处理工序的顺序加长。因此，可能需要将控制器200与其它装置的连接，以确定总的处理工序的流程，而且应当在一个处理室150中完成所述载体的处理工序时立即计算所述闲置时间。
[0082]如果在其中完成第一工序的处理室的闲置时间大于预定参考时间，控制器200可以将测试基板装载到在其中完成第一工序的处理室内。这里，所述参考时间可以是装载测试基板以完成检查工序所用的时间。参考时间可以由用户输入，并且可以根据检查工序的种类和环境而改变。
[0083]例如，当用户执行特定检查工序需要30分钟，则参考时间可以被设定为30分钟。控制器200可以比较闲置时间与参考时间。如果完成第一工序后的闲置时间为大于30分钟，则控制器200控制基板处理装置100使得在测试基板被装载到在其中已完成第一工序的处理室内。
[0084]控制器200在装载在处理室内的测试基板上进行检查工序。可以仅对用户所选择的处理室进行检查工序。可替代地，可以对所有处理室进行检查工序。可适当检查所选处理室的闲置时间。这里，可以在输入参考时间的步骤中将检查工序及待检查的处理室的数据一起输入。
[0085]在连续进行基板的处理工序的同时，如果在至少一个处理室中处理的基板的累计数量超过预定数量，控制器200可以自动地进行检查工序。此外，控制器200可以检查在所述装置被定期检查的情况下的闲置时间，在所述装置突然发生异常的情况下的闲置时间，以及在由更换部件而将所述装置关闭预定时间的情况下的闲置时间，从而自动地进行行检查工序。
[0086]检查工序可以包括为了正常地操作所述基板处理装置的所有的检查步骤。详细地，可以将测试基板装载到处理室，并可以在与一正常的处理工序相同的条件下在测试基板上进行检查工序。接着，检查测试基板，以确定所述基板处理装置是否运行。
[0087]检查工序可以包括时效工序。所述时效工序可以包括基本颗粒检查，并且可以根据处理工序的种类进一步包括各种检查。此外，可以周期性地对装置的处理室进行湿法清洁工序。在这种情况下，时效工序可以包括一制造环境(例如，一个工序环境)的过程，能够在湿法清洗工序之后进行处理工序。
[0088]用户接口单元300可以被连接到控制器200。用户可以通过用户接口单元300与控制器200进行通信，以控制基板处理装置100。用户可以通过用户接口单元300向控制器200提供各种控制命令，从而控制基板处理装置100的操作。特别地，用户可以向用户接口单元300输入关于检查工序的闲置时间设定数据，并且所输入的数据可以通过用户接口单元300被发送到控制器200。
[0089]在一实施方式中，用户可以通过用户接口单元300另外设定检查工序(例如，一时效方案)，以使所述检查工序(例如，时效方案)满足在一相应处理室中进行的处理工序的环境。换句话说，当进行不同的处理工序的处理室中的一个被关闭时，可以执行满足被关闭的处理室的处理环境的检查工序。此外，用户可以通过用户接口单元300选择至少一个处理室，以对所选择的处理室进行检查工序。换言之，可以自由地管理处理室的检查工序。
[0090]此外，可以设置虚拟方案的参数以针对一相应处理工序调节处理室的环境。(根据缺省类型和处理类型另外设定数据。当进行未设定的处理类型的一工序时，可以缺省类型进行相应的工序，或者可以待命。)
[0091]当使用测试基板进行时效工序时，用户接口单元300可以提供相应测试基板的作业历史功能。换句话说，由于与一般基板处理工序相同的作业历史被提供给时效工序中的测试基板，可以很容易地追踪在在时效工序中出现的错误。
[0092]图4和5是示出了根据本发明概念的修改实施方式的基板处理装置的平面图。
[0093]图4和5中的每个基板处理装置100可以包括在图2中所示出的转位单元110，装载锁闭室120，传送单元130，连接到传送单元130的四个处理室150，测试接收容器20，控制器200，和用户接口单元300。在图4和5所示的各基板处理的装置100中，部件110，120，130，150，20，200和300的功能可以与以上描述的相同。
[0094]然而，在图4所示的基板处理装置100中，测试接收容器20可以被提供在转位单元I1的一侧。被提供在转位单元110的一侧的测试接收容器20可以具有多插槽结构。测试接收容器20的用于接收测试基板的插槽的最大数量可以是50。此外，测试接收容器20可以被配置为选择性地接收测试基板或必要时接收处理基板。可替代地，测试接收容器20的插槽中的一个或一些可以被用作在其中接收测试基板的虚拟插槽，且测试接收容器20的插槽中的另外一个或一些可以被用作在其中接收处理基板的处理插槽。
[0095]另一方面，在图5所示的基板处理装置100中，测试接收容器20可以被布置在第二传送室132b的一侧。被布置在第二传送室132b的一侧的测试接收容器20可以为一具有多个插槽的虚拟室的形状。
[0096]如上所述，测试接收容器20可以被布置在除第三装载端口 114c外的各种位置中的一个。图4和5的基板处理装置100的检查或时效方法可以与参考图1至3的描述相同。
[0097]根据本发明概念的一实施方式，由于是在预定载体到达基板处理装置之前将测试基板装载到处理室进彳丁时效工序，可以提尚生广率。
[0098]根据本发明概念的一实施方式，可以减少时效工序和基板装载开始时间之间的时间损耗。
[0099]根据本发明概念的一实施方式，由于对测试基板的累积使用进行管理，能够最小化或防止在基板处理装置中由于长时间使用的测试基板的破损而引起的运转率的下降。
[0100]根据本发明概念的一实施方式，基板处理装置可以连接到分配自动化装置，因此可以在装置的闲置期间在将测试基板装载到处理室的状态下进行一预处理。因此，可以提高生产率。
[0101]尽管已参考示例性实施方式对本发明的概念进行了描述，但对本领域技术人员来说，不脱离本发明概念的精神和范围可作出的各种变化和修改将是显而易见的。因此，应当理解，上述实施方式不是限制性的，而是说明性的。因此，本发明的概念的范围是由权利要求书及其等同物的最宽泛的可允许的解释来确定，并且不应限于前面的描述。
【主权项】
1.一种基板处理系统，包括: 基板处理装置，进行行半导体单元制造工序； 分配自动化装置，将接收处理基板的基板接收容器传送到基板处理装置；和 主计算机，输出传送控制信号，指示所述分配自动化装置以基板接受容器被平稳地传送到基板处理装置的方式传送所述基板接收容器，其中所述主计算机将预先信息提供到基板处理装置，使得在所述基板接收容器到达基板处理装置之前，在基板处理装置中使用测试基板进行自动检查工序。2.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，所述基板处理装置包括:具有来自主计算机的预先信息的控制器，并且 其中，所述控制器通过所述预先信息控制基板处理装置，使得基板处理装置的处理室被关闭且测试基板被装载入关闭的处理室以在分配自动化装置传送的基板接收容器到达之前的闲置时间进行检查工序。3.一种基板处理装置的时效方法，所述基板处理装置包括接收测试基板的测试接收容器，所述方法包括: 从主计算机接收待装载到基板处理装置的装载端口上的预定基板接收容器的预先信息；和 借助预先信息将测试基板装载到处理室内，以进行检查工序。4.根据权利要求3所述的方法，其中所述预先信息包括:装载在预定基板接收容器内的基板的处理方案；以及在预定基板接收容器到达装载端口上的时间。5.根据权利要求3或4所述的方法，其中将测试基板装载到处理室内以进行检查工序包括， 制造环境，在其中将在处理室内在预定基板接收容器到达装载端口上之前对装载在所述预定基板接收容器内的基板进行处理。6.根据权利要求5所述的方法，其中将测试基板装载到处理室内以进行检查工序包括， 如果检查工序的结束时间早于预定基板接收容器的预计到达时间，则调整检查工序的开始时间，以将检查工序的结束时间设定为预定基板接收容器的预计到达时间。
【专利摘要】根据本发明概念的基板处理装置的时效方法可以包括：从主计算机接收一待装载到基板处理装置的装载端口上的预定基板接受容器的预先信息；以及借助预先信息将测试基板装载到处理室内，以进行检查工序。
【IPC分类】G05B19/00, H01L21/67
【公开号】CN105575853
【申请号】CN201510727589
【发明人】林成珉
【申请人】细美事有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2015年10月30日
【公告号】US20160128203