一种电子束退火制备氧化锌薄膜的方法与流程

技术特征：

1.一种电子束退火制备氧化锌薄膜的方法，所述方法的步骤如下：

(1)将与氧化锌前驱膜衬底材料和大小尺寸相同的裸衬底放入到电子束加工设备样品室中的可移动工件台上，关闭样品室并启动真空泵对样品室抽真空；

(2)选择电子束加速电压U：在5～60kV范围内任意选择加速电压U，前提条件是被该电压加速后的电子在先驱膜中的有效穿透深度R必须不小于前驱膜厚度h，

(3)选择电子束聚焦束流I_f，确定束斑尺寸Φ：电子束聚焦束流I_f决定束斑直径Φ的大小；待被束斑覆盖的前驱膜退火后，移动工件台，使未被束斑覆盖的前驱膜部分移动到束斑正下方，被电子束覆盖进行退火；

(4)选择电子束束流I：按照步骤(2)和步骤(3)选定的数值设定电子束加工设备的加速电压U和聚焦束流I_f，由电子束加工设备的移动工件台将所述裸衬底移动到电子束束斑正下方位置，调整电子束束流大小，启动电子束进行退火；

(5)前驱膜退火：加速电压、聚焦束流和电子束束流确定后，从样品室中取出放置的裸衬底，在原放置裸衬底的位置换上氧化锌前驱膜；用电子束照射氧化锌前驱膜，退火完成后，生成氧化锌薄膜，

其特征在于：所述方法采用电子束在真空度高于1.0×10^-2Pa的环境中对氧化锌前驱膜进行退火，在几分钟的退火时间内使氧化锌前驱膜中的含锌有机物发生分解反应，最终生成氧化锌薄膜；用红外测温仪记录裸衬底的表面温度T，根据测量的温度值，调节电子束束流大小，选择达到所需退火温度的电子束束流值；所述的氧化锌前驱膜为Sol-Gel法制备的溶胶经匀胶机旋涂在衬底上并热烘后的凝胶膜。

2.按照权利要求1所述的电子束退火制备氧化锌薄膜的方法，其特征在于：所述的衬底为硅(Si)或石英玻璃。

3.按照权利要求1所述的电子束退火制备氧化锌薄膜的方法，其特征在于：所述的电子束加工设备为电子束焊接机、电子束退火机或电子束曝光机。