。
[0040]图2是根据示例性实施例的执行热处理的衬底处理设备的截面视图，图3是根据示例性实施例的加热块的灯安装表面的视图，以及图4是根据示例性实施例的安置在加热块的灯安装槽中的加热灯的透视图。
[0041]热处理腔室100具有内部空间。内部空间是其中对衬底S执行热处理的空间，所述衬底是待热处理的目标。衬底安放在热处理空间中。尽管热处理腔室100可以具有密封的中空矩形容器形状，但本发明并不限于此，并且热处理腔室可以具有各种容器形状。也就是说，热处理腔室100可以具有圆柱形容器形状或多边形容器形状。并且，用于装载/卸载衬底的门110安置在热处理腔室100的一个侧表面以及另一个侧表面中的每一个上。门110连接到衬底传送模块(未图示)上。排气孔120界定在热处理腔室100的侧表面中。
[0042]用于支撑衬底的衬底支架200安置在热处理腔室100中。衬底支架200可以具有各种形状。当衬底支架200具有边缘环形状时，所述边缘环可以允许衬底安放在热处理空间中的所述衬底面对加热块400的位置中。衬底支架200可以连接到用于提供提升力的单元上，例如汽缸。本发明并不限于此。例如，可以使用用于支撑衬底支架200上的衬底的各种单元，例如，使用静电力(静电卡盘)或真空吸附力的单元。出于参考目的，衬底S可以是在过程中需要进行热处理的物体，例如AMOLED、太阳能灯、发光二极管(Light EmittingD1de,LED)以及半导体。并且，竖直地移动的多个提升销210可以安置在衬底支架200中。
[0043]气体喷射单元300可以将周围气体喷射到热处理空间中。气体喷射单元可以将在执行热处理时使用的周围气体(例如氮气(N2))喷射到热处理空间中，所述热处理空间是热处理腔室100的内部。出于参考目的，喷射到热处理腔室100中的热处理空间中的气体可以通过界定在热处理腔室100中的排放孔120而向外排放。
[0044]加热块400包含多个加热灯600，所述加热灯产生热能以对安置在其下的衬底进行热处理，所述衬底面对多个加热灯600。加热块400提供为上部门以密封热处理腔室100的上部部分，由此保护热处理腔室100不受外部环境(压力或污染物)影响。必要时，加热块400以及热处理腔室100中的每一个可以通过密封材料在密封特性上进行改进。替代地，加热块400可以安置在腔室的下部部分或侧表面中。此处，衬底可以安置在面对加热块400的位置处。
[0045]加热块400包含面对衬底S的灯安装表面400a。此处，多个灯安装槽410界定在灯安装表面400a中。出于参考目的，如图4中所图示，安装在灯安装槽410中的每一个中的加热灯600配备有其中具有灯丝以允许辐射热穿过其的灯体630、用于固定灯体630的灯支撑件620，以及连接到灯支撑件620上以接纳外部电源的灯插座610。
[0046]灯体630可以制造成中空管形状(也就是说，管状形状)。灯体630可以制造成T形或线性管形状。当然，灯体630不限于其形状，并且例如，灯体可以制造成弯曲的、圆形的或椭圆形的带形状。并且，灯体630可以由玻璃或石英形成。因此，灯体630可以允许辐射热穿过其而没有损耗。并且，惰性气体(例如，卤素气体或氩气)可以填充在灯体630中。
[0047]另外，如图4中所图示，尽管加热灯600具有其中灯体630、灯支撑件620以及灯插座610彼此分开的可分离的结构，但是本发明并不限于此。例如，加热灯600可以具有一种结构，其中用于接收外部电源而无需单独的灯插座610的灯支撑件620与灯体630整合。出于参考目的，加热灯600可以通过加热灯插入孔(未图示)从加热块400上拆卸，所述加热灯插入孔界定在与加热块400的灯安装表面400a相反的表面中。
[0048]单独的透光板500可以透射从安置在灯安装槽410中的每一个的加热灯600发射的光。因此，单独的透光板500经安置以与灯安装槽410相对应。根据相关技术，如图1中所图不，充当透光板的窗户30安置在热处理腔室20与加热块10之间作为单一板。当窗户30提供为单一板时，不可能将窗户30应用到用于对大尺寸衬底进行热处理的腔室上。为了解决此局限性，根据示例性实施例，单独的透光板500可以经安置以与灯安装槽410相对应，并且因此将单独的透光板500应用到用于对大尺寸衬底进行热处理的腔室上。
[0049]单独的透光板500可以防止从灯安装槽410产生的颗粒下落到衬底以保护衬底不受污染源影响。并且，单独的透光板500可以允许安装在灯安装槽410中的加热灯600的光通过，由此将光传送到衬底。
[0050]单独的透光板500可以由透射光的材料(例如石英以及蓝宝石)形成。当单独的透光板500由石英材料形成时，单独的透光板500可以透射具有近似I ym到近似4 μπι的波长的光的90%或90%以上，所述波长对应于加热灯600的主波长带。并且，当单独的透光板由蓝宝石材料形成时，单独的透光板可以选择性地透射具有所需波长带的光。
[0051]单独的透光板500必须耦合到灯安装槽410上。因此，如图5中所示，内螺纹411在灯安装槽410的内表面上形成，使得单独的透光板500耦合到在灯安装槽410的内表面上形成的内螺纹411上。因此，外螺纹501在单独的透光板500的圆周表面上形成。因此，单独的透光板500的外螺纹501可以螺接到在灯安装槽410的内表面上形成的内螺纹411上。
[0052]单独的反射器420可以安置在灯安装槽410的内表面上。反射器420是用于照明的反射板。反射器420可以围绕灯安装槽410的内表面以反射从加热灯600发射的光。因此，反射器420可以反射从安置在灯安装槽410中的加热灯600发射的光，使得朝向单独的透光板500传送反射光。如此，反射器420安置在灯安装槽410中，如图6中所图示，内螺纹421在反射器420的表面上形成。因此，单独的透光板500的外螺纹501可以螺接到在反射器420的表面上形成的内螺纹421上。因此，单独的透光板500可以耦合到灯安装槽410 上。
[0053]如图5和图6中所图示，尽管单独的透光板500可以直接耦合到灯安装槽410上而不需要单独的固定单元，但本发明并不限于此。作为另一实施例，如图7和图9中所图示，通过使用单独的固定环，单独的透光板500可以是灯安装槽410。
[0054]如图7中所图示，圆周表面上形成有外螺纹551的固定环550耦合到在灯安装槽410的内表面上形成的阶梯式突起415上，并且因此单独的透光板500耦合到灯安装槽410上。也就是说，单独的透光板500插入到阶梯式突起415中。随后，固定环550安置在单独的透光板500上，使得固定环550的外螺纹551耦合到在灯安装槽410的内表面上形成的内螺纹411上。出于参考目的，如图8中所图示，固定环550可以对应于具有能够被插入到灯安装槽410中的直径的环。主螺纹在固定环550的圆周表面上形成。出于参考目的，如图9中所图示，阶梯式突起可以类似地应用到其上提供有反射器420的灯安装槽410上。
[0055]出于参考目的，如图5、图6、图7以及图9中所图示，因为单独的透光板500以可拆卸方式耦合到灯安装槽410上，所以单独的透光板500可以经拆卸以进行定期清洁。当单独的透光板500被损坏时，可以容易地替换所述单独的透光板500。
[0056]根据波长带选择性地透射光的用于每个波长带的透光薄膜可以选择性地涂覆在单独的透光板500的表面上。因此，将透射的光的波长带可以根据衬底处理过程进行改变。因此，可以将透射具有所需波长带的光的用于每个波长带的透光薄膜涂覆到单独的透光板500上，以通过使用具有各种波长带的光执行热处理。出于参考目的，“根据波长带选择性地透射光的用于每个波长带的透光薄膜”表示透射具有彼此不同的波长带的光