一种场效应晶体管及其制备方法与流程

文档序号:11522011阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
范德瓦尔斯异质结以其原子层级界面,突出的机械柔性和极高的化学稳定性等特点将功能型异质结的研究带向了一个新的纪元。它的层间耦合特性使得打破了在选择制备材料时的束缚,并消除了传统材料在制备异质结构时的巨大限制。本发明意在提供一种工艺流程简单,对衬底和不同材料间晶格匹配要求低,不需要进行材料掺杂等工艺,而是利用范德瓦耳斯力将二种不同的二维晶体组成异质结结构,再利用该异质结结构作为导电沟道材料制备场效应晶体管及其制备方法。

技术研发人员:何家琪;何大伟;张璐;赵思淇;王永生
受保护的技术使用者:北京交通大学
技术研发日:2017.03.31
技术公布日:2017.08.18
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