柔性显示基板、柔性显示装置及载体基板的制作方法

本实用新型涉及显示技术领域，特别是指一种柔性显示基板、柔性显示装置及载体基板。

背景技术：

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，简称：OLED)具有自发光的特性，当有电流通过时，OLED就会发光。随着显示技术的快速进步，作为显示装置核心的半导体元件技术也随之得到了飞跃性的进步。对于现有的显示装置而言，有机发光二极管作为一种电流型发光器件，因其所具有的自发光、快速响应、宽视角和可制作在柔性衬底上等特点而越来越多地被应用于高性能显示领域当中。

有机电致发光显示面板(Organic Electro luminesecent Display)，凭借其低功耗、高色饱和度、广视角、薄厚度、能实现柔性化等优异性能，逐渐成为显示领域的主流，可以广泛应用于智能手机、平板电脑、电视等终端产品。OLED显示装置可视角度大，且能够显著节省电能，因此OLED显示装置具备了许多液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称：LCD)不可比拟的优势，在显示技术领域的应用越来越广泛。而在柔性基底上制作的OLED产品有更加广阔的应用和前景，可以制造成各种可柔绕的异型产品。

柔性LTPS(低温多晶硅)近期逐渐崛起，以更好的满足市场的需求为其主要特点，在其特质中，其可挠性是最大的亮点。但是，在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术存在以下问题：

在柔性工艺中，一般在柔性基底上制造显示器件。在现阶段，器件依然采用了大量无机工艺。由于柔性基底表面制作的器件采用大量无机工艺，在频繁弯折时，弯折区域由于受到正反两面应力的影响，其无机层较容易断裂，从而造成器件功能的变差甚至损坏。在器件功能变差后，显示效果和产品寿命则会受到极大的影响。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种柔性显示基板及其制造方法、柔性显示装置、载体基板，可以减少弯曲时应力对器件本身的损伤。

基于上述目的本实用新型提供的柔性显示基板，包括柔性基底，在所述柔性基底的弯折区域，设置有至少1个凹槽；所述凹槽的开口朝向与所述柔性显示基板的出光方向相反。

可选的，处于弯折区域中部的凹槽的深度大于处于弯折区域边缘的凹槽的深度。

可选的，所述凹槽的深度的范围为

可选的，所述至少1个凹槽与所述弯折区域的折痕形成为0～45°的夹角。

可选的，所述至少1个凹槽中包括内部空间为部分柱状的凹槽，所述部分柱状的凹槽设置在所述弯折区域的折痕上且所述部分柱状的凹槽的长度方向与所述折痕平行。

可选的，所述凹槽的截面形状为正方形、矩形、半圆形、弓形、三角形、梯形中的一种或多种。

可选的，所述凹槽的内部空间的形状为部分球状、部分柱状、多棱柱状、不规则形状中的一种或多种。

可选的，所述凹槽个数为多个，且多个凹槽形成为轮胎的胎面花纹形状。

本实用新型的第二个方面，提供了一种柔性显示装置，包括如上任一所述的柔性显示基板。

本实用新型的第三个方面，提供了一种用于制造如上任一所述柔性显示基板的载体基板，其特征在于，所述载体基板上设置有与所述凹槽对应的凸起。

从上面所述可以看出，本实用新型提供的所述柔性显示基板、柔性显示装置、载体基板，通过在弯折区域对应的柔性基底上设置凹槽，使得当柔性显示基板的弯折区域被弯折时，能够将此处产生的应力通过凹槽的设计进行一定程度地分散，使弯折区域上的其他器件层不易开裂或断裂，可以更好的减少弯曲时应力对柔性显示基板的弯折区域上的其他器件层的损伤，从而提高了器件的信赖性与寿命，进而提高了柔性显示基板的整体性能。

附图说明

图1为本实用新型提供的柔性显示基板的一个实施例中柔性基底的仰视示意图；

图2为图1中的柔性基底的第一个实施例在A位置的放大示意图；

图3为图2中的柔性基底在B-B方向的剖视示意图；

图4为图1中的柔性基底的第二个实施例在A位置的放大示意图；

图5为图4中的柔性基底在C-C方向的剖视示意图；

图6为图1中的柔性基底的第三个实施例在A位置的放大示意图；

图7为图1中的柔性基底的第四个实施例在A位置的放大示意图；

图8为本实用新型的柔性显示基板的制造方法的第一个实施例中在玻璃基板上沉积薄膜的结构示意图；

图9为本实用新型的柔性显示基板的制造方法的第一个实施例中形成的载体基板的结构示意图；

图10为本实用新型的柔性显示基板的制造方法的第一个实施例中在载体基板上涂布柔性基底材料的结构示意图；

图11为本实用新型的柔性显示基板的制造方法的第二个实施例中在载体基板上涂布柔性基底材料的结构示意图；

图12为本实用新型的柔性显示基板的制造方法的第一个实施例和/或第二个实施例中形成的柔性显示面板(省略了除柔性基底外的其他器件层)的结构示意图；

图13为本实用新型提供了一种用于制造柔性显示基板的载体基板的一个实施例的结构示意图；

图14为本实用新型的柔性显示基板的制造方法的第一个实施例的流程示意图；

图15为本实用新型的柔性显示基板的制造方法的方法的第二个实施例的流程示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。

需要说明的是，本实用新型实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二”仅为了表述的方便，不应理解为对本实用新型实施例的限定，后续实施例对此不再一一说明。

基于前述目的，本实用新型的第一个方面提供了一种可以减少弯曲时应力对器件本身的损伤的柔性显示基板的第一个实施例。图1为本实用新型提供的柔性显示基板的一个实施例中柔性基底的仰视示意图，图2为图1中的柔性基底的第一个实施例在A位置的放大示意图，图3为图2中的柔性基底在B-B方向的剖视示意图。

如图1-3所示，所述柔性显示基板，包括柔性基底10，所述柔性基底10包括非弯折区域20和弯折区域30；在所述柔性基底10的弯折区域30，设置有1个凹槽31；所述凹槽31的开口朝向与所述柔性显示基板的出光方向(参照图3中箭头方向)相反，使得所述柔性显示基板的出光方向上的表面上可以布设其他器件层。从弯折区域的弯曲应力的分布而言，弯曲部分的外圈(远离弯折中心部分的位置)会给内圈(靠近弯折中心部分的位置)施加相应的压力，从而使得内圈的实际曲率半径变小。在弯折区域的柔性基底制作相应的凹槽后，弯折区域中的凹槽附近的柔性基底的外圈的压力会被凹槽分散，从而减少对于内圈的压力。在弯折区域的曲率半径较小的情况下，柔性基底外圈的压力对于内圈的影响会被凹槽较大大减小，从而减少内圈部分对于其上各膜层的挤压力，减少其弯折损伤，提高器件抗弯折能力。

从上述实施例可以看出，本实用新型实施例提供的所述柔性显示基板，通过在弯折区域对应的柔性基底上设置凹槽，使得当柔性显示基板的弯折区域被弯折时，能够将此处产生的应力通过凹槽的设计进行一定程度地分散，使弯折区域上的其他器件层不易开裂或断裂，可以更好的减少弯曲时应力对柔性显示基板的弯折区域上的其他器件层的损伤，从而提高了器件的信赖性与寿命，进而提高了柔性显示基板的整体性能。此外，本实用新型实施例提供的所述柔性显示基板，还可以更好的减少在后继工艺对位及绑定工艺时的变形和偏移，从而可以提高后继工艺的良率。

上述实施例中在整个弯折区域30中设置的所述凹槽31的数量为1个，虽然以举例方式说明了其设置位置，但是可以知道，在弯折区域的任意位置都是可以设置该凹槽31的，而不仅限于本实施例中附图中所示的位置。

需要指出的是，所述柔性显示基板在上述实施例中仅提及了改进的柔性基底，而没有涉及其他必要的器件层，但并不代表所述柔性显示基板的其他必要器件层并不包括在本实用新型实施例中，本领域技术人员能够很容易地知道，要制得柔性显示基板所必需的其他器件层的设计，因此在此不再进行赘述。

在一些可选实施方式中，所述凹槽31的深度的范围为采用这种深度范围的凹槽，能够更好地减少弯曲时应力对器件的损伤。

在一些可选实施方式中，所述弯折区域30的宽度约为1.0mm～1.5mm，此时，与所述弯折区域30对应的柔性基底(通常为PI基底)并不需要对表面平整性做贡献，因此，凹槽31的设计不会影响表面平整度；并且，可选的，所述弯折区域30为柔性显示基板中容易被频繁弯折或者因为弯折而导致曲率半径较小的区域，在这样的区域中进行应力分散，能够更好地提高器件的信赖性与寿命。

在一些可选实施方式中，所述凹槽31的深度是可以变化的，其中，靠近弯折区域中部的深度较深而靠近弯折区域边缘区域的深度较浅，即图2所示的凹槽31的中心向两边延伸的方向上，凹槽31的深度逐渐减小，此时，凹槽31的截面形状可以不是图3中的矩形，而是半圆形、半椭圆形、三角形、弓形或梯形。这样的好处在于，可以利用深度变化来使凹槽的不同位置对应力的分散强度逐渐变化，达到更合理的分散效果。

在一些可选实施方式中，所述凹槽31的内部空间的形状除了图2中所示形状外，还可以为部分球状(例如半球状、半椭球状、1/3球状、1/3椭球状等)、部分柱状(例如半圆柱状、半椭圆柱状、1/3或1/4圆柱状、1/3或1/4椭圆柱状等)、多棱柱状(例如三棱柱状、四棱柱状等)、不规则形状中的一种或多种。具有这些形状的内部空间的所述凹槽31，均能起到分散应力的作用，应当属于本实用新型的保护范围。

在一些可选实施方式中，如图2和图3所示，所述凹槽31为内部空间为长方体形(多棱柱的其中一种)的凹槽，所述凹槽31设置在所述弯折区域30的折痕32上且所述凹槽31的长度方向与所述折痕32平行。可选的，在柔性显示基板的排布有引线等器件的非显示区域和显示区域之间的区域中设置所述弯折区域30。在制作柔性显示装置时，需要将制作完成的柔性显示基板边缘沿弯折区域30进行弯折，从而使排布有引线等器件的非显示区域埋进边框中以实现边框封装，所述折痕32则可以是指弯折区域30被弯折后曲率半径最小的中心线位置。此处应力最大，将凹槽31设置在折痕32上，则可最大程度分散应力，更好地减少弯曲时应力对器件的损伤。当然，可以想到的时，附图中折痕32是沿弯折区域30的中心线设置的，在某些情况下，若折痕32位置有偏移，所述凹槽31的位置也可以相应地偏移，因此不应将本实用新型的保护范围限定在本实施例的附图中所示的位置。

此外，在一些可选实施方式中，可以将所述凹槽31设置为多个，例如，沿折痕32的方向上等间隔设置在整个弯折区域30中，亦即，图1中放大区域A的上方和下方的弯折区域30中都可以设置如图2中所示的凹槽31。可选的，这些凹槽31可以是处于同一直线上的，也可以不是处于同一条直线上的，而是互相交错的。这些实施方式，都能较好地实现应力分散的效果。

本实用新型还提供了一种可以减少弯曲时应力对器件本身的损伤的柔性显示基板的第二个实施例。图1为本实用新型提供的柔性显示基板的一个实施例中柔性基底的仰视示意图，图4为图1中的柔性基底的第二个实施例在A位置的放大示意图，图5为图4中的柔性基底在C-C方向的剖视示意图。

如图1、图4和图5所示，所述柔性显示基板，包括柔性基底10，在所述柔性基底10的弯折区域30，设置有3种凹槽——中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43；所述中心凹槽41与折痕44相平行，所述左凹槽42与折痕44呈一小于45°的夹角，所述右凹槽43与折痕44呈一小于45°的夹角，且左凹槽42和右凹槽43的倾斜方向相反。这样的中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的排布方式，使得在与折痕44平行的沿向上形成的较大的弯折应力能够更好地分散；而由于倾斜的左凹槽42和右凹槽43的存在，使得在与折痕44垂直的沿向上也能有一定的应力分散，从而能够将应力更好地从各个方向分散出去。所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的开口朝向均与所述柔性显示基板的出光方向(参照图5中箭头方向)相反，使得所述柔性显示基板的出光方向上的表面上可以布设其他器件层。

从上述实施例可以看出，本实用新型实施例提供的所述柔性显示基板，通过在弯折区域对应的柔性基底上设置三种凹槽(中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43)，使得当柔性显示基板的弯折区域被弯折时，能够将此处产生的应力通过凹槽的设计进行较好地分散，使弯折区域上的其他器件层不易开裂或断裂，可以更好的减少弯曲时应力对柔性显示基板的弯折区域上的其他器件层的损伤，从而提高了器件的信赖性与寿命，进而提高了柔性显示基板的整体性能。此外，本实用新型实施例提供的所述柔性显示基板，还可以更好的减少在后继工艺对位及绑定工艺时的变形和偏移，从而可以提高后继工艺的良率。

上述实施例中的三种凹槽其设置方式可以是：

在整个弯折区域30中设置的所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的数量分别为1个，虽然以举例方式说明了其设置位置处于图1中的放大区域A，但是可以知道，在弯折区域的任意位置都是可以设置该这样的3个凹槽的，而不仅限于本实施例中附图中所示的位置。

同时，类似的，若以1个所述中心凹槽41、1个左凹槽42和1个右凹槽43为1组，所述实施例的变型方式还可以是设置2组或更多组，并且每组凹槽之间的间距可以是相等的或者不等的。

此外，除了图4中所示的排布方式，中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43之间的相对关系也是可以变化的，例如，中心凹槽41和左凹槽42调换位置，或者，中心凹槽41和右凹槽43调换位置，或者，中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43互相之间都是错位设置的，等等。这些变型方式均应当属于本实用新型的保护范围。

需要指出的是，所述柔性显示基板在上述实施例中仅提及了改进的柔性基底，而没有涉及其他必要的器件层，但并不代表所述柔性显示基板的其他必要器件层并不包括在本实用新型实施例中，本领域技术人员能够很容易地知道，要制得柔性显示基板所必需的其他器件层的设计，因此在此不再进行赘述。

在一些可选实施方式中，如图4和图5所示，所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43为内部空间为长方体形(多棱柱的其中一种)的凹槽，所述中心凹槽41设置在所述弯折区域30的折痕44上且所述中心凹槽41的长度方向与所述折痕44平行。所述左凹槽42和右凹槽43则对称设置在所述中心凹槽41两侧。可选的，在柔性显示基板的排布有引线等器件的非显示区域和显示区域之间的区域中设置所述弯折区域30。在制作柔性显示装置时，需要将制作完成的柔性显示基板边缘沿弯折区域30进行弯折，从而使排布有引线等器件的非显示区域埋进边框中以实现边框封装，所述折痕44则可以是指弯折区域30被弯折后曲率半径最小的中心线位置。此处应力最大，将中心凹槽41设置在折痕44上，则可最大程度分散应力，而两侧的左凹槽42和右凹槽43能进一步分散应力，从而更好地减少弯曲时应力对器件的损伤。当然，可以想到的时，附图中折痕44是沿弯折区域30的中心线设置的，在某些情况下，若折痕44位置有偏移，所述中心凹槽41的位置也可以相应地偏移，所述左凹槽42和右凹槽43的位置也可以随之偏移，因此不应将本实用新型的保护范围限定在本实施例的附图中所示的位置。

在一些可选实施方式中，所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的深度均是可以变化的，其中，靠近弯折区域中部的深度较深而靠近弯折区域边缘区域的深度较浅，即图4所示的所述中心凹槽41的中心向两边延伸的方向上，中心凹槽41的深度逐渐减小，此时，中心凹槽41的截面形状可以不是图5中的矩形，而是半圆形、半椭圆形、三角形、弓形或梯形。这样的好处在于，可以利用深度变化来使凹槽的不同位置对应力的分散强度逐渐变化，达到更合理的分散效果。而所述左凹槽42则可以是左侧的深度浅且右侧的深度深，相反，所述右凹槽43则可以是右侧的深度浅且左侧的深度深。

可选的，所述中心凹槽41的深度还可以是大于左凹槽42和右凹槽43的。这样的好处在于，可以利用深度变化来使不同位置的凹槽对应力的分散强度逐渐变化，达到更合理的分散效果。

在一些可选实施方式中，所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的深度的范围均为采用这种深度范围的凹槽，能够更好地减少弯曲时应力对器件的损伤。较佳的，所述中心凹槽41的深度的范围均为1～2μm，所述左凹槽42和右凹槽43的深度的范围均为采用这种深度范围的凹槽，能够更好地减少弯曲时应力对器件的损伤。

在一些可选实施方式中，所述弯折区域30的宽度约为1.0mm～1.5mm，此时，与所述弯折区域30对应的柔性基底(通常为PI基底)并不需要对表面平整性做贡献，因此，所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的设计不会影响表面平整度；并且，可选的，所述弯折区域30为柔性显示基板中容易被频繁弯折或者因为弯折而导致曲率半径较小的区域，在这样的区域中进行应力分散，能够更好地提高器件的信赖性与寿命。

在一些可选实施方式中，所述中心凹槽41、左凹槽42和右凹槽43的内部空间的形状除了图4中所示形状外，还可以为部分球状(例如半球状、半椭球状、1/3球状、1/3椭球状等)、部分柱状(例如半圆柱状、半椭圆柱状、1/3或1/4圆柱状、1/3或1/4椭圆柱状等)、多棱柱状(例如三棱柱状、四棱柱状等)、不规则形状中的一种或多种。具有这些形状的内部空间的所述凹槽31，均能起到分散应力的作用，应当属于本实用新型的保护范围。

本实用新型还提供了一种可以减少弯曲时应力对器件本身的损伤的柔性显示基板的第三个实施例。图1为本实用新型提供的柔性显示基板的一个实施例中柔性基底的仰视示意图，图6为图1中的柔性基底的第三个实施例在A位置的放大示意图。

如图1、图4和图5所示，所述柔性显示基板，包括柔性基底10，在所述柔性基底10的弯折区域30，设置有6种凹槽——上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56；所述上中心凹槽51和下中心凹槽52与折痕57相平行，所述左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56均与折痕57呈一小于45°的夹角，左上凹槽53和左下凹槽54的倾斜方向相反，且右上凹槽55和右下凹槽56的倾斜方向也相反，而左上凹槽53和右下凹槽56的倾斜方向相同，且右上凹槽55和左下凹槽54的倾斜方向也相同。这样的上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的排布方式，使得在与折痕57平行的沿向上形成的较大的弯折应力能够更好地分散；而由于倾斜且排布对称的左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的存在，使得在与折痕57垂直的沿向上也能有一定的较为均匀的各向应力分散，从而能够将应力更好地从各个方向分散出去。所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的开口朝向均与所述柔性显示基板的出光方向相反，使得所述柔性显示基板的出光方向上的表面上可以布设其他器件层。

从上述实施例可以看出，本实用新型实施例提供的所述柔性显示基板，通过在弯折区域对应的柔性基底上设置特殊排列方式的凹槽，使得当柔性显示基板的弯折区域被弯折时，能够将此处产生的应力通过凹槽的设计进行较好地分散，使弯折区域上的其他器件层不易开裂或断裂，可以更好的减少弯曲时应力对柔性显示基板的弯折区域上的其他器件层的损伤，从而提高了器件的信赖性与寿命，进而提高了柔性显示基板的整体性能。此外，本实用新型实施例提供的所述柔性显示基板，还可以更好的减少在后继工艺对位及绑定工艺时的变形和偏移，从而可以提高后继工艺的良率。

上述实施例中的三种凹槽其设置方式可以是：

在整个弯折区域30中设置的所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的数量分别为1个，虽然以举例方式说明了其设置位置处于图1中的放大区域A，但是可以知道，在弯折区域的任意位置都是可以设置该这样的6个凹槽的，而不仅限于本实施例中附图中所示的位置。

同时，可选的，若以1个上中心凹槽51、1个下中心凹槽52、1个左上凹槽53、1个左下凹槽54、1个右上凹槽55和1个右下凹槽56为1组，所述实施例的变型方式还可以是设置2组或更多组，并且每组凹槽之间的间距可以是相等的或者不等的。

此外，除了图6中所示的排布方式，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56之间的相对关系也是可以变化的，例如，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56之间任意互相调换位置，或者，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56互相之间都是错位设置的，等等。这些变型方式均应当属于本实用新型的保护范围。

此外，还可以实现的实施方式也可以是，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52也是倾斜的，或者，倾斜的凹槽与所述弯折区域的折痕57形成为0～45°范围内的任意夹角，每个凹槽的夹角的都可以各不相同，等等。

需要指出的是，所述柔性显示基板在上述实施例中仅提及了改进的柔性基底，而没有涉及其他必要的器件层，但并不代表所述柔性显示基板的其他必要器件层并不包括在本实用新型实施例中，本领域技术人员能够很容易地知道，要制得柔性显示基板所必需的其他器件层的设计，因此在此不再进行赘述。

在一些可选实施方式中，如图6所示，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的内部空间为长条形(可为部分柱状或多棱柱状)，所述上中心凹槽51和下中心凹槽52设置在所述弯折区域30的折痕57上且所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的长度方向与所述折痕57平行。所述左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56则分别对称设置在所述上中心凹槽51和下中心凹槽52两侧。可选的，在柔性显示基板的排布有引线等器件的非显示区域和显示区域之间的区域中设置所述弯折区域30。在制作柔性显示装置时，需要将制作完成的柔性显示基板边缘沿弯折区域30进行弯折，从而使排布有引线等器件的非显示区域埋进边框中以实现边框封装，所述折痕57则可以是指弯折区域30被弯折后曲率半径最小的中心线位置。此处应力最大，将所述上中心凹槽51和下中心凹槽52设置在折痕57上，则可最大程度分散应力，而两侧的所述左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56能进一步分散应力，从而更好地减少弯曲时应力对器件的损伤。当然，可以想到的时，附图中折痕57是沿弯折区域30的中心线设置的，在某些情况下，若折痕57位置有偏移，所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的位置也可以相应地偏移，所述左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的位置也可以随之偏移，因此不应将本实用新型的保护范围限定在本实施例的附图中所示的位置。

在一些可选实施方式中，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的深度均是可以变化的，其中，靠近弯折区域中部的深度较深而靠近弯折区域边缘区域的深度较浅，即图6所示的所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的中心向两边延伸的方向上，所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的深度均逐渐减小，此时，所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的截面形状可以不是矩形，而是半圆形、半椭圆形、三角形、弓形或梯形。这样的好处在于，可以利用深度变化来使凹槽的不同位置对应力的分散强度逐渐变化，达到更合理的分散效果。而所述左上凹槽53和左下凹槽54则可以是左侧的深度浅且右侧的深度深，相反，所述右上凹槽55和右下凹槽56则可以是右侧的深度浅且左侧的深度深。

可选的，所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的深度还可以是大于左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的。这样的好处在于，可以利用深度变化来使不同位置的凹槽对应力的分散强度逐渐变化，达到更合理的分散效果。

在一些可选实施方式中，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的深度的范围均为采用这种深度范围的凹槽，能够更好地减少弯曲时应力对器件的损伤。较佳的，所述上中心凹槽51和下中心凹槽52的深度的范围均为1～2μm，所述左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的深度的范围均为采用这种深度范围的凹槽，能够更好地减少弯曲时应力对器件的损伤。

在一些可选实施方式中，所述弯折区域30的宽度约为1.0mm～1.5mm，此时，与所述弯折区域30对应的柔性基底(通常为PI基底)并不需要对表面平整性做贡献，因此，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的设计不会影响表面平整度；并且，可选的，所述弯折区域30为柔性显示基板中容易被频繁弯折或者因为弯折而导致曲率半径较小的区域，在这样的区域中进行应力分散，能够更好地提高器件的信赖性与寿命。

在一些可选实施方式中，所述上中心凹槽51、下中心凹槽52、左上凹槽53、左下凹槽54、右上凹槽55和右下凹槽56的内部空间的形状，可以为部分球状(例如半球状、半椭球状、1/3球状、1/3椭球状等)、部分柱状(例如半圆柱状、半椭圆柱状、1/3或1/4圆柱状、1/3或1/4椭圆柱状等)、多棱柱状(例如三棱柱状、四棱柱状等)、不规则形状中的一种或多种。具有这些形状的内部空间的所述凹槽31，均能起到分散应力的作用，应当属于本实用新型的保护范围。

本实用新型还提供了一种可以减少弯曲时应力对器件本身的损伤的柔性显示基板的第四个实施例。图1为本实用新型提供的柔性显示基板的一个实施例中柔性基底的仰视示意图，图7为图1中的柔性基底的第四个实施例在A位置的放大示意图。

所述柔性显示基板，包括柔性基底10，在所述柔性基底10的弯折区域30，设置有多个凹槽，所述多个凹槽形成为轮胎的胎面花纹形状(图7的弯折区域30中，非阴影部分为凹槽)；所述凹槽的开口朝向与所述柔性显示基板的出光方向相反。轮胎的胎面花纹本身具有消除外界对轮胎本身产生的应力的作用，在本实施例中，将所述多个凹槽形成为轮胎的胎面花纹形状，使其能够利用轮胎的胎面花纹消除应力的原理，达到在弯折区域30内消除弯折应力影响的效果。

从上述实施例可以看出，本实用新型实施例提供的所述柔性显示基板，通过在弯折区域对应的柔性基底上设置凹槽，且所述多个凹槽形成为轮胎的胎面花纹形状，使得当柔性显示基板的弯折区域被弯折时，能够将此处产生的应力通过这种特殊设计的凹槽进行很大程度地分散，使弯折区域上的其他器件层不易开裂或断裂，可以更好的减少弯曲时应力对柔性显示基板的弯折区域上的其他器件层的损伤，从而提高了器件的信赖性与寿命，进而提高了柔性显示基板的整体性能。此外，本实用新型实施例提供的所述柔性显示基板，还可以更好的减少在后继工艺对位及绑定工艺时的变形和偏移，从而可以提高后继工艺的良率。

需要指出的是，本实施例中的图7仅示出了多个凹槽组成的轮胎的胎面花纹的其中一种，可以知道，轮胎的胎面花纹各种各样，只要能够起到消除应力的作用，均可应用在本实用新型中，在此不再穷举。

需要特别说明的是，图2、图4、图6和图7中弯折区域30中的阴影不是剖面线，而仅仅是为了将凹槽和弯折区域30进行区分的区分方式。

基于前述目的，本实用新型的第二个方面提供了一种可以减少弯曲时应力对器件本身的损伤的柔性显示装置的一个实施例。

所述柔性显示装置，包括如上任一实施例所述的柔性显示基板。

其中，所述柔性显示装置可以是例如：电子纸、显示器、手机、平板电脑、电视机、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。

从上述实施例可以看出，本实用新型实施例提供的所述柔性显示装置，通过在弯折区域对应的柔性基底上设置凹槽，使得当柔性显示装置的弯折区域被弯折时，能够将此处产生的应力通过凹槽进行分散，使弯折区域上的其他器件层不易开裂或断裂，可以更好的减少弯曲时应力对柔性显示基板的弯折区域上的其他器件层的损伤，从而提高了器件的信赖性与寿命，进而提高了柔性显示基板的整体性能。此外，本实用新型实施例提供的所述柔性显示装置，还可以更好的减少在后继工艺对位及绑定工艺时的变形和偏移，从而可以提高后继工艺的良率。

基于前述目的，本实用新型的第三个方面提供了一种可以减少弯曲时应力对器件本身的损伤的制造柔性显示基板的方法的第一个实施例。图14为本实用新型提供的制造柔性显示基板的方法的第一个实施例的流程示意图。

所述制造柔性显示基板的方法，包括以下步骤：

步骤101：如图8所示(图8中仅示出了图1的放大区域A处的放大的剖面示意图)，在玻璃基板60上沉积SiNx或SiOx薄膜70(也可以是二者的复合膜层)；可选的，所述SiNx或SiOx薄膜70的厚度为

步骤102：如图9所示(图9中仅示出了图1的放大区域A处的放大的剖面示意图)，采用光刻-蚀刻-剥离工艺，将所述SiNx或SiOx薄膜70形成为与前述任意柔性显示基板实施例中的所述凹槽对应的凸起71，得到载体基板80。

步骤103：如图10所示(图10中仅示出了图1的放大区域A处的放大的剖面示意图)，在载体基板80上涂布柔性基底材料90，从而可以在柔性基底材料90中形成相应的凹槽；

步骤104：进行后继其他工艺(例如布设其他的必要器件层)，并完成整体器件的制作；

步骤105：如图12所示(图12中仅示出了图1的放大区域A处的放大的剖面示意图)，将所述柔性基底材料90与所述载体基板80剥离，得到柔性显示面板(图12中仅示出剥离后的柔性显示面板的柔性基底10，省略了其上其他器件层)；可选的，采用激光剥离工艺(LLO，laser lift-off)将所述柔性基底材料与所述载体基板剥离，这种剥离方式能够减小柔性基底材料的损伤。

从上述实施例可以看出，采用本实用新型实施例提供的所述制造柔性显示基板的方法制得的柔性显示装置，通过在弯折区域对应的柔性基底上设置凹槽，使得当柔性显示装置的弯折区域被弯折时，能够将此处产生的应力通过凹槽进行分散，使弯折区域上的其他器件层不易开裂或断裂，可以更好的减少弯曲时应力对柔性显示基板的弯折区域上的其他器件层的损伤，从而提高了器件的信赖性与寿命，进而提高了柔性显示基板的整体性能。此外，采用本实用新型实施例提供制造柔性显示基板的方法制得的所述柔性显示装置，还可以更好的减少在后继工艺对位及绑定工艺时的变形和偏移，从而可以提高后继工艺的良率。

本实用新型还提供了一种可以减少弯曲时应力对器件本身的损伤的制造柔性显示基板的方法的第二个实施例。图15为本实用新型提供的制造柔性显示基板的方法的第二个实施例的流程示意图。

所述制造柔性显示基板的方法，包括以下步骤：

步骤201：如图11所示(图11中仅示出了图1的放大区域A处的放大的剖面示意图)，在载体基板80’上涂布柔性基底材料90；其中，所述载体基板80’上已经设置有与前述任意柔性显示基板实施例中的所述凹槽对应的凸起；

步骤202：进行后继其他工艺(例如布设其他的必要器件层)，并完成整体器件的制作；

步骤203：如图12所示(图12中仅示出了图1的放大区域A处的放大的剖面示意图)，将所述柔性基底材料90与所述载体基板80’剥离，得到柔性显示面板(图12中仅示出剥离后的柔性显示面板的柔性基底10，省略了其上其他器件层)；可选的，采用激光剥离工艺(LLO，laser lift-off)将所述柔性基底材料与所述载体基板剥离，这种剥离方式能够减小柔性基底材料的损伤。

从上述实施例可以看出，采用本实用新型实施例提供的所述制造柔性显示基板的方法制得的柔性显示装置，通过在弯折区域对应的柔性基底上设置凹槽，使得当柔性显示装置的弯折区域被弯折时，能够将此处产生的应力通过凹槽进行分散，使弯折区域上的其他器件层不易开裂或断裂，可以更好的减少弯曲时应力对柔性显示基板的弯折区域上的其他器件层的损伤，从而提高了器件的信赖性与寿命，进而提高了柔性显示基板的整体性能。并且，本实施例的方法中载体基板为已制作完成的成品，因此能够节省制造工序，提升了制造效率。此外，采用本实用新型实施例提供制造柔性显示基板的方法制得的所述柔性显示装置，还可以更好的减少在后继工艺对位及绑定工艺时的变形和偏移，从而可以提高后继工艺的良率。

需要指出的是，图9～图12中均采用了柔性显示基板的第二个实施例的凹槽排布方式对应的结构，但并不代表上述制造所述柔性显示基板的方法实施例只针对这一种柔性显示基板的实施方式。基于前述柔性显示基板的各个实施例，可以推知相应柔性显示基板实施例的制作工艺过程中，与其凹槽排布方式对应的结构所应当呈现的形状，在此不再赘述。

基于前述目的，本实用新型的第四个方面提供了一种用于制造可以减少弯曲时应力对器件本身的损伤的柔性显示基板的载体基板的一个实施例。图13为与图1中放大区域A对应的所述载体基板的部分放大的主视结构示意图。

用于制造如上任一所述柔性显示基板实施例的载体基板80’，所述载体基板80’上设置有与所述凹槽对应的凸起。

从上述实施例可以看出，采用本实用新型实施例提供的用于制造如上任一所述柔性显示基板实施例的载体基板，能够方便前述任一所述柔性显示基板实施例的制作，提高工作效率。

需要指出的是，图13中采用了柔性显示基板的第二个实施例的凹槽排布方式对应的载体基板结构，但并不代表上述用于制造所述柔性显示基板的载体基板实施例只针对这一种柔性显示基板的实施方式。基于前述柔性显示基板的各个实施例，可以推知相应柔性显示基板实施例的制作工艺过程中，与其凹槽排布方式对应的载体基板结构所应当呈现的形状，在此不再赘述。

所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本实用新型的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，并存在如上所述的本实用新型的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。因此，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。