半导体设备及其制造方法与流程

文档序号:11252661阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
为了提供一种能够改善信息的读出精度的配置有反熔丝存储单元的半导体设备。本发明提供一种半导体设备,其中,N沟道型的存储晶体管、选择核心晶体管和选择体晶体管分别以串联的方式电连接。存储晶体管和选择核心晶体管形成在SOI衬底的硅层中,并且,选择体晶体管形成在半导体衬底中。字线连接于存储晶体管的存储栅电极,并且,位线连接于选择体晶体管。在向位线施加与从字线施加到存储栅电极的电压极性相反的反电压的同时,执行写入操作。

技术研发人员:前川径一;蒲原史朗;山县保司;山本芳树
受保护的技术使用者:瑞萨电子株式会社
技术研发日:2017.03.07
技术公布日:2017.09.15
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