用来进行静电放电保护的方法与装置的制造方法_3

文档序号:8262406阅读:来源:国知局
T的栅极以较粗的线来绘示;这表示这些NMOSFETN1、N2、与N3中的每一NMOSFET的 栅极下的氧化层的厚度大于该NMOSFETN4的栅极下的氧化层的厚度。另外,静电放电装置 120包含该NMOSFETN4,其栅极与源极彼此电气连接。这只是为了说明的目的而已,并非对 本发明的限制。依据本实施例的某些变化例,静电放电装置120当中的元件的类型可予以 变化。本实施例与前述实施例/变化例相仿之处不再重复赘述。
[0031] 图5绘示本发明的一实施例中关于图4所示的装置100-1于该电子装置中的位置 安排,其中虚线所绘示的部分为寄生的双载流子结面晶体管,而非实体元件。
[0032] 依据本实施例,该多个M0SFET110-U110-2、...、与110-N可因应施加于触发源110 的电性应力(ElectricalStress)来产生一通道电流(ChannelCurrent),以触发该放电运 作。也就是说,本实施例中的步骤210可还包含:利用该多个M0SFET110-1、110-2、…、与 110-N,因应施加于触发源110的电性应力来产生该通道电流,以触发该放电运作。另外,静 电放电装置120包含一个M0SFET诸如上述的NMOSFETN4,其栅极与源极彼此电气连接,其 中该通道电流改变静电放电装置120中的这个M0SFET(诸如该NMOSFETN4)的基极电位 (SubstratePotential),使得静电放电装置120中的这个M0SFET的一寄生的双载流子结 面晶体管被开启(Turnon),以进行该放电运作。
[0033] 请注意,基于图5所示的位置安排,该电性应力典型地为正-对-接地 (Positive-to-Ground)的电性应力。这只是为了说明的目的而已,并非对本发明的限制。 另外,图4所示的装置100-1可作为次级保护。由于装置100-1的架构甚为精巧简洁,故所 需的芯片面积很小,且因此可以轻易地被设置于靠近该电子装置的内部元件(诸如电阻器R 以及该NMOSFETMN)的位置。
[0034] 图6绘示图3所示的方法200于另一实施例中所涉及的控制方案,其中虚线所绘 示的部分为寄生的双载流子结面晶体管,而非实体元件。图6所示的装置100-2可作为图 1所示的装置100的另一个例子。
[0035] 依据本实施例,触发源110中的该多个M0SFET110-U110-2、…、与110-N的数量 N可等于三,而触发源110可包含三个PMOSFETP1、P2、与P3,并且静电放电装置120可包含 上述的NMOSFETN4。这只是为了说明的目的而已,并非对本发明的限制。依据本实施例的 某些变化例,触发源110中的该多个M0SFET110-U110-2、…、与110-N的数量N可予以变 化。依据本实施例的某些变化例,触发源110中的该多个M0SFET110-U110-2、...、与110-N 当中的M0SFET的类型可予以变化。例如:该PMOSFETP1可代换为图4所示的NMOSFETN1。 又例如:该PMOSFETP2可代换为图4所示的NMOSFETN2。又例如:该PMOSFETP3可代换为 图4所示的NMOSFETN3。又例如:该PMOSFETP1可代换为图4所示的NMOSFETN1,并且该 PMOSFETP2可代换为图4所示的NMOSFETN2。又例如:该PMOSFETP2可代换为图4所示 的NMOSFETN2,并且该PMOSFETP3可代换为图4所示的NMOSFETN3。又例如:该PMOSFET P3可代换为图4所示的NMOSFETN3,并且该PMOSFETP1可代换为图4所示的NMOSFETN1。 不论触发源110中的该多个M0SFET110-l、110-2、…、与110-N的数量N是否变化,并且不 论触发源110中的该多个冊5?£1'110-1、110-2、...、与1104当中的冊5?£1'的类型是否变 化,触发源110中的该多个M0SFET110-U110-2、...、与110-N中的每一M0SFET的氧化层的 厚度大于静电放电装置120中的M0SFET的氧化层的厚度。尤其是,该多个M0SFET110-1、 110-2、…、与110-N被实施成厚氧化层元件以确保较低的漏电电流,而静电放电装置120 中的M0SFET被实施成薄氧化层元件以确保较低的维持电压。
[0036] 如图6所示,相较于该NMOSFETN4的栅极,这些PMOSFETPI、P2、与P3中的每一 PMOSFET的栅极是以较粗的线来绘示;这表示这些PMOSFETP1、P2、与P3中的每一PMOSFET 的栅极下的氧化层的厚度大于该NMOSFETN4的栅极下的氧化层的厚度。另外,静电放电装 置120包含该NMOSFETN4,其栅极与源极彼此电气连接。这只是为了说明的目的而已,并非 对本发明的限制。依据本实施例的某些变化例,静电放电装置120当中的元件的类型可予 以变化。本实施例与前述实施例/变化例相仿之处不再重复赘述。
[0037] 图7绘示图3所示的方法200于另一实施例中所涉及的控制方案,其中虚线所绘 示的部分为寄生的双载流子结面晶体管,而非实体元件。图7所示的装置100-3可作为图 1所示的装置100的另一个例子。
[0038] 依据本实施例,触发源110中的该多个M0SFET110-U110-2、…、与110-N的数量 N可等于三,而触发源110可包含两个PMOSFETP1与P3以及一个NMOSFETN2,并且静电 放电装置120可包含上述的NMOSFETN4。这只是为了说明的目的而已,并非对本发明的限 制。依据本实施例的某些变化例,触发源110中的该多个M0SFET110-U110-2、...、与110-N 的数量N可予以变化。依据本实施例的某些变化例,触发源110中的该多个M0SFET110-1、 110-2、...、与110-N当中的M0SFET的类型可予以变化。例如:该PMOSFETP1可代换为图4 所示的NMOSFETN1。又例如:该PMOSFETP3可代换为图4所示的NMOSFETN3。不论触发 源110中的该多个M0SFET110-l、110-2、…、与110-N的数量N是否变化,并且不论触发源 110中的该多个]?(^£1'110-1、110-2、...、与1104当中的]\?^£1'的类型是否变化,触发源 110中的该多个M0SFET110-l、110-2、…、与110-N中的每一MOSFET的氧化层的厚度大于 静电放电装置120中的M0SFET的氧化层的厚度。尤其是,该多个M0SFET110-U110-2、...、 与110-N被实施成厚氧化层元件以确保较低的漏电电流,而静电放电装置120中的M0SFET 被实施成薄氧化层元件以确保较低的维持电压。
[0039] 如图7所示,相较于该NMOSFETN4的栅极,这些MOSFETPI、N2、与P3中的每一 M0SFET的栅极以较粗的线来绘示;这表示这些MOSFETP1、N2、与P3中的每一M0SFET的栅 极下的氧化层的厚度大于该NMOSFETN4的栅极下的氧化层的厚度。另外,静电放电装置 120包含该NMOSFETN4,其栅极与源极彼此电气连接。这只是为了说明的目的而已,并非对 本发明的限制。依据本实施例的某些变化例,静电放电装置120当中的元件的类型可予以 变化。本实施例与前述实施例/变化例相仿之处不再重复赘述。
[0040] 请注意,基于上列实施例/变化例中的任一者,由于触发源110中的该多个 M0SFET110-U110-2、…、与110-N的反应迅速,故该放电运作能即时地被触发。相较于相 关技术,本发明的方法与相关装置可提升静电放电保护的反应速度。另外,触发源110的触 发电压是可调整的,尤其是可调整到相当低,以确实地保护
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