技术总结
描述了一种用于承载基板以搬运通过不同工艺的静电载体。所述载体具有电介质板和基底板，所述电介质板具有顶侧和底侧，并且经配置以使用静电力而在所述板的顶侧上被附接至基板，并且所述基底板耦接至所述电介质板的底侧。电极形成在所述基底板上，并且跨所述基底板平行于所述电介质板的所述顶侧延伸。所述电极经配置以载送静电电荷，并且形成为使得第一电荷的电极定位在第二电荷的电极附近。连接器延伸穿过所述基底板而至所述电极，以便将所述电极耦接至静电电荷的源。
技术研发人员：A·桑达拉江;J·S·卢;S·斯如纳乌卡拉苏;K·埃卢马莱
受保护的技术使用者：应用材料公司
文档号码：201580025299
技术研发日：2015.05.11
技术公布日：2017.02.22