专利名称：药液供给系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及药液供给技术，更具体地，涉及药液供给系统。
背景技术：
当前，在湿法刻蚀等刻蚀工艺中，刻蚀设备在多个步骤中都可能利用化学药液来处理晶体硅。例如，湿法刻蚀中的制绒就是利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐蚀特性，在硅片表面腐蚀，进而形成角锥体密布的表面形貌。当前多晶制绒机的腐蚀槽的自动补液是利用气动阀中的截流片来控制补液量(补液量=流量*时间)。图1示意了现有的多晶制绒机的腐蚀槽的自动补液系统的结构框图。 如HF、HNO3等化学药液储存在储存桶10中，经由气动阀20送往刻蚀槽(未示出)。在气动阀20中的截流片201如图2所示，药液是从截流片201的孔洞2010中流过。由于截流片 201的孔洞2010会因药液中异物残留和累积而随着使用时间的增加而变小，导致药液流量变小影响药液补给。严重情形下，截流片201的孔洞2010最终如图3所示意的那样完全堵
O由于截流片201在气动阀20内，所以使用者无法直接观察到截流片201的工作情况，也就无法获知它是否发生堵塞，堵塞到什么程度。此外，由于截流片201与储存化学药液的储存桶10相连接，而化学药液的性质使得拆卸存在风险，便使得工作人员难以经常拆装查看截流片201的工作情况。总而言之，受截流片201位置设置的限制，工作人员将无法及时知道因截流片201发生异常而导致的药液流量变小。如本领域技术人员所知道的，自动补液的时间一般是预先设定好的，因此流量变小将导致补充给刻蚀槽的化学药液量将减少，由此带来例如制绒效果变差等一系列不良影响。虽然自动补液系统有手动补液功能，但手动补液精确性不高，往往会发生补液过量或者补液不足的情况，影响了多晶制绒工序的工艺稳定性。
发明内容为解决上述及其它问题，本实用新型提供一种药液供给系统。该系统包括药液储存装置，与药液储存装置连接将药液输送给刻蚀槽的输送管路，与所述药液储存装置连通的液位计量器，其中，所述液位计量器为透明材质的中空管，其一个管口与所述药液储存装置的下半部连通使得所述液位计量器与所述药液储存装置形成连通器，所述液位计量器的外表面上设置有刻度。本实用新型所述的药液供给系统，优选地，所述一个管口连接到所述药液储存装置的下半部是将该管口在靠近所述药液储存装置底部的位置与所述药液储存装置连通。本实用新型所述的药液供给系统，优选地，所述液位计量器为L型中空管，其略高于所述药液储存装置存放最大药液量时液面的所在位置。[0010]本实用新型所述的药液供给系统，可替代地，所述液位计量器为U型中空管，其另一个管口与所述药液储存装置的上半部连通。本实用新型所述的药液供给系统，优选地，所述液位计量器的另一个管口与所述药液储存装置的上半部连通是将该液位计量器的另一个管口在靠近所述药液储存装置顶部的位置处与所述药液储存装置连通。本实用新型所述的药液供给系统，优选地，所述靠近所述药液储存装置顶部的位置处与所述药液储存装置所能储存的最大药液量的液面所在处相当或略高于其。本实用新型所述的药液供给系统，优选地，所述液位计量器为PE材质。本实用新型所述的药液供给系统，借由液位计量器可获知药液储存装置中已补入刻蚀槽的药液的高度变化，进而获知补液量。而借由该补液量，以及补液时间，也可获知单位时间内的补液量，从而监测截流片的工作状况。
图1示意了现有的多晶制绒机的腐蚀槽的自动补液系统的结构框图。图2是截流片的示意图。图3是堵塞的截流片的示意图。图4是根据本实用新型的一个示例的药液供给系统的示意图。
具体实施方式
以下结合附图进一步阐述本实用新型。需要说明的是，所给出的附图为示意性的， 并不就此限制实际应用中药液供给系统中各部件的实际大小及形状。参考图4，其给出了根据本实用新型的药液供给系统的一个示例性结构。先行说明的是，以下示例中，以该药液供给系统向多晶制绒机的腐蚀槽供应药液为例进行说明，但并不以此为限。术语“药液”指代在药液供给系统中流动的物质，根据该系统的应用环境，其可以对应于不同的物质。术语“刻蚀槽”指代刻蚀设备某一阶段中利用化学药液处理多晶硅的装置，在进行多晶硅制绒的过程中，“刻蚀槽”也被称为“腐蚀槽”。如图所示，药液供给系统用于向多晶制绒机的腐蚀槽27补给药液。药液供给系统包括药液储存装置10，液位计量器30，以及设置有气动阀20的输送管路(未标号)。药液储存装置10中存放进行制绒作业的化学药液，该化学药液可通过输送管路送往腐蚀槽27。例如，在腐蚀槽27中的化学药液的量需要补充时，由所示的药液供给系统通过气动阀20所在的输送管路将化学药液送往腐蚀槽27。液位计量器30与药液储存装置10相连通。药液计量器30是如由PE等材质形成的U型透明中空管，其一端301与药液储存装置10的上半部连通，另一端302与药液储存装置10的下半部连通。更具体地，药液计量器30的一端301 在药液储存装置10的靠近顶部的地方与药液储存装置10连通，而该连通处与药液储存装置10在其中存放最多药液时的药液面的位置相当，也就是说，该连通处对应于药液储存装置10存放最多药液时药液的高度；或者，该连通处所在的位置略高于药液储存装置10在其中存放最多药液时的药液面；药液计量器30的另一端302在药液储存装置10的靠近底部的地方与药液储存装置10连通，该靠近底部的地方优选为药液储存装置10的最底部。药液计量器30的上面设置有表征药液计量器30中溶液量多少的刻度303。由于药液计量器 30与药液储存装置10连通，所以药液储存装置10中的药液高度变化同样体现在药液计量器30中的药液高度变化上，由此，通过读取刻度获知药液计量器30中的药液高度变化，便可知道药液储存装置10中的药液高度变化。而药液储存装置10的横截面已知，所以可以计算出补液量。进一步，在进行补液的过程中，对补液时间进行记录，亦即记录从补液开始到补液结束的时间，从而可由补液量计算出单位时间内的补液量。由于在药液供给系统中，通过未发生任何堵塞的截流片201的单位时间内的补液量是预先已知的，所以如果计算出的单位时间内的补液量与已知的单位时间内的补液量不同，便可获知截流片201存在问题。这样便可监控到截流片201的工作状况。以下结合图4描述补液过程。先将手动阀50关闭，以避免在补液过程中，药液会自动添加到储存装置10中。在将手动阀50关闭，且未开始补液之前，记录药液储存装置10中的液面高度hi。打开气动阀 20，在补液开始的同时开始计时，可选地，药液供给系统设置有自动计时器，可自动计时。在补液结束之后，停止计时，读取药液储存装置10的液面高度h2，由此知道高度差，从而可根据式(1)计算出已补充药液的体积V= (hi - h2) X S(1)其中，V为补液体积，S为药液储存装置10的横截面积。进一步，基于公式(1)可计算出单位时间内的补液量Vt = V/t其中，Vt为单位时间内的补液量，V为公式(1)所计算出的补液体积，t为计时获得的补液时间。通过上述过程获得单位时间内的补液量后，便可据此监控补液体积是否准确，截流片是否堵塞等状况，有效减少多晶制绒工序异常。以上是以液位计量器为U型中空管进行的说明，作为示例，液位计量器还可以是L 型中空管。液位计量器为L型中空管的示例与液位计量器为U型中空管的示例在原理与操作方面基本相同，区别在于在液位计量器为L型中空管的情况下，液位计量器仅其一个端口与药液储存装置10的下半部连通，优选在靠近或在药液储存装置10的底部处与其连通， 而且液位计量器的高度略大于所述药液储存装置所能储存的药液的最大高度。应当说明的是，以上具体实施方式
只是本实用新型的示意性而非限制性地说明。 尽管已参照上述具体实施方式
对本实用新型进行了详细描述，但本领域的普通技术人员应当理解，依然可对本实用新型的具体实施方式
进行修改或对部分技术特征进行等同替换， 而这些修改或等同替换均应涵盖在本实用新型请求保护的范围内。
权利要求1.一种药液供给系统，用于刻蚀设备中的药液供给，该系统包括药液储存装置，与药液储存装置连接将药液输送给刻蚀槽的输送管路，与所述药液储存装置连通的液位计量器， 其特征在于，所述液位计量器为透明材质的中空管，其一个管口与所述药液储存装置的下半部连通使得所述液位计量器与所述药液储存装置形成连通器，所述液位计量器的外表面上设置有刻度。
2.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，所述一个管口连接到所述药液储存装置的下半部是将该管口在靠近所述药液储存装置底部的位置与所述药液储存装置连通。
3.根据权利要求1或2所述的药液供给系统，其特征在于，所述液位计量器为L型中空管，其略高于所述药液储存装置存放最大药液量时液面的所在位置。
4.根据权利要求1或2所述的药液供给系统，其特征在于，所述液位计量器为U型中空管，其另一个管口与所述药液储存装置的上半部连通。
5.根据权利要求4所述的药液供给系统，其特征在于，所述液位计量器的另一个管口与所述药液储存装置的上半部连通是所述液位计量器的另一个管口在靠近所述药液储存装置顶部的位置处与所述药液储存装置连通。
6.根据权利要求5所述的药液供给系统，其特征在于，所述靠近所述药液储存装置顶部的位置处略高于所述药液储存装置所能储存的最大药液量的液面所在处。
7.根据权利要求1所述的药液供给系统，其特征在于，所述液位计量器为PE材质。
专利摘要本实用新型提供一种药液供给系统。该系统包括药液储存装置，与药液储存装置连接将药液输送给刻蚀槽的输送管路，与所述药液储存装置连通的液位计量器，其中，所述液位计量器为透明材质的中空管，其一个管口与所述药液储存装置的下半部连通使得所述液位计量器与所述药液储存装置形成连通器，所述液位计量器的外表面上设置有刻度。本实用新型所述的药液供给系统，可监测气动阀中的截流片的状况。
文档编号H01L21/00GK202297102SQ201120305700
公开日2012年7月4日 申请日期2011年8月22日 优先权日2011年8月22日
发明者何悦, 徐会, 杨保平, 荣道兰 申请人:尚德太阳能电力有限公司, 无锡尚德太阳能电力有限公司