半导体发光元件的制作方法

文档序号:23068700发布日期:2020-11-25 18:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体发光元件,其特征在于,包含:

半导体叠层,具有:

反射层;

第一电性半导体叠层,位于该反射层上;

主动层,位于该第一电性半导体叠层上;以及

第二电性半导体叠层,位于该主动层上且包含接触层;

多个孔洞;以及

多个氧化区,围绕该多个孔洞中的每一个;以及

第一电极,位于该半导体叠层上;

其中该多个孔洞未被该接触层所覆蓋。

2.如权利要求1所述的半导体发光元件,其中该半导体叠层还具有外侧壁,其中该些氧化区不露出于该外侧壁。

3.如权利要求1所述的半导体发光元件,其中该反射层包含多对第一折射率层与第二折射率层交互堆叠,且该第一折射率层与该第二折射率层的折射率相异。

4.如权利要求3所述的半导体发光元件,其中该第一折射率层与该第二折射率层的对数介于5到50之间。

5.如权利要求3所述的半导体发光元件,其中该第一折射率层的材料为alaga1-aas,该第二折射率层的材料为albga1-bas,且0.8≤a≤1,0≤b<0.8。

6.如权利要求1所述的半导体发光元件,其中该些氧化区的材质为氧化铝。

7.如权利要求1所述的半导体发光元件,还包含基板与第二电极,该半导体叠层位于该基板上,且该第二电极设置在该基板相对于该半导体叠层的一侧上。

8.如权利要求1所述的半导体发光元件,还包含绝缘材料,且该多个孔洞中的每一个具有孔壁,该绝缘材料覆盖在该孔壁上。

9.如权利要求1所述的半导体发光元件,其中该多个孔洞的上视形状包含线型或圆形。

10.如权利要求1所述的半导体发光元件,其中该多个孔洞具有一部分未被该第一电极覆盖。


技术总结
本发明公开一种半导体发光元件,包含一叠层结构具有一反射层、一第一电性半导体叠层位于反射层上、一主动层位于第一电性半导体叠层上,以及一第二电性半导体叠层位于主动层上;以及一第一电极位于叠层结构上,其中叠层结构还包含一氧化层不露出于叠层结构的外侧壁。

技术研发人员:张敏南;骆武聪;李世昌;杨宇智
受保护的技术使用者:晶元光电股份有限公司
技术研发日:2015.06.23
技术公布日:2020.11.24
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