方式的在旋转方向上形成2个上游边缘的突块的清洗面的另一例的图。
[0058]图8D是表示本发明的第I实施方式的在旋转方向上形成2个上游边缘的突块的清洗面的另一例的图。
[0059]图8E是表示本发明的第I实施方式的在旋转方向上形成2个上游边缘的突块的清洗面的另一例的图。
[0060]图8F是表示本发明的第I实施方式的在旋转方向上形成2个上游边缘的突块的清洗面的另一例的图。
[0061]图9是用于说明本发明的第I实施方式的多个突块的配置与第2上游边缘的关系的图。
[0062]图1OA是表示本发明的第I实施方式的突块的变形例的图。
[0063]图1OB是表示本发明的第I实施方式的突块的变形例的图。
[0064]图1lA是表示本发明的第I实施方式的突块的变形例的图。
[0065]图1lB是表示本发明的第I实施方式的突块的变形例的图。
[0066]图12A是表示本发明的第I实施方式的突块的变形例的图。
[0067]图12B是表示本发明的第I实施方式的突块的变形例的图。
[0068]图13A是表示本发明的第I实施方式的突块的变形例的图。
[0069]图13B是表示本发明的第I实施方式的突块的变形例的图。
[0070]图14是表示本发明的第I实施方式的辊清洗部件与形成在突块上的缝的朝向的关系的变形例的图。
[0071]图15是表示本发明的第2实施方式的基板清洗装置的概要的立体图。
[0072]图16是本发明的第2实施方式的笔清洗部件的立体图。
[0073]图17A是本发明的第2实施方式的笔清洗部件的仰视图。
[0074]图17B是本发明的第2实施方式的笔清洗部件的主视图。
[0075]图18是表示本发明的第2实施方式的基板与笔清洗部件的关系的俯视图。
[0076]图19A是本发明的第2实施方式的清洗部的放大图(O度)。
[0077]图19B是本发明的第2实施方式的清洗部的放大图(45度)。
[0078]图19C是本发明的第2实施方式的清洗部的放大图(90度)。
[0079]图19D是本发明的第2实施方式的清洗部的放大图(135度)。
[0080]图20A是本发明的第2实施方式的清洗部的放大图(180度)。
[0081]图20B是本发明的第2实施方式的清洗部的放大图(225度)。
[0082]图20C是本发明的第2实施方式的清洗部的放大图(270度)。
[0083]图20D是本发明的第2实施方式的清洗部的放大图(315度)。
[0084]图21是本发明的第3实施方式的抛光处理装置的概要的立体图。
[0085]图22是本发明的第3实施方式的笔抛光部件的纵剖面图。
[0086]图23是表示辊清洗部件的突块擦拭基板的表面的情形的图。
[0087]图24A是表示I个突块的立体图。
[0088]图24B是表示未与基板接触的状态下的突块的清洗面的图。
[0089]图24C是表示与基板接触的状态下的突块的清洗面的图。
[0090]符号说明
[0091]10 基板清洗装置
[0092]11 主轴(基板保持单元)
[0093]12 上部辊清洗部件
[0094]13 下部辊清洗部件
[0095]50 辊清洗部件
[0096]52 海绵部件
[0097]54 突块
[0098]541清洗面
[0099]542 缝
[0100]541el、541e2 上游边缘
[0101]20 基板清洗装置
[0102]21 主轴(基板保持单元)
[0103]24、25清洗液供给喷嘴
[0104]27摇摆臂
[0105]28笔清洗部件
[0106]281a ?281d 缝
[0107]30 抛光处理装置
[0108]31 旋转卡盘
[0109]32笔抛光部件
[0110]321基部
[0111]322抛光垫
[0112]323a ?323d 缝
[0113]33摇摆臂
[0114]34清洗液喷嘴
[0115]36旋转轴
【具体实施方式】
[0116]以下，一边参照附图一边对本发明的实施方式的辊部件、笔部件以及包含它们中的至少一方的基板处理装置进行说明。另外，以下说明的实施方式表示实施本发明的情况的一例，本发明并不限于以下说明的具体的结构。在实施本发明时，可以适当采用与实施方式对应的具体的结构。
[0117]1.第I实施方式:具有辊清洗部件的基板清洗装置
[0118]图1是表示第I实施方式的基板处理装置(基板清洗装置)的概要的立体图。如图1所示，基板清洗装置10具有:在水平方向上移动自如的多个(在图19中为4个)主轴11 (基板保持单元)，多个主轴11作为基板旋转机构，以使基板S的表面朝上的方式支承基板S的周缘部并使基板S水平旋转；上部辊清洗部件(辊海绵)12，旋转自如地支承于未图示的辊支架；以及下部辊清洗部件(辊海绵)13，旋转自如地支承于未图示的辊支架。上部辊清洗部件12和下部辊清洗部件13是圆柱状，呈长条状延伸，例如由PVA构成。另外，上部辊清洗部件12借助其辊支架相对于基板S的表面升降自如，下部辊清洗部件13借助其辊支架相对于基板S的背面升降自如。
[0119]上部辊清洗部件12借助未图示的驱动机构(旋转驱动单元)像箭头Fl所示那样旋转，下部辊清洗部件13借助未图示的驱动机构像箭头F2所示那样旋转。在由主轴11支承且旋转的基板S的上方的位置上配置有向基板S的表面供给清洗液的2个清洗液供给喷嘴14、15。清洗液供给喷嘴14是向基板S的表面供给洗涤液(例如，超纯水)的喷嘴，清洗液供给喷嘴15是向基板S的表面供给药液的喷嘴。
[0120]基板清洗装置10通过使基板S的周缘部位于在设置于主轴11的上部的自旋顶部Ila的外周侧面上形成的嵌合槽内，向内侧按压并使自旋顶部Ila旋转(自转)，从而使基板S水平旋转。在该例中，4个自旋顶部I Ia中的2个自旋顶部I Ia对基板S施加旋转力，其他的2个自旋顶部Ila进行承受基板S的旋转的轴承的动作。另外，也可以使所有的自旋顶部Ila与驱动机构连结，对基板S施加旋转力。
[0121]在这样使基板S水平旋转的状态下，从清洗液供给喷嘴14向基板S的表面供给洗涤液，且从清洗液供给喷嘴15向基板S的表面供给药液，一边使上部辊清洗部件12旋转一边使其下降而与旋转中的基板S的表面接触，由此在存在清洗液(洗涤液和药液)的情况下，利用上部辊清洗部件12擦洗基板S的表面。
[0122]上部辊清洗部件12和下部辊清洗部件13的长度都被设定为比基板S的直径稍长。上部辊清洗部件12和下部辊清洗部件13的中心轴(旋转轴)0JP02与基板S的中心轴(即旋转中心)05大致垂直，且被配置为在基板S的直径的整个长度的范围中延伸。由此，同时清洗基板S的表面背面的全部表面。
[0123]图2是表示本实施方式的辊清洗部件的立体图，图3是表示本实施方式的辊清洗部件的主视图，图4是图3的A-A剖面图。像图2?图4所示那样在其表面具有突块的辊清洗部件50可以用于图1的上部辊清洗部件12，并且也可以用于下部辊清洗部件13，也可以用于其双方。
[0124]如图2?4所示，辊清洗部件50由圆柱形状的芯材51、固定于芯材51的外周面的筒状的海绵部件52构成。海绵部件52具有突块54从作为圆柱的表面的基面53突出的形状。多个突块54排列在与辊清洗部件50的旋转轴方向(长度方向)a平行排列的多条直线上。这些直线在周向上等间隔地分离。周向上相邻的突块54彼此在旋转轴方向上错开半个间距。由此，如图4所示，当观察与长度方向垂直的面的剖面图时，多个突块54在周向上等角度间隔地排列。另外，多个突块的这种配置仅为一例，也可以采用其他的配置。
[0125]图5A是本实施方式的突块的立体图，图5B是表示未与本实施方式的基板接触的状态下的突块的清洗面的图，图5C是表示与本实施方式的基板接触的状态下的突块的清洗面的图。如图2?4所示，并且像图5A?图5C详细表示的那样，各突块54在清洗面541上具有缝542。另外，在图2和图3所示的辊清洗部件50中，所有的突块54具有缝(槽)542，但也可以是，设置于辊清洗部件50的多个突块54内的仅一部分的突块54具有缝542。
[0126]缝542在与辊清洗部件50的旋转方向c垂直的方向上延伸，即与辊清洗部件50的旋转轴方向a平行地延伸。如图4和图5A所示，缝542具有越深宽度越窄的锥形形状，其截面是倒三角形(V字形)。
[0127]以下将在辊清洗部件50旋转而使突块的清洗面541与基板S的被清洗面接触时最先与基板S的被清洗面接触的边缘称为“上游边缘”。也可以将作为该上游边缘的侧(上游侧)表述为“突进侧”，与此相对也可以将下游侧称为“避开侧”。
[0128]因形成缝542而除去以往呈圆柱形状的突块的清洗面541的一部分。由此，在辊清洗部件50的旋转方向c上存在多个上游边缘。具体而言，如图5A?图5C所示，I个突块54具有第I上游边缘541el、以及位于比第I上游边缘541el靠旋转方向c的下游的第2上游边缘541e2。
[0129]如上所述，在清洗面541的上游边缘附近，相比其他的部分清洗力变高，但如图5C所示，由于本实施方式的突块54在旋转方向c上具有多个上游边缘，因此能够存在多个清洗力高的区域(图5C的阴影部分)。由此，在I个突块54擦拭基板S的被清洗面时，由于清洗力高的上游边缘擦拭2次，因此I个突块54的清洗力与以往的突块相比提高。
[0130]这样一来，在突块54上形成缝542的目的在于形成第2上游边缘541e2。因此，以如下方式设计缝542的宽度和深度:在突块54 —边旋转一边擦拭基板S的被清洗面时，即使突块54在旋转方向c上被挤压，清洗面541也不会填埋该缝542。
[0131]具体而言，由于当缝542的宽度过窄、且深度过深时，突块54在擦拭基板S的被清洗面时在旋转方向c上被挤压而会填埋缝542，因此缝542的形状的宽度和深度被设计成不会产生该状况的程度。例如，在突块54的高度是5mm、直径是7mm时，