件可以指示这些部件彼此类似。
[0045]可以提供一种评估系统，所述评估系统包括固体浸没透镜，所述固体浸没透镜以与基板之间的所需的空间关系(或以几乎所需的空间关系)来维持，并且由此允许所述固体浸没透镜以最佳或几乎最佳的方式来操作。
[0046]根据本发明的实施例，可使用原子场显微镜(AFM)，以基本所需的空间关系来维持所述固体浸没透镜，所述AFM提供高度准确的空间关系信息，所述空间关系信息关于所述固体浸没透镜与所述基板之间的实际空间关系。
[0047]根据本发明的其他实施例，使用其他技术和部件、或多于一种技术的组合来提供高度准确的空间关系信息，所述空间关系信息关于固体浸没透镜与基板之间的实际空间关系Ο
[0048]原子力显微镜(AFM)是具有约几分之一纳米的证实的分辨率的高分辨率型扫描探针显微镜，