专利名称：焊垫结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种焊垫结构，且特别涉及一种位于主动电路结构上方的焊 垫结构。
背景技术：
集成电路集积度愈来愈高，芯片所占面积愈大即是成本愈高。而输入/
车命出电路(I/O circuit )、 l争电防护电^各(electrostatic discharge protection circuit)、焊垫(bondingpad)…等皆占有一定芯片面积，在某些情况下甚至 大于主动电路本身所占的面积。
一般而言，焊垫皆是位于输入/输出电路的外围。已知技术发展出一种透 过工艺技术直接将焊垫、输入/输出电路，以及主动电路形成在同一区域上， 以大幅降低芯片面积及制造成本。此种将焊垫放置在主动电路区域上的技术 称为BOAC ( bond pad over active circuit,主动电3各上方焊垫)。
在对焊垫进行接线的过程中，焊垫会因为引线压力及拉力的冲击，而使 焊垫破裂或与介电层脱离，进而导致产品的导接不良。为解决此问题，已知 技术会在焊垫下方形成支撑用金属层。在焊垫结构中使用越多层的支撑用金 属层，可以增加焊垫结构的强度，但是会造成浪费空间以及成本上升等问题。
在现今半导体工艺中，为提升半导体元件的效能，会选择低介电常数的 材料来形成介电层。然而，此低介电常数的介电层的强度较差，会导致焊垫 结构的引线拉力强度(wire pull strength )及可靠度降低。如此一来，坪垫结 构在只有一层支撑用金属层的情况下，在进行接线的过程中还是会造成焊垫 破裂或与介电层脱离，更甚者会伤害到焊垫下方的其他半导体结构。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的就是在提供一种焊垫结构，可避免焊垫破裂或 与介电层脱离。
本发明的另一目的是提供一种焊垫结构，能有效地保护位于焊垫下方的半导体结构。
本发明提出一种焊垫结构，位于主动电路结构上方。焊垫结构包括焊垫、 保护层及主动电路结构中的最上层金属层。保护层覆盖焊垫且具有开口，而 开口暴露出部分焊垫。位于开口下方的部分最上层金属层为支撑层，支撑层 具有至少一个缝隙，且最上层金属层通过多个介层窗插塞与焊垫电性连接。
依照本发明的一实施例所述，在上述的焊垫结构中，支撑层的图案例如 是至少两个条状图案。
依照本发明的一实施例所述，在上述的焊垫结构中，条状图案例如是互 相平4亍。
依照本发明的一实施例所述，在上述的焊垫结构中，条状图案例如是互 相连接。
依照本发明的一实施例所述，在上述的焊垫结构中，支撑层的图案例如 是螺旋状图案。
依照本发明的一实施例所述，在上述的焊垫结构中，支撑层的图案例如 是格状图案。
依照本发明的一实施例所述，在上述的焊垫结构中，支撑层的图案包括 至少两个环状图案。
依照本发明的一实施例所述，在上述的焊垫结构中，环状图案例如是同 心环状图案。
本发明提出另一种焊垫结构，位于主动电路结构上方。焊垫结构包括焊 垫、保护层、主动电路结构中的最上层金属层及多个介层窗插塞。焊垫包括 接合部与非接合部，而接合部中的至少一部分为接合区。保护层覆盖焊垫且
具有开口，而开口暴露出焊垫的接合部。最上层金属层包括支撑层及电路层。 支撑层位于焊垫的接合区下方且具有至少一个缝隙。电路层位于焊垫下方。 介层窗插塞电性连接焊垫与电路层。
依照本发明的另一实施例所述，在上述的焊垫结构中，支撑层的图案例 如是至少两个条状图案。
依照本发明的另一实施例所述，在上述的焊垫结构中，条状图案例如是 互相平行。
依照本发明的另一实施例所述，在上述的焊垫结构中，条状图案例如是 互相连才妻。
5依照本发明的另一实施例所述，在上述的焊垫结构中，支撑层的图案例 如是螺旋状图案。
依照本发明的另一实施例所述，在上述的焊垫结构中，支撑层的图案例 如是格状图案。
依照本发明的另一实施例所述，在上述的焊垫结构中，支撑层的图案包 括至少两个环状图案。
依照本发明的另一实施例所述，在上述的焊垫结构中，环状图案例如是 同心环状图案。
依照本发明的另一实施例所述，在上述的焊垫结构中，支撑层与电路层 例如是互相连接。
依照本发明的另一实施例所迷，在上述的焊垫结构中，支撑层与电路层 例如是不相连接。
依照本发明的另一实施例所述，在上迷的焊垫结构中，非接合部位于接 合部的一侧。
依照本发明的另一实施例所述，在上述的焊垫结构中，非接合部位于接 合部的两侧。
依照本发明的另一实施例所述，在上述的焊垫结构中，支撑层的图案例 如是至少两个条状图案。
依照本发明的另一实施例所述，在上述的焊垫结构中，各个条状图案与 位于各个条状图案至少 一侧的电路层互相连接。
依照本发明的另一实施例所述，在上述的焊垫结构中，条状图案的延伸 方向与接合部的延伸方向例如是平行或垂直。
依照本发明的另一实施例所述，在上迷的焊垫结构中，位于接合部两侧 的介层窗插塞互相对称。
依照本发明的另一实施例所述，在上述的焊垫结构中，位于接合部两侧 的介层窗插塞互不对称。
基于上述，由于本发明所提出的焊垫结构中的支撑层具有至少一个缝 隙，因此能够提高支撑层的杨氏系数，进而提高焊垫的引线拉力强度及可靠 度，而避免在进行接线的过程中造成焊垫破裂或与介电层脱离。此外，支撑 层还可以防止引线压力对焊垫下方的半导体结构造成伤害。
为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
图1所绘示为本发明的第一实施例的焊垫结构及最上层金属层的上示图。
图2所绘示为沿图1中I-I，剖面线的剖面图。
图3所绘示为本发明的第二实施例的焊垫结构及最上层金属层的上示图。
图4所绘示为本发明的第三实施例的焊垫结构及最上层金属层的上示图。
图5所绘示为本发明的第四实施例的焊垫结构及最上层金属层的上示图。
图6所绘示为本发明的第五实施例的烀垫结构及最上层金属层的上示图。
图7所绘示为本发明的第六实施例的焊垫结构及最上层金属层的上示图。
图8所绘示为本发明的第七实施例的焊垫结构及最上层金属层的上示图。
图9所绘示为本发明的第八实施例的焊垫结构及最上层金属层的剖面图。
附图标记说明
100、200、300、 400、500、600、700、 800:焊垫结构
102:基底104:主动电i 各结构
106、206:焊垫108:保护层
110、210、310、 410、510、610、710:最上层金属层112、212:介层窗插塞114、 214:接合部
116、216:非接合部118:开口
120、220、320、 420、520、620、720、 820:支撑层
122、222、322、 422、522、622、722:电路层
124、224、324、 424、524、624、724:缝隙
126、226、326、 626:条状图案426:螺旋状图案726:环状图案 802:接合区
804:非接合区 806:客制化绕线
具体实施例方式
图1所绘示为本发明的第一实施例的焊垫结构及最上层金属层的上示 图。图2所绘示为沿图1中I-I，剖面线的剖面图。
请同时参照图l及图2,焊垫结构100位于基底102上主动电路结构104 的上方。焊垫结构100包括焊垫106、保护层108、主动电路结构104中的 最上层金属层IIO及介层窗插塞112。此外，主动电路结构104中的其他金 属层可作为客制化绕线(customer routing )的用。
焊垫106包括接合部114与非接合部116。接合部114为焊垫106用以 进行接线的部分，而非接合部116为焊垫106不用以进行接线的部分。非接 合部116例如是位于接合部114的一侧。焊垫106的材料例如是铝等金属材 料。
在本实施例中，是以非接合部116位于接合部114的一侧为例进行说明， 但并不用以限制本发明。在其他实施例中，非接合部116可位于接合部114 的两侧。
保护层108覆盖焊垫106，以保护焊垫106,避免与外界接触而造成污 染、金属氧化或是损坏等问题。保护层108具有开口 118，而开口 U8暴露 出焊垫106的接合部114。保护层108的材料例如是氧化硅或氮化硅等介电 材料。
最上层金属层110包括支撑层120及电路层122。最上层金属层110的 材料例如是铜等金属材料。支撑层120位于开口 118所暴露出的焊垫106的 接合部114下方，而电路层122位于焊垫106的非接合部116下方。支撑层 120例如是与电路层122互相连接。在其他实施例中，支撑层120与电路层 122也可以互不连接。
支撑层120具有至少一个缝隙124，此缝隙124可提高支撑层120的杨 氏系数。支撑层120的图案并没有特别的限制，只要是具有缝隙124的图案 即可。在本实施例中，支撑层120的图案是以至少两个条状图案126 (如图 1中的六个条状图案126)为例进行说明，且条状图案126例如是互相平行。 虽然在本实施铜中，电路层122与支撑层120互相连接的方式为各个条状图案126分别与电路层122电性连接，但是电路层122与支撑层120互相连接 的方式并不限于此。
介层窗插塞112电性连接焊垫106与电路层122。介层窗插塞112的材 料例如是钨等金属。
由上述第一实施例可知，由于焊垫结构100中的支撑层120具有至少一 个缝隙124，可藉以提升支撑层120的杨氏系数，使得焊垫106的引线拉力 强度及可靠度提高，所以能避免在后续进行接线的过程中造成焊垫106破裂 或与介电层脱离的情况发生。此外，在后续进行接线的过程中，支撑层120 还可以保护焊垫106下方的半导体结构，可用以防止51线压力对焊垫106下 方的半导体结构(如主动电路结构104中的其他金属层)造成伤害。
图3所绘示为本发明的第二实施例的焊垫结构及最上层金属层的上示 图。于图3中，与图1相同的构件则使用相同的标号并省略其说明。
请同时参照图l及图3，第二实施例中的焊垫结构200与第一实施例中 的焊垫结构100的差异在于第一实施例的焊垫106的非接合部116与介层 窗插塞112是位于接合部114的一侧，而第二实施例的焊垫206的非接合部 216与介层窗插塞212是位于接合部214的两侧。如此一来，在最上层金属 层210中，电路层222会位于支撑层220的两侧。支撑层220例如是与电路 层222互相连接。在其他实施例中，支撑层220与电路层222也可以互不连 接。在本实施例中，位于接合部214两侧的介层窗插塞212互相对称。在其 他实施例中，位于接合部214两侧的介层窗插塞212可互不对称。除此之外， 第二实施例中的焊垫结构200与第一实施例的焊垫结构100的相似构件的材 料及功效大致相同，故于此不再赘述。
由于第二实施例中的焊垫结构200与第一实施例的焊垫结构100具有相 似的技术特征，即在支撑层220中具有位于相邻两个条状图案226之间的至 少一个缝隙224，在后续进行接线的过程中可避免焊垫206破裂或与介电层 脱离，且能有效地保护位于焊垫206下方的半导体结构。
图4所绘示为本发明的第三实施例的焊垫结构及最上层金属层的上示 图。于图4中，与图1相同的构件则使用相同的标号并省略其说明。
请同时参照图l及图4，第三实施例中的焊垫结构300与第一实施例中 的焊垫结构IOO的差异在于支撑层与电路层的连接方式不同。在第一实施例 的最上层金属层110的支撑层120中，各个条状图案126互不连接且分别与
9电路层122互相连接，而在第三实施例的最上层金属层310的支撑层320中， 各个条状图案326互相连接，且条状图案326中的其中一条与电路层322互 相连接。在其他实施例中，支撑层320与电路层322也可以互不连接。条状 图案326的延伸方向例如是与接合部114的延伸方向平行。在其他实施例中， 条状图案326的延伸方向也可以是与接合部114的延伸方向垂直。除此之外， 第三实施例中的焊垫结构300与第 一实施例的焊垫结构100的相似构件的材 料及功效大致相同，故于此不再赘述。
由于第三实施例中的焊垫结构300与第一实施例的焊垫结构100具有相 似的技术特征，即在支撑层320中具有至少一个缝隙324，在后续进行接线 的过程中可避免焊垫106破裂或与介电层脱离，且能有效地保护位于焊垫 106下方的半导体结构。
图5所绘示为本发明的第四实施例的焊垫结构及最上层金属层的上示 图。于图5中，与图1相同的构件则使用相同的标号并省略其说明。
请同时参照图l及图5，第四实施例中的焊垫结构400与第一实施例中 的焊垫结构100的差异在于第一实施例的最上层金属层110的支撑层120 的图案为至少两个条状图案126(如图1中的互相平行的六个条状图案U6)， 而在第四实施例的最上层金属层410的支撑层"0的图案为螺旋状图案426。 最上层金属层410的支撑层420例如是与电路层电性连接。在其他实施 例中，支撑层420与电路层222也可以互不连接。除此之外，第四实施例中 的焊垫结构400与第一实施例的焊垫结构100的相似构件的材料及功效大致 相同，故于此不再赘述。
由于第四实施例中的焊垫结构400与第 一实施例的焊垫结构100具有相 似的技术特征，即在支撑层420中具有至少一个缝隙424，在后续进行接线 的过程中可避免焊垫106破裂或与介电层脱离，且能有效地保护位于焊垫 106下方的半导体结构。
图6所绘示为本发明的第五实施例的焊垫结构及最上层金属层的上示 图。于图6中，与图l相同的构件则使用相同的标号并省略其说明。
请同时参照图l及图6，第五实施例中的焊垫结构500与第一实施例中 的焊垫结构100的差异在于第一实施例的最上层金属层110的支撑层120 的图案为至少两个条状图案126(如图1中的互相平行的六个条状图案126), 而在第五实施例的最上层金属层510的支撑层520的图案为格状图案。最上层金属层510的支撑层520例如是与电路层522电性连接。在其他实施例中， 支撑层520与电路层522也可以互不连接。除此之外，第五实施例中的焊垫 结构500与第一实施例的焊垫结构100的相似构件的材^F及功效大致相同， 故于此不再赘述。
由于第五实施例中的焊垫结构500与第 一实施例的焊垫结构100具有相 似的技术特征，即在支撑层520中具有至少一个缝隙524,在后续进行接线 的过程中可避免焊垫106破裂或与介电层脱离，且能有效地保护位于焊垫 106下方的半导体结构。
图7所绘示为本发明的第六实施例的焊垫结构及最上层金属层的上示 图。于图7中，.与图3相同的构件则使用相同的标号并省略其说明。
请同时参照图3及图7,第六实施例中的焊垫结构600与第二实施例中 的焊垫结构200的差异在于在第二实施例的最上层金属层210的支撑层220 中，各个条状图案226同时与位于条状图案226两侧的电路层222互相连接， 而在第六实施例的最上层金属层610的支撑层620中，各个条状图案6%与 位于条状图案626至少一侧的电路层622互相连接。在其他实施例中，支撑 层620与电路层622也可以互不连接。除此之外，第六实施例中的焊垫结构 600与第二实施例的焊垫结构200的相似构件的材料及功效大致相同，故于 此不再赘述。
由于第六实施例中的焊垫结构600与第二实施例的焊垫结构200具有相 似的技术特征，即在支撑层620中具有至少一个缝隙624,在后续进行接线 的过程中可避免焊垫206破裂或与介电层脱离，且能有效地保护位于焊垫 206下方的半导体结构。
图8所绘示为本发明的第七实施例的焊垫结构及最上层金属层的上示 图。于图8中，与图1相同的构件则使用相同的标号并省略其说明。
请同时参照图l及图8，第七实施例中的焊垫结构700与第一实施例中 的焊垫结构100的差异在于第一实施例的最上层金属层110的支撑层120 的图案为至少两个条状图案126(如图1中的互相平行的六个条状图案U6), 而在第四实施例的最上层金属层710的支撑层720的图案为至少两个环状图 案726 (如图7中的三个环状图案726)，且环状图案7M例如是同心环状图 案。最上层金属层710的支撑层720例如是与电路层722互不连接。在其他 实施例中，支撑层720与电路层722也可以电性连接。除此之外，第七实施例中的焊垫结构700与第一实施例的焊垫结构100的相似构件的材料及功效大致相同，故于此不再赘述。
由于第七实施例中的焊垫结构700与第 一实施例的焊垫结构100具有相似的技术特征，即在支撑层720中具有至少一个缝隙724,在后续进行接线的过程中可避免焊垫106破裂或与介电层脱离，且能有效地保护位于焊垫106下方的半导体结构。
在上述第一实施例至第七实施例中，是以支撑层位于整个接合部下方为例进行说明。然而，在接合部中，至少一部分的接合部是用以进行接线的区域，称之为接合区，因此支撑层只要是位于接合区的下方，即可达成本发明的功效。以下，特举一实施例进行说明。
图9所绘示为本发明的第八实施例的焊垫结构及最上层金属层的剖面图。于图9中，与图2相同的构件则使用相同的标号并省略其il明。
请同时参照图2及图9，第八实施例中的焊垫结构800与第一实施例中的焊垫结构100的差异在于第一实施例的支撑层120位于整个接合部ll4下方，而第八实施例的接合部114可分为接合区802与非接合区804，且支撑层820仅位于接合部114中用以进行接线的接合区802下方。支撑层820的图案可为第 一实施例至第七实施例中的任一种支撑层的图案。除此之外'第八实施例中的焊垫结构800与第 一实施例的焊垫结构100的相似构件的材料及功效大致相同，故于此不再赘述。
由于第八实施例中的支撑层820仅位于接合区802 (部分接合部1")下方，因此非接合区804下方的空间可用以制作客制化绕线806。
综上所述，上述实施例至少具有下列优点
1. 通过本发明所提出的焊垫结构能够提高焊垫的引线拉力强度及可靠度。
、
2. 本发明所提出的焊垫结构可在进行接线的过程中防止焊垫破裂或与介电层脱离。
3. 利用本发明所提出的焊垫结构能在进行接线的过程中保护焊垫下方的半导体结构。
虽然本发明已以实施例披露如上，然其并非用以限定本发明，本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的权利要求所界定者为准。
1权利要求
1.一种焊垫结构，位于主动电路结构上方，包括焊垫；保护层，覆盖该焊垫且具有开口，而该开口暴露出部分该焊垫；以及该主动电路结构中的最上层金属层，位于该开口下方的部分该最上层金属层为支撑层，该支撑层具有至少一个缝隙，且该最上层金属层通过多个介层窗插塞与该焊垫电性连接。
2. 如权利要求1所述的焊垫结构，其中该支撑层的图案包括至少两个条 状图案。
3. 如权利要求2所迷的焊垫结构，其中所述条状图案互相平行。
4. 如权利要求2所述的焊垫结构，其中所述条状图案互相连接。
5. 如权利要求1所述的焊垫结构，其中该支撑层的图案包括螺旋状图案。
6. 如权利要求1所述的焊垫结构，其中该支撑层的图案包括格状图案。
7. 如权利要求1所述的焊垫结构，其中该支撑层的图案包括至少两个环 状图案。
8. 如权利要求7所述的焊垫结构，其中所述环状图案为同心环状图案。
9. 一种焊垫结构，位于主动电路结构上方，包括焊垫，包括接合部与非接合部，而该接合部中的至少一部分为接合区； 保护层，覆盖该焊垫且具有开口，而该开口暴露出该焊垫的该接合部； 该主动电路结构中的最上层金属层，包括支撑层，位于该焊垫的该接合区下方且具有至少一个缝隙；以及电路层，位于该焊垫下方；以及 多个介层窗插塞，电性连接该焊垫与该电路层。
10. 如权利要求9所述的焊垫结构，其中该支撑层的图案包括至少两个条 状图案。
11. 如权利要求IO所述的焊垫结构，其中所述条状图案互相平行。
12. 如权利要求10所述的焊垫结构，其中所迷条状图案互相连接。
13. 如权利要求9所述的焊垫结构，其中该支撑层的图案包括螺旋状图案。
14. 如权利要求9所述的焊垫结构，其中该支撑层的图案包括格状图案。
15. 如权利要求9所述的焊垫结构，其中该支撑层的图案包括至少两个环 状图案。
16. 如权利要求15所述的焊垫结构，其中所述环状图案为同心环状图案。
17. 如权利要求9所述的焊垫结构，其中该支撑层与该电路层互相连接。
18. 如权利要求9所述的焊垫结构，其中该支撑层与该电路层不相连接。
19. 如权利要求9所述的焊垫结构，其中该非接合部位于该接合部的一侧。
20. 如权利要求9所述的焊垫结构，其中该非接合部位于该接合部的两侧。
21. 如权利要求20所述的焊垫结构，其中该支撑层的图案包括至少两个 条状图案。
22. 如权利要求21所述的焊垫结构，其中各该条状图案与位于各该条状图案至少一侧的该电路层互相连接。
23. 如权利要求21所述的焊垫结构，其中所述条状图案的延伸方向与该才妻合部的延伸方向平行或垂直。
24. 如权利要求20所述的焊垫结构，其中位于该接合部两侧的所述介层窗插塞互相对称。
25. 如权利要求20所述的焊垫结构，其中位于该接合部两侧的所述介层 窗插塞互不对称。
全文摘要
一种焊垫结构，位于主动电路结构上方。焊垫结构包括焊垫、保护层及主动电路结构中的最上层金属层。保护层覆盖焊垫且具有开口，而开口暴露出部分焊垫。位于开口下方的部分最上层金属层为支撑层，支撑层具有至少一个缝隙，且最上层金属层通过多个介层窗插塞与焊垫电性连接。
文档编号H01L23/48GK101604673SQ20081010942
公开日2009年12月16日 申请日期2008年6月12日 优先权日2008年6月12日
发明者吴炳昌 申请人:联华电子股份有限公司