基板支撑装置的制作方法

本实用新型涉及有机显示领域，特别是涉及一种基板支撑装置。

背景技术：

在OLED(organic light-emitting diode，有机发光二极管)显示屏制造过程的很多工序中，例如PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积法)、Oven(高温退火)等，均涉及对基板的支撑。现有的基板支撑设备100’，参见图1，一般包括支杆110’、球状体130’、以及基板支撑件120’。上述基板支撑设备，在使用过程中，基板支撑件120’与支杆110’之间存在摩擦和偏移，例如，取放片时机械手臂与基板的摩擦反作用力、反应气体吹动力、基板支撑件120’的热胀冷缩等；当基板支撑件120’与支杆110’之间的摩擦力过大时，会对基板支撑件120’造成影响，例如基板支撑件120’所支撑的基板偏移错位，亦或基板支撑件120’的断裂等。

技术实现要素：

基于此，有必要针对现有技术中基板支撑件与支杆之间存在摩擦和偏移的问题，提供一种减少摩擦和偏移的基板支撑装置。

一种基板支撑装置，包括：

支杆，

基板支撑件，套设在所述支杆的顶端；

球状体，设置在所述基板支撑件的顶面上，

以及保护袖套，嵌设在所述支杆的外侧与所述基板支撑件的内侧之间，且所述保护袖套具有波纹结构。

上述基板支撑装置，由于在支杆的外侧和基板支撑件的内侧嵌入保护袖套，且保护袖套具有波纹结构，因此可以有效减少支杆与基板支撑件之间的摩擦，同时也抑制了基板支撑件的相对偏移，进而避免承载的基板偏移；还有效对基板支撑件进行保护，从而避免基板支撑件断裂的风险。

在其中一个实施例中，所述波纹结构的延伸方向与所述支杆的延伸方向相同。

在其中一个实施例中，沿所述支杆的延伸方向，所述波纹结构中每个波纹的长度为0.5～5mm。

在其中一个实施例中，沿所述支杆的延伸方向，所述保护袖套从所述基板支撑件的边缘露出。

在其中一个实施例中，所述保护袖套露出所述基板支撑件的长度为2～5mm。

在其中一个实施例中，所述保护袖套为橡胶袖套。

在其中一个实施例中，所述保护袖套的厚度为0.5～1mm。

在其中一个实施例中，所述保护袖套的长度为4～10mm。

在其中一个实施例中，所述球状体的半径为8～12mm。

在其中一个实施例中，所述球状体凸出所述基板支撑件的顶面的高度为3～5mm。

附图说明

图1为背景技术中基板支撑设备的立体示意图。

图2为本实用新型一实施例的基板支撑装置的立体示意图。

图3为图2中的基板支撑装置的局部剖面示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

参见图2至图3，本发明一实施例的基板支撑装置100，包括支杆110、基板支撑件120、球状体130以及保护袖套140。

其中，支杆110的主要作用是为整个基本支撑装置100提供支撑。在本实施例中，支杆110呈圆柱状。

其中，基板支撑件120的主要作用是，用于支撑基板(未示出)。基板支撑件120套设在支杆110的顶端；也就是说，支杆110的顶部容置在基板支撑件120的底部。具体地，基本支撑件120大致呈帽状，其具有用于支撑基板的顶面，以及设置于基板支撑件120底部的支杆容置腔。在本实施例中，基板支撑件120的外轮廓呈圆柱状。支杆容置腔为在圆柱体的下底面开设的圆柱形腔体。

其中，球状体130设置在基板支撑件120的顶面上。更具体地，球状体130位于支杆110的正上方。优选地，球状体130的半径为8～12mm。优选地，球状体130凸出基板支撑件120的顶面的高度为3～5mm。

其中，保护袖套140的主要作用是，缓冲支杆110与基板支撑件120之间的作用力。保护袖套140嵌设在支杆110的外侧与基板支撑件120的内侧之间；也就是说，保护袖套140套在支杆110外，基板支撑件120套在保护袖套140外。

本实用新型的保护袖套140具有波纹结构。这样使基板支撑件120可以在热胀冷缩条件下，纵向和轴向有一定的体积扩张限度。在本实施例中，波纹结构的延伸方向与支杆110的延伸方向相同；波纹结构的延伸方向为波的传播方向。也就是说，保护袖套140呈波纹管。这样可以进一步限制基板支撑件120热胀冷缩对支杆110的影响。

优选地，沿支杆110的延伸方向，即图2-3中的上下方向，波纹结构中每个波纹的长度为0.5～5mm。

在本实用新型中，保护袖套140选择耐高温并且质地柔软的材料制成。优选地，保护袖套140为橡胶袖套，即保护袖套140由橡胶制成。更优选地，由含氟橡胶制成。为了进一步提高保护袖套140的导热性，在含氟橡胶的基体中加入高导热填充物形成复合材料，由复合材料制成保护袖套140。这样使热量可以通过保护袖套140快速而有效的散发出去。

优选地，保护袖套140的厚度为0.5～1mm。

优选地，保护袖套140的长度为4～10mm。

在本实施例中，从支杆110的延伸方向上看，保护袖套140的下端从基板支撑件120的下端边缘露出，也就是说，支杆110、保护袖套140、基板支撑件120呈退台式结构。这样可以进一步提高保护袖套140对基板支撑件120的保护，还可以有效保护支杆110。优选地，保护袖套140露出基板支撑件120的长度为2～5mm。

当然，可以理解的是，本实用新型并不局限于上述形式，还可以是保护袖套140的下端与基板支撑件120的下端边缘平齐，或稍微高于基板支撑件120的下端边缘。

上述基板支撑装置100，由于在支杆110的外侧和基板支撑件120的内侧嵌入保护袖套140，且保护袖套140具有波纹结构，因此可以有效减少支杆110与基板支撑件120之间的摩擦，同时也抑制了基板支撑件120的相对偏移，进而避免承载的基板偏移；还有效对基板支撑件120进行保护，从而避免基板支撑件120断裂的风险。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。