21a支承且旋转的基板W的上方的位置配置有向基板W的表面供给清洗液的2个清洗液供给喷嘴24、25。清洗液供给喷嘴24是向基板W的表面供给洗涤液(例如，超纯水)的喷嘴，清洗液供给喷嘴25是向基板W的表面供给药液的喷嘴。
[0159]笔清洗部件28由未图示的保持部件保持且以能够旋转的方式设置于摇摆臂27的顶端的下表面，借助未图示的驱动机构将其中心轴作为旋转轴进行旋转(自转)。该旋转轴是与基板W垂直的轴。笔清洗部件28由例如泡沫聚氨酯、PVA构成。当摇摆臂27绕支柱26旋转时，安装于摇摆臂27的顶端的笔清洗部件28以描绘圆弧状的轨迹的方式在基板W上移动。由于摇摆臂27的顶端延伸到基板W的中心0，因此笔清洗部件28的移动轨迹经过基板W的中心O。并且，笔清洗部件28移动到基板W的外周。由此，因摇摆臂27的旋转而产生的笔清洗部件28的移动轨迹成为将摇摆臂27的长度作为半径的圆弧状，其移动范围为从基板W的外周到经过了基板W的中心O的位置。
[0160]在通过基板旋转机构使基板W水平旋转的状态下，从清洗液供给喷嘴24向基板W的表面供给洗涤液，且从清洗液供给喷嘴25向基板W的表面供给药液，并且一边使笔清洗部件28旋转(自转)一边通过使摇摆臂27旋转而使笔清洗部件28公转，并与旋转中的基板W的表面接触，由此在存在清洗液(洗涤液和药液)的情况下，利用笔清洗部件28擦洗基板W的表面。
[0161]图16是笔清洗部件28的立体图，图17A是笔清洗部件18的仰视图，图17B是笔清洗部件28的主视图。在图16和图17A中对清洗面施加阴影。如图16、图17A和图17B所示，在笔清洗部件28中形成有从边缘到边缘连续的彼此平行的多个(在本实施方式中为4个)缝281a?281d。上述缝281a?281d形成为在从笔清洗部件28的边缘到边缘之间不分岔。并且，关于缝的深度，越接近笔清洗部件28的中心、缝越深。具体而言，在本实施方式的笔清洗部件28中，内侧的缝281b、281c形成为比外侧的缝281a、281d深。另外，在上述的例子中，缝281a?281d都是宽度恒定的直线形状，但它们也可以是曲线形状，宽度也可以不恒定。
[0162]图18是表示基板S与笔清洗部件28的关系的俯视图。如上所述，基板S绕其中心轴旋转，笔清洗部件28 —边绕其中心轴旋转，一边在包含基板S的中心的半径方向的轨道上移动。在本实施方式中，基板S的旋转方向与笔清洗部件28的旋转方向相同，都在俯视观察时逆时针旋转。
[0163]基板S可以是直径300mm的结构，也可以是直径450mm的结构。基板S的转速是250?2000rpm。具体的基板S的转速是考虑到主轴21的规格或基板S的大小等而决定的。笔清洗部件28的绕其中心轴的旋转的转速是O?400rpm，典型的是150?300rpm。具体的笔清洗部件28的转速是考虑基板S的大小、笔清洗部件28的大小等而决定的。笔清洗部件28的摇摆速度(摇摆臂27的转速)是2?150mm/sec，是考虑到基板S的转速、基板S的大小、笔清洗部件28的转速、所要求的吞吐量等而决定的。
[0164]笔清洗部件28可以借助因摇摆臂27的摇摆而从基板S的一方的边缘经过基板S的中心O且平行移动到另一方的边缘的边缘-边缘摇摆来擦洗基板S的表面整个面。在该情况下，可以在笔清洗部件28到达另一方的边缘后，保持原样地向相反方向移动经过基板S的中心O而返回一方的边缘，借助这种往复摇摆来擦洗基板S的表面整个面，或者也可以在到达另一方的边缘后，将笔清洗部件28从基板S的表面抬起并返回一方的边缘的上方，然后再次使笔清洗部件28与基板S的表面接触，重复进行借助摇摆臂27的摇摆从基板S的一方的边缘经过基板S的中心O且平行移动到另一方的边缘这样的动作。用于清洗I张基板S的摇摆臂27的摇摆次数可以是I?10次左右。
[0165]此外，笔清洗部件28也可以借助因摇摆臂27的摇摆而从基板S的中心平行移动到基板S的边缘的中心-边缘摇摆来擦洗基板S的表面整个面。在该情况下，可以在笔清洗部件28到达边缘后，保持原样地向相反方向移动而返回到基板S的中心0，或者也可以在到达边缘后，将笔清洗部件28从基板S的表面抬起并返回到基板S的中心O的上方，然后再次使笔清洗部件28与基板S的表面接触，重复进行借助摇摆臂27的摇摆而从基板S的中心O平行移动到边缘这样的动作。在该情况下，用于清洗I张基板S的摇摆臂27的摇摆次数可以是I?10次左右。
[0166]分别从液体供给喷嘴24、25朝向基板S的中心供给的液体(纯水和洗涤液)接触至IJ基板S的表面，因供给方向(基板S是中心方向)的惯性和基于基板S的旋转的离心力(基板S的边缘方向)而如图18所示那样在旋转的基板S的表面上沿半径方向扩展。这样被供给了液体的基板S的表面部分因基板S的旋转而到达笔清洗部件28与基板S进行摩擦的清洗部，在该清洗部中，在存在纯水和洗涤液的情况下，通过笔清洗部件28擦洗基板S。
[0167]图19A?图19D是清洗部的放大图。在图19A?图19D中表示笔清洗部件28旋转的情形，还表示笔清洗部件28的缝281a?281d。并且，在图19A?图19D的笔清洗部件28中，将形成有多个缝281a?281d的一方的端部的侧面设为Hl，将形成有另一方侧的端部的侧面设为H2并进行图示。
[0168]当将图19A的旋转角设为O度时，图19B、图19C、图19D分别表示旋转角45度、90度、135度的状态。如图19A?图19D所示，在旋转角O?180度的范围内，液体从缝281a?281d的侧面Hl的端部流入到缝内，缝内的液体从侧面H2的端部流出。S卩，在笔清洗部件28的旋转角处于O?180度时，液体沿一定的方向(从侧面Hl朝向侧面H2的方向)流到各缝281a?281d内。
[0169]图20A?图20D表示将图19A的笔清洗部件28的旋转角设为O度的情况下的旋转角180度、225度、270度、315度的状态。如图20A?图20D所示，在笔清洗部件28的旋转角处于180?360度时，液体沿一定的方向(从侧面H2朝向侧面Hl的方向)流到各缝281a ?281d 内。
[0170]根据图19A?图19D和图20A?图20D可明确，在笔清洗部件28旋转I周的期间的一半期间，液体从侧面Hl朝向侧面H2流到缝281a?281d内，在剩下的一半期间，液体从相反方向、即从侧面H2朝向侧面Hl流到缝281a?281d内。由此，缝内的液体充分地流通，而始终将新鲜的液体供给到缝内。
[0171]并且，在本实施方式的笔清洗部件28中，由于在底面上，以从一方的边缘到另一方的边缘不分岔的方式形成有缝281a?281d，因此不会产生如下情况:进入到缝内的液体因分岔无法到达排出侧而滞留在缝内。利用这一点，也会始终向缝内供给新鲜的液体。
[0172]此外，通过在笔清洗部件28的底面上形成有缝281a?281d，而在其两侧形成有边缘。由于笔清洗部件28绕其中心轴旋转且在基板S的半径方向上平行移动，并且基板S也绕其中心轴旋转，因此，不管缝281a?281d的哪一部分成为上游边缘而发生变动，各缝281a?281d的两侧的边缘中的某一个都会成为上游边缘。由此，因与第I实施方式相同的原理，与未形成缝281a?281d的情况相比，清洗力提高。
[0173]在上述的实施方式中，使笔清洗部件28向与基板S相同的方向旋转。在该情况下，在笔清洗部件28与基板S接触的清洗部中的基板S的半径方向的外侧，基板S的表面与笔清洗部件28的底面在同向(顺向或者追随方向)上移动，在清洗部中的基板的半径方向的内侧，基板S的表面与笔清洗部件28的底面在相反方向(对抗方向或者反转方向)上移动。在清洗部中，在基板S的表面与笔清洗部件28的底面在对抗方向上移动的部分(基板S的半径方向的内侧)中清洗力比较高，在基板S的表面与笔清洗部件28的底面在顺向上移动的部分(基板S的半径方向的外侧)中清洗力比较低。
[0174]另外，也可以使笔清洗部件28向与基板S相反的方向旋转。在该情况下，在清洗部中的基板S的半径方向的外侧，基板S的表面与笔清洗部件28的底面向相反方向移动，清洗部中的基板S的半径方向的内侧，基板S的表面与笔清洗部件28的底面向顺向移动。由此，在清洗部中的基板S的半径方向的外侧，清洗力比较高，在清洗部中的基板S的半径方向的内侧，清洗力比较弱。
[0175]此外，也可以不使笔清洗部件28旋转。在该情况下，如图19A和图20A或者图19C和图20C所示，可以在缝281a?281d与基板S的半径方向和圆周方向中的任一个都呈角度的方向上固定笔清洗部件28。在这些情况下，液体从基板S的旋转的上游侧分别进入到缝281a?281d，从相反侧被排出。
[0176]当在图19A和图20A的方向上进行固定的情况下，各缝281a?281d的左侧的边缘成为上游边缘，而有助于提高清洗力。并且，当在图19C和图20C的方向上进行固定的情况下，各缝281a?281d的上侧的边缘成为上游边缘，而有助于提高清洗力。这样一来，当在图19A和图20A、或者图19C和图20C的方向上固定笔清洗部件28的方向的情况下，也能够得到由缝内的液体的流通以及多个上游边缘引起的清洗力的提高中的任一优点。
[0177]在使笔清洗部件28不旋转的情况下，也可以如图19B和图20B所示，在缝281a?281d与基板S的半径方向呈大致直角、且与圆周方向大致平行的方向上固定笔清洗部件28。在该情况下，关于多个上游边缘的清洗力的提高，虽然只能期待与笔清洗部件28在基板S的半径方向上的移动(摇摆)量相应的量，但在各缝281a?281d内的液体的流动顺畅、向各缝281a?281d供给新鲜的液体这方面与其他例相比是有利的。
[0178]并且，在使笔清洗部件28不旋转的情况下，也可以如图19D和图20D所示，在缝28Ia?281d与基板S的半径方向大致平行、且与圆周方向大致垂直的方向上固定笔清洗部件28。在该情况下，关于各缝281a?281d内的液体的流通，虽然取决于笔清洗部件28在基板S的半径方向上的移动(摇摆)，但在多个上游边缘的清洗力的提高这方面与其他例相比是有利的。
[0179]另外，在上述的实施方式中，在笔清洗部件28的底面上形成有4个缝，但在笔清洗部件28的底面上形成的缝也可以是I?3个，也可以比4个多。并且，除了像上述那样以从边缘到边缘不分岔的方式形成的缝，还可以形成例如圆形的凹部等其他的凹部。
[0180]3.第3实施方式:具有笔抛光部件的基板清洗装置