1.一种基板支撑装置，其特征在于，包括：
支杆，
基板支撑件，套设在所述支杆的顶端；
球状体，设置在所述基板支撑件的顶面上；
以及保护袖套，嵌设在所述支杆的外侧与所述基板支撑件的内侧之间，且所述保护袖套具有波纹结构。
2.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述波纹结构的延伸方向与所述支杆的延伸方向相同。
3.根据权利要求2所述的基板支撑装置，其特征在于，沿所述支杆的延伸方向，所述波纹结构中每个波纹的长度为0.5～5mm。
4.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，沿所述支杆的延伸方向，所述保护袖套从所述基板支撑件的边缘露出。
5.根据权利要求4所述的基板支撑装置，其特征在于，所述保护袖套露出所述基板支撑件的长度为2～5mm。
6.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述保护袖套为橡胶袖套。
7.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述保护袖套的厚度为0.5～1mm。
8.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述保护袖套的长度为4～10mm。
9.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述球状体的半径为8～12mm。
10.根据权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述球状体凸出所述基板支撑件的顶面的高度为3～5mm。