技术特征：
技术总结
本发明主要属于离子束流调节装置技术领域，具体涉及一种离子束流调节装置。包括铁芯、极头、第一线圈和第二线圈，所述铁芯包括上铁芯块、下铁芯块、前铁芯块和后铁芯块，所述上铁芯块和所述下铁芯块的前后两端分别通过前铁芯块和后铁芯块连接，所述上铁芯块、所述下铁芯块、所述前铁芯块和所述后铁芯块的内侧面共同界定形成贯通孔；所述离子束流调节装置还包括依次堆叠套设在所述前铁芯块上的第三线圈和依次堆叠套设在所述后铁芯块上的第四线圈。本发明所述离子束流调节装置不仅能够使束流通过时带状束流的截面形状保持直线形状，而且能够调节束流在高度方向上的均匀性，以满足束流传输和注入的要求。
技术研发人员：钱锋
受保护的技术使用者：东莞帕萨电子装备有限公司
技术研发日：2017.06.02
技术公布日：2017.09.29