高耐压半导体分立器件芯片二次腐蚀台面工艺的制作方法

文档序号:12477934阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高耐压半导体分立器件芯片二次腐蚀台面工艺,其特征是,步骤如下:

1.1)、在表面具有氧化层的硅片表面进行一次腐蚀,一次腐蚀深度为75μm~85μm;

1.2)、经一次腐蚀V型槽的硅片,经过光刻掩膜,再对一次腐蚀V型槽进行二次腐蚀,二次腐蚀深度为7μm~10μm,且二次腐蚀台面宽度大于一次腐蚀台面宽度;

1.3)、两次台面腐蚀结束之后,进行玻璃钝化。

2.根据权利要求1所述的高耐压半导体分立器件芯片二次腐蚀台面工艺,其特征是,所述一次腐蚀的时间为3min~4min,二次腐蚀台面的时间为0.5min~0.8min。

3.根据权利要求1所述的高耐压半导体分立器件芯片二次腐蚀台面工艺,其特征是,二次腐蚀台面与一次腐蚀台面宽度差为60μm~80μm。

4.根据权利要求1所述的高耐压半导体分立器件芯片二次腐蚀台面工艺,其特征是,玻璃钝化时采用刀刮法,工艺步骤为:

4.1)、刮粉:用清洁的玻璃棒将适量的玻璃粉浆涂在硅片表面上,用单面刀片与水平方向呈45°均匀刮涂在槽内,反复刮涂15次~20次直至槽满为止;然后将硅片放在300W~500W的电炉上烘烤3min~5min,至玻璃粉干燥呈白色状;

4.2)、低温烧结:将刮粉后的硅片在480℃~520℃条件下进行低温烧结,烧结时间20分钟-30分钟,烧结过程中通N2做为保护气体;

4.3)、擦粉:将低温烧结后硅片放在清洁平整的玻璃板上,用橡皮擦轻而平地擦净硅片表面上的玻璃粉;

4.4)、高温烧结:将擦粉后硅片在720℃~880℃条件下进行高温烧结,烧结时间15分钟-20分钟,烧结过程中通N2或者O2做为保护气体;

4.5)、重复上述过程二遍-三遍。

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