氧化物层的工艺和制造技术的制作方法

文档序号:11142513阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种溶液,其包含:

(i)一种或多种含氟酸化合物或含氟酸;

(ⅱ)硝酸;

(ⅲ)一种或多种选自2,4-二羟基吡啶,吡啶,二氯哒嗪-3(2H)-酮,一种或多种含碘酸,硫酸,盐酸吡哆醇,硒酸,银(I)氧化物或银(II)氧化物中的一种或多种的额外的化合物;和

(iv)水。

2.权利要求1所述的溶液,其中组分(i)是氢氟酸。

3.权利要求1所述的溶液,其包含:

(i)氢氟酸;

(ⅱ)硝酸;

(ⅲ)2,4-二羟基吡啶;和

(iv)水。

4.权利要求1所述的溶液,其包含:

(i)氢氟酸;

(ⅱ)硝酸;

(ⅲ)吡啶;和

(iv)水。

5.权利要求1所述的溶液,其包含:

(i)氢氟酸;

(ⅱ)硝酸;

(ⅲ)二氯哒嗪-3(2H)-酮;和

(iv)水。

6.权利要求1所述的溶液,其包含:

(i)氢氟酸;

(ⅱ)硝酸;

(ⅲ)硫酸和一种或多种含碘酸;和

(iv)水。

7.权利要求6所述的溶液,其中组分(iii)是碘酸。

8.权利要求1所述的溶液,其包含:

(i)氢氟酸;

(ⅱ)硝酸;

(ⅲ)盐酸吡哆醇;和

(iv)水。

9.权利要求1所述的溶液,其中所述溶液按配方配制以足够快地蚀刻硅,以在小于约80秒内除去发射极。

10.权利要求1所述的溶液,其中所述溶液按配方配制以生长薄膜,该薄膜在向其施加热预算后使表面钝化。

11.权利要求10所述的溶液,其中所述热预算是包含如下的退火预算:约400秒的在从约350℃至约725℃的温度下的上升线,随后约300秒的平稳期,然后约400秒的下降至约350℃的温度的下降线。

12.一种溶液,其包含:

(A)一种或多种含氟酸化合物或含氟酸;

(B)一种或多种选自如下物质的一种或多种的额外的化合物:2,4-二羟基吡啶,吡啶,二氯哒嗪-3(2H)-酮,一种或多种含碘酸,硫酸,盐酸吡哆醇,一种或多种含硒酸化合物或含硒酸,银(I)氧化物,或银(II)氧化物;和

(C)水。

13.权利要求12所述的溶液,其中组分(A)是氢氟酸。

14.权利要求12所述的溶液,其包含:

(A)氢氟酸;

(B)银(I)氧化物;和

(C)水。

15.权利要求12所述的溶液,其包含:

(A)氢氟酸;

(B)银(II)氧化物;和

(C)水。

16.权利要求12所述的溶液,其包含:

(A)氢氟酸;

(B)一种或多种含硒酸化合物或含硒酸;和

(C)水。

17.权利要求16所述的溶液,其中所述一种或多种含硒酸化合物或含硒酸是硒酸。

18.权利要求12所述的溶液,其中所述溶液按配方配制以足够快地速度蚀刻硅,以在小于约80秒内除去发射极。

19.权利要求12所述的溶液,其中所述溶液按配方配制以生长薄膜,该薄膜在向其施加热预算后使表面钝化。

20.权利要求19所述的溶液,其中所述热预算是包含如下的退火预算:约400秒的在从约350℃至约725℃的温度下的上升线,随后约300秒的平稳期,然后约400秒的下降至约350℃的温度的下降线。

21.一种溶液,其包含:

(a)约35重量%至约50重量%的一种或多种酸和/或酸性化合物,其中所述一种或多种酸和/或酸性化合物选自如下物质的一种或多种:含氟化物的酸化合物或含氟酸性化合物,硝酸,硫酸,或这些酸或酸性化合物中的任意两种的任何组合,或甚至所有三种这些酸或酸性化合物的任何组合;

(b)下述额外组分中的至少一种:

(b1)约0.005重量%至约25重量%的一种或多种选自2,4-二羟基吡啶、吡啶、二氯哒嗪-3(2H)-酮或盐酸吡哆醇的添加剂;

(b2)约0.00005重量%至约0.25重量%的选自含碘酸、含硒酸或它们的组合的第二酸;或

(b3)约0.0005重量%至约0.075重量%的银(I)氧化物或银(Ⅱ)氧化物;和

(c)剩余部分的水。

22.权利要求21所述的溶液,其中所述一种或多种酸和/或酸性化合物选自氢氟酸、硝酸、硫酸。

23.权利要求21所述的溶液,其中所述含碘酸是碘酸。

24.权利要求21所述的溶液,其中所述含硒酸是硒酸。

25.一种包含至少一个钝化层的结构,所述钝化层使用采用权利要求1至13的任一种或多种溶液的方法形成。

26.一种包含至少一个钝化层的结构,所述钝化层使用采用权利要求21至24任一项的任一种或多种溶液的方法形成。

27.一种包含至少一个富银层的结构,所述富银层使用采用权利要求14、15或21至24任一项的任一种或多种溶液的方法形成。

28.一种溶液,其包含:

(i)一种或多种含氟酸化合物或含氟酸;

(ⅱ)硝酸;

(iii)一种或多种选自如下物质的一种或多种的额外的化合物:2,4-二羟基吡啶,吡啶,二氯哒嗪-3(2H)-酮,一种或多种含碘酸,硫酸,盐酸吡哆醇、硒酸,银(I)氧化物,或银(II)氧化物;和

(iv)水。

29.权利要求28所述的溶液,其中组分(iii)是碘酸。

30.权利要求28或29任一项所述的溶液,其中组分(i)是氢氟酸。

31.权利要求28-30任一项所述的溶液,其中所述溶液按配方配制以足够快地蚀刻硅,以在小于约80秒内除去发射极。

32.权利要求28-31任一项所述的溶液,其中所述溶液按配方配制以生长薄膜,该薄膜在向其施加热预算后使表面钝化。

33.权利要求28-32任一项所述的溶液,其中所述热预算是包含如下的退火预算:约400秒的在从约350℃至约725℃的温度下的上升线,随后约300秒的平稳期,然后约400秒的下降至约350℃的温度的下降线。

34.一种溶液,其包含:

(a)约35重量%至约50重量%的一种或多种酸和/或酸性化合物,其中所述一种或多种酸和/或酸性化合物选自如下物质的一种或多种:含氟化物的酸化合物或含氟酸性化合物、硝酸、硫酸或这些酸或酸性化合物中的任意两种的任何组合,或甚至所有三种这些酸或酸性化合物的任何组合;

(b)下述额外组分中的至少一种:

(b1)约0.005重量%至约25重量%的一种或多种选自2,4-二羟基吡啶、吡啶、二氯哒嗪-3(2H)-酮或盐酸吡哆醇的添加剂;

(b2)约0.00005重量%至约0.25重量%的选自含碘酸、含硒酸或它们的组合的第二酸;或

(b3)约0.0005重量%至约0.075重量%的银(I)氧化物或银(Ⅱ)氧化物;和

(c)剩余部分的水。

35.权利要求34所述的溶液,其中所述一种或多种酸和/或酸性化合物选自氢氟酸、硝酸、硫酸。

36.权利要求34或35任一项所述的溶液,其中所述含碘酸是碘酸。

37.权利要求34-36任一项所述的溶液,其中所述含硒酸是硒酸。

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