1.一种微米级磁通聚集薄膜,包括薄膜A、薄膜B交替形成的2n层薄膜;当薄膜A为坡莫合金薄膜时,薄膜B为掺铬的坡莫合金薄膜,当薄膜A为掺铬的坡莫合金薄膜时,薄膜B为坡莫合金薄膜;所述薄膜A与薄膜B的厚度相同。
2.根据权利要求1所述的微米级磁通聚集薄膜,其特征在于,所述薄膜A和薄膜B的厚度相同,为50~100nm。
3.根据权利要求1所述的微米级磁通聚集薄膜,其特征在于,所述坡莫合金为铁镍合金,其中镍的质量分数为78%~82%。
4.根据权利要求1所述的微米级磁通聚集薄膜,其特征在于,所述坡莫合金为铁镍合金,其中镍的质量分数为81%,铁的质量分数为19%。
5.根据权利要求1所述的微米级磁通聚集薄膜,其特征在于,所述掺铬的坡莫合金中铬的重量百分比为1%~5%。
6.根据权利要求1所述的微米级磁通聚集薄膜,其特征在于,所述坡莫合金薄膜采用磁控溅射法制备得到,其中,背底真空为小于10-8mbar,溅射气体为氩气,溅射气压为1.5×10-4~2.0×10-4mbar。
7.根据权利要求1所述的微米级磁通聚集薄膜,其特征在于,所述掺铬的坡莫合金薄膜采用磁控溅射法制备得到,其中,背底真空为小于10-8mbar,溅射气体为氩气,溅射气压为1.5×10-4~2.0×10-4mbar。
8.一种微米级磁通聚集薄膜的制备方法,包括以下步骤:
步骤1:先后采用丙酮、乙醇和去离子水对基片进行清洗,清洗后置于氮气气氛下干燥;
步骤2:将步骤1清洗干燥后的基片放置于夹具上,所述夹具上由永磁体形成沿基片表面的200Oe的偏置场,然后置于磁控溅射设备真空腔中,采用磁控溅射法在基片表面沉积50~100nm厚的薄膜A,其中,背底真空为小于10-8mbar,溅射气体为氩气,溅射气压为1.5×10-4~2.0×10-4mbar;
步骤3:采用与步骤2相同的方法在步骤2得到的带薄膜A的基片上沉积与薄膜A厚度相同的薄膜B;所述薄膜A为坡莫合金薄膜时,薄膜B为掺铬的坡莫合金薄膜,当薄膜A为掺铬的坡莫合金薄膜时,薄膜B为坡莫合金;
步骤4:多次重复步骤2和步骤3,直到薄膜的厚度达到要求为止,即可得到所述微米级磁通聚集薄膜。