一种硅片花篮翻转固定装置的制作方法

文档序号:15132444发布日期:2018-08-10 13:37阅读:454来源:国知局

本实用新型涉及硅片插片机技术领域,尤其是一种硅片花篮翻转固定装置。



背景技术:

在传统的自动化硅片插片机生产的过程中,在插片工序开始前或者完成后,花篮的姿态通常需要改变,常用的方式是通过机械手臂来实现,这种方式结构复杂,成本较高,存在不足。



技术实现要素:

本实用新型的目的是提供一种硅片花篮翻转固定装置,为克服上述的不足,采用气缸驱动的方式,机构简单,成本较低,快速、稳定的实现花篮的翻转动作。

为了解决上述问题,本实用新型是通过以下技术方案实现的:

一种硅片花篮翻转固定装置,包括底板、第一翻转板、第二翻转板、垫块、转板、自动上扣、轴承座、气缸座、转轴、轴承、支撑座、支撑垫、底盘、红外线传感器、传感器支架、摆动气缸、联轴器、花篮、PLC控制器;其中:底板安装于底盘内,底板上固定有轴承座、气缸座和支撑座,轴承安装于轴承座上内,摆动气缸固定在气缸座上,转轴固定在轴承内,转轴的一端通过联轴器与摆动气缸连接,转轴上固定有两块转板,第一翻转板、第二翻转板固定于转板上,第二翻转板上安装有垫块和自动上扣,支撑座上端装有支撑垫,底盘一侧安装有两个传感器支架,传感器支架安装于摆动气缸的两侧,红外线传感器固定于传感器支架上,第一翻转板与第二翻转板上放置有花篮,底盘上设有PLC控制器。

一种硅片花篮翻转固定装置,其中:所述支撑座的数量为四个。

一种硅片花篮翻转固定装置,其中:所述轴承采用不锈钢深沟球轴承。

一种硅片花篮翻转固定装置,其中:所述PLC控制器分别与红外线传感器、摆动气缸连接。

本实用新型的优点在于:本装置采用气缸驱动,机构简单,成本较低,快速、稳定的实现花篮的翻转动作。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的主视图。

图3为本实用新型的俯视图。

附图标记:底板1、第一翻转板2、第二翻转板3、垫块4、转板5、自动上扣6、轴承座7、气缸座8、转轴9、轴承10、支撑座11、支撑垫12、底盘13、红外线传感器14、传感器支架15、摆动气缸16、联轴器17、花篮18、PLC控制器19。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

实施例1、请参阅图1-3,一种硅片花篮翻转固定装置,包括底板1、第一翻转板2、第二翻转板3、垫块4、转板5、自动上扣6、轴承座7、气缸座8、转轴9、轴承10、支撑座11、支撑垫12、底盘13、红外线传感器14、传感器支架15、摆动气缸16、联轴器17、花篮18、PLC控制器19;其中:底板1安装于底盘13内,底板1上固定有轴承座7、气缸座8和支撑座11,轴承10安装于轴承座7上内,摆动气缸16固定在气缸座8上,转轴9固定在轴承10内,转轴9的一端通过联轴器17与摆动气缸16连接,转轴9上固定有两块转板5,第一翻转板2、第二翻转板3固定于转板5上,第二翻转板3上安装有垫块4和自动上扣6,支撑座11上端装有支撑垫12,底盘13一侧安装有两个传感器支架15,传感器支架15安装于摆动气缸16的两侧,红外线传感器14固定于传感器支架15上,第一翻转板2与第二翻转板3上放置有花篮18,底盘13上设有PLC控制器19。

实施例2、一种硅片花篮翻转固定装置,其中:所述支撑座11的数量为四个。其余同实施例1。

实施例3、一种硅片花篮翻转固定装置,其中:所述轴承10采用不锈钢深沟球轴承。其余同实施例1。

实施例4、一种硅片花篮翻转固定装置,其中:所述PLC控制器19分别与红外线传感器14、摆动气缸16连接。其余同实施例1。

工作原理:

装满硅片的花篮18通过插片机械手放置于第二翻转板3上,此时,第二翻转板3处于水平放置状态,第二翻转板3上的自动上扣6自动固定住花篮18,此时一侧的红外线传感器14感应到第二翻转板3上放置有花篮18,红外线传感器14将检测到的信号反馈给PLC控制器19,经过PLC控制器19分析、处理之后,控制摆动气缸16旋转90度,摆动气缸16带动转轴9转动,转轴9带动转板5转动,转板5带动第一翻转板2、第二翻转板3转动,第一翻转板2与第二翻转板3带动花篮18旋转90度,此时花篮18处于水平放置状态,得到了预期想要的姿态,在花篮18翻转的过程中与支撑垫12接触,支撑垫12起到减震的作用,保护花篮18内的硅片不会损坏。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1