一种III族氮化物生物探针及其制备方法与流程

技术特征：

1.一种III族氮化物生物探针，包括：

一衬底(10)；

一第一n型氮化镓层(11)，形成于所述衬底(10)上；

一量子线结构(12)，该量子线结构(12)是由在所述第一n型氮化镓层(11)上生长的多量子阱(13)和第二n型氮化镓层(14)经腐蚀形成的。

2.根据权利要求1所述的III族氮化物生物探针，其特征在于，所述衬底(10)的材料为c面蓝宝石衬底。

3.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述第一n型氮化镓层(11)为硅掺杂的氮化镓，厚度在10μm-500μm之间。

4.根据权利要求1所述的III族氮化物生物探针，其特征在于，所述第一n型氮化镓层(11)是由金属有机物化学气相外延生长形成的。

5.根据权利要求1所述的III族氮化物生物探针，其特征在于，所述量子线结构(12)的厚度范围为10nm-100nm，直径范围为10nm-70nm。

6.根据权利要求1所述的III族氮化物生物探针，其特征在于，所述量子线结构(12)的量子阱层为GaN与InGaN的交替结构，其中GaN为本征GaN，InGaN中In的组分在10％-70％之间。

7.根据权利要求1所述的III族氮化物生物探针，其特征在于，一组量子阱的厚度范围为4nm-10nm；多量子阱的数量在1-10之间可调。

8.一种III族氮化物生物探针的制备方法，包括以下步骤：

步骤S1：在衬底(10)上生长第一n型氮化镓层(11)；

步骤S2：在所述第一n型氮化镓层(11)上生长多量子阱层(13)；

步骤S3：在所述多量子阱层(13)上生长第二n型氮化镓层(14)；

步骤S4：采用化学腐蚀方法对所述第二n型氮化镓层(14)及多量子阱层(13)进行腐蚀，得到量子线结构(12)。

9.根据权利要求8所述的III族氮化物生物探针的制备方法，其特征在于，所述第一n型氮化镓层(11)的掺杂剂为硅。

10.根据权利要求8所述的III族氮化物生物探针的制备方法，其特征在于，所述第二n型氮化镓层(14)的厚度范围为10nm-30nm。

11.根据权利要求8所述的III族氮化物生物探针的制备方法，其特征在于，所述化学腐蚀是使用硝酸银和氢氟酸的混合溶液，在紫外光下进行的化学腐蚀。

12.根据权利要求8所述的III族氮化物生物探针的制备方法，其特征在于，其制备方法还包括将所述的量子线结构(12)浸泡于化学溶液中，去除所述化学腐蚀中反应生成的金属颗粒。

13.根据权利要求8或12所述的III族氮化物生物探针的制备方法，其特征在于，其制备方法还包括对所述的量子线结构(12)进行超声波清洗，得到分散的量子线。

14.根据权利要求12所述的III族氮化物生物探针的制备方法，其特征在于，所述化学溶液为一定浓度的硝酸溶液用于去除所述化学腐蚀中产生的金属银颗粒。

15.根据权利要求13所述的III族氮化物生物探针的制备方法，其特征在于，所述的超声波清洗在一定纯度的乙醇溶液环境中进行，得到的所述量子线分散在乙醇溶液中。