6] [NR4]+· [PX6] ⑴
[0047] 此外，将本发明的第1实施方式以及第2实施方式的蚀刻组合物总称为本发明的 蚀刻组合物。另外，将成分（Al)及成分（A2)总称为成分（A)。
[0048] 成分（A2)是具有氟原子与磷原子以单键键合而成的结构的路易斯酸、与铵系离 子的盐。成分（A2)是将无机薄膜浸蚀而去除的蚀刻成分。本发明的第2实施方式中，蚀刻 成分优选在室温（25°C )下为固体。本发明的组合物的第2实施方式通过含有成分（A2)， 即使不含现有蚀刻剂中所添加的有机酸或者无机酸，也具有充分的蚀刻性。
[0049] 式（1)中，4个R分别独立地为氢原子、脂肪族烃基或者芳基烷基。
[0050] 作为脂肪族烃基，可举出碳数为1~10的直链状烷基、碳数为3~12的环烷基、 碳数为1~10的支链状烷基。优选为碳数为1~7的直链状烷基，特别优选为碳数为1~ 4的直链状烷基。
[0051] 作为芳基烷基（芳烷基），优选为烷基链的碳数为1~4且芳基的碳数为6~10 的基团。优选苄基。
[0052] R分别独立地优选为氢原子、或者碳数为1~4的直链状烷基，特别优选R全部为 氢原子的情况。
[0053] X分别独立地为F、Cl、Br或I，X的至少1个为F。优选为X全部为F，即，[PX6]为 六氟磷酸根呙子[PF 6]。
[0054] 作为成分（A2)的具体例，可举出：六氟磷酸铵、六氟磷酸四甲基铵、六氟磷酸四乙 基铵、六氟磷酸四正丁基铵、六氟磷酸苄基三甲基铵等。本发明的第2实施方式中，特别优 选六氟磷酸铵。
[0055] 成分（A)的含有率只需考虑到使用时的组合物的性状来适当调整即可。作为蚀刻 成分的成分（A)的含有率优选越高越好，但是考虑到利用印刷法来涂布组合物，因此组合 物的粘度或糊剂性状的调整变得重要。相对于组合物整体，蚀刻成分（A)的含有率优选为 5质量％~90质量％，更优选为7. 5质量％~75质量％，进一步优选为8质量％~40质 量％，尤其特别优选为10质量％~30质量％。
[0056] 作为成分（B)的溶剂只要可将所述成分（A)进行分散即可，并无特别限制。在 通过丝网印刷来印刷本发明的组合物的情况下，若在印刷中由于溶剂的挥发而导致粘度 变化，则会导致印刷性变化，因此溶剂的25°C下的蒸气压小于1.34X 103pa，优选为小于 1.0 XlO3Pa · S0
[0057] 作为溶剂的例子，可例示：壬烷、癸烷、十二烷、十四烷等脂肪族烃系溶剂；乙基 苯、苯甲醚（anisole)、均三甲苯（mesitylene)、萘、环己基苯、二乙基苯、苯基乙腈、苯基 环己烷、苯甲腈、均三甲苯等芳香族烃系溶剂；乙酸异丁酯、丙酸甲酯、丙酸乙酯、γ-丁内 酯、乙二醇亚硫酸酯、乳酸乙酯、乳酸乙酯等酯系溶剂；甲醇、乙醇、1-丁醇、环己醇、甘油 等醇系溶剂；砲品醇（terpineol)、松油醇C(terpineolC)、二氢松油醇、乙酸二氢砲品酯 (dihydroterpinylacetate)、 TerusolveDT〇-210、 TerusolveTHA-90、 TerusolveTHA-70、 TerusolveTOE-IOO、二羟基砲品基氧基乙醇、砲品基甲醚、二氢砲品基甲醚、TerusolveMTPH 等萜系溶剂；环己酮、2-己酮、2-庚酮、2-辛酮、1，3-二氧杂环戊烷-2-酮、1，5, 5-三甲基 环己烯-3-酮等酮系溶剂；二乙二醇乙醚、二乙二醇二乙醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、 丙二醇单丙醚、丙二醇单丁醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、二乙二醇乙醚乙酸酯、二乙二醇丙醚 乙酸酯、二乙二醇异丙醚乙酸酯、二乙二醇丁醚乙酸酯、二乙二醇-叔丁醚乙酸酯、三乙二 醇甲醚乙酸酯、三乙二醇乙醚乙酸酯、三乙二醇丙醚乙酸酯、三乙二醇异丙醚乙酸酯、三乙 二醇丁醚乙酸酯、三乙二醇叔丁醚乙酸酯、二丙二醇二甲醚、二丙二醇单丁醚、聚乙二醇、聚 丙二醇等亚烷基二醇系溶剂；二己醚、丁基苯基醚、戊基苯基醚、甲氧基甲苯、苄基乙基醚等 醚系溶剂；碳酸丙烯酯、碳酸乙烯酯等碳酸酯系溶剂；N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰 胺、N-甲基吡咯烷酮等酰胺系溶剂；二甲基亚砜等亚砜系溶剂；丙二腈等腈系溶剂；水。
[0058] 其中，优选砲品醇、TerusolveMTPH，γ - 丁内酯、N-甲基吡略烧酮、乙二醇亚硫酸 酯、碳酸丙烯酯、水。
[0059] 该些溶剂可单独使用1种或者将2种以上组合使用。
[0060] 成分（B)的含有率只要考虑到使用时的组合物的性状适当调整即可。通常，相对 于组合物整体，优选为10质量％~95质量％，更优选为15质量％~70质量％，特别优选 为25质量％~55质量％。
[0061] 本发明的组合物优选除了含有所述成分（A)及成分（B)以外，还含有选自结构中 包含硼及与该硼键合的卤素的路易斯酸、所述路易斯酸的盐、以及产生所述路易斯酸的化 合物中的至少1种硼化合物（以下称为成分（C))。含有成分（A)及成分（C)时，低温的蚀 刻性提尚，另外，蚀刻速度也提尚。
[0062] 作为成分（C)的具体例，可举出：四氟硼酸三苯基碳鑰、N-氟-N'-氯甲基三亚 乙基二胺双（四氟硼酸）、四氟硼酸1_(氯-1-吡咯烷基亚甲基）吡咯烷鑰、四氟硼酸卓 鑰、四氟硼酸二正丁基铵、四氟硼酸四乙基铵、四氟硼酸四丁基铵、四氟硼酸四甲基铵、四氟 硼酸三甲基氧鑰、四氟硼酸三乙基氧鑰、1，3-双（2,4,6-三甲基苯基）-4, 5-二氢咪唑鑰四 氟硼酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑鑰四氟硼酸盐、1-己基-3-甲基咪唑鑰四氟硼酸盐、1-乙 基-3-甲基咪唑鑰四氟硼酸盐、1-乙基-2, 3-二甲基咪唑鑰四氟硼酸盐、1-己基-3-甲基咪 唑鑰四氟硼酸盐、1-甲基-3-辛基咪唑鑰四氟硼酸盐、1- 丁基_2, 3-二甲基咪唑鑰四氟硼 酸盐、1，3-二叔丁基咪唑啉鑰四氟硼酸盐、1-丁基-1-甲基哌啶鑰四氟硼酸、1-丁基-3-甲 基吡啶鑰四氟硼酸盐、1- 丁基吡啶鑰四氟硼酸盐、四氟硼酸2,4,6-三甲基吡啶鑰、1- 丁 基-1-甲基吡咯烷鑰四氟硼酸盐、1-乙基-1-甲基吡咯烷鑰四氟硼酸盐、1-乙基-1-甲基 哌啶鑰四氟硼酸盐、三环戊基膦四氟硼酸等四氟硼酸有机碱盐；
[0063] 四氟硼酸锂等四氟硼酸卤盐；
[0064] 四氟硼酸铜、四氟硼酸锌等四氟硼酸金属盐；
[0065] 甲基三氟硼酸钾、（吗啉-4-基）甲基三氟硼酸钾、（3, 3-二甲基丁基）三氟硼酸 钾、4-碘苯基三氟硼酸钾、4-氟苯基三氟硼酸钾、苯基三氟硼酸钾、吡啶-3-三氟硼酸钾、乙 烯基三氟硼酸钾、甲基三氟硼酸盐、[(Ν-叔丁基铵基）甲基]三氟硼酸等烷基三氟硼酸盐；
[0066] 三氟化硼单乙基胺络合物、三氟化硼-乙酸络合物、三氟化硼四氢呋喃络合物、三 氟化硼苯酚络合物、三氟化硼二乙醚络合物、三氟化硼乙腈络合物或三氟化硼甲醇络合物 等三氟化硼络合物化合物；
[0067] 四氟硼酸硝鑰、三碘化硼、三（五氟苯基）硼烷、四（五氟苯基）硼酸盐乙醚络合 物等。
[0068] 上述蚀刻成分中，优选：四氟硼酸三苯基碳鑰、四氟硼酸卓鑰、四氟硼酸二正丁基 铵、四氟硼酸四丁基铵、四氟硼酸三甲基氧鑰、四氟硼酸三乙基氧鑰、1-乙基-2, 3-二甲基 咪唑鑰四氟硼酸盐、1-丁基-1-甲基吡咯烷鑰四氟硼酸盐、甲基三氟硼酸钾、4-碘苯基三氟 硼酸钾、（4-甲基-1-哌嗪基）甲基三氟硼酸钾、三环戊基膦四氟硼酸、三氟化硼单乙基胺 络合物、吡啶-3-三氟硼酸钾、四氟硼酸硝鑰、三碘化硼、三（五氟苯基）硼烷、四（五氟苯 基）硼酸锂乙醚络合物。特别优选为四氟硼酸二正丁基铵、四氟硼酸四丁基铵、三氟化硼单 乙基胺络合物。
[0069] 成分（C)的含有率只需考虑使用时的组合物的性状来适当调整即可。例如，相对 于组合物整体，优选为1质量％~40质量％，进一步优选为2质量％~30质量％，特别优 选为2. 5质量％~15质量％。
[0070] 此外，相对于组合物整体，所述成分（A)与成分（C)的合计量优选为5质量％~90 质量％，进一步优选为7. 5质量％~75质量％，尤其特别优选为15质量％~35质量％。
[0071] 本发明的组合物中，也可根据需要添加增稠剂以及微粒（以下称为成分（D))的至 少一者。根据印刷法，为了细线描画性而优选为对组合物赋予触变性。作为赋予触变性的 方法，可举出：使用增稠剂（触变性赋予剂）的方法、或将微粒分散的方法。该些方法也可 并用。
[0072] 增稠剂是在蚀刻成分等溶解或者分散于溶剂中时，通过利用氢键等形成松散的伪 凝聚来赋予触变性的添加剂。
[0073] 作为增稠剂，可举出：乙基纤维素、K-角叉菜胶（K-carrageenan)、硬脂酸酰胺、 羧基甲基纤维素铵、羧基甲基纤维素钠、BYK-405、BYK-410、BYK-411、BYK-415、BYK-420、 BYK-425、BYK-420、BYK-430、BYK-431 等（ΒΥΚ