一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体的制作方法

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一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体的制作方法

本实用新型属于光电等离子清洗技术领域,尤其涉及一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体。



背景技术:

目前,业界常见的真空等离子清洗机采用的电极为多层,水平式,两层相邻电极之间没有任何放电监测手段,这种结构的电极在处理类似于手机摄像模组(CCM)、电路板(PCB/FPC)、IC载板(IC substrate)等其它产品时,如不能及时发现放电状态是否正常,则会导致无效处理产品的产生,无法保证产品处理效果的一致性,增加不良率。



技术实现要素:

针对现有的平行电极之间没有放电检测手段,容易出现废品的不足,本实用新型提供一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体,随时监控两层电极之间等离子放电状态是否正常,当两层电极之间出现不放电或放电弱的情况时,控制模块可输出报警信号,实现设备自动报警,防止无效处理产品的产生,保证产品处理效果,操作简单,降低不良率。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:

本实用新型的一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体,包括真空箱体,在真空箱体内部的水平或垂直方向上平行的设置多层电极板,相邻的两层电极板极性相反;在相邻的两层电极板之间的真空箱体的侧壁上开有通孔,在真空箱体的外侧壁上安装有与通孔相连通的密封连接装置,导光棒穿过密封连接装置;导光棒一端位于真空箱体内,一端位于真空箱体外并与光控开关上的光敏电阻相连。

进一步的,所述导光棒为石英材质。

进一步的,所述控制模块的输出端口与总信号输出接头连接。

进一步的,所述电极板采用铝制电极板。

进一步的,在真空箱体外部设有保护罩将光控开关、密封连接装置、导光棒以及光控开关上的光敏电阻均罩在内。

进一步的,所述真空箱体为铝制。

本实用新型的有益效果是:能随时监控两层电极之间等离子放电状态是否正常,当两层电极之间出现不放电或放电弱的情况时,光控开关可输出开关信号到PLC,实现设备自动报警,防止无效处理产品的产生,保证产品处理效果,操作简单,降低不良率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型的放电预警反馈模组安装示意图;

图3为本实用新型中的放电预警反馈模组结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述,以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定

如图1至图3所示,一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体,包括铝制真空箱体1,在真空箱体1内部的水平或垂直方向上平行的设置多层铝制电极板2,相邻的两层电极板2的极性相反,即一层作为阴极,另一层作为阳极;在对应(相邻)的每两层铝制电极板2中间的铝箱壁上开通孔,在真空箱体1外侧壁上安装有与通孔相连的密封连接装置5,导光棒3(导光棒可以采用石英或其他导光材料)穿过密封连接装置5,该密封连接装置5为定制的接头,为套筒状,套筒的内设有密封垫,石英导光棒3穿过密封垫与接头紧密配合,保证了真空箱体1的密封效果;石英导光棒3一端位于真空箱体1内,另一端伸出真空箱体1外部,该端与光控开关6上的光敏电阻4相连,光控开关6将光信号转换为开关信号输出,光控开关6的输出信号由总信号输出接头8连接至相对应的PLC反馈信号点,由光控开关6、密封连接装置5以及导光棒组成的放电预警反馈模组被一个保护罩7整体保护起来。

使用的时候,当两层电极2之间出现不放电或放电弱的情况时,辉光通过石英导光棒3把变化的光信号传给光敏电阻器4,当光信号不正常时(即真空箱体1内的放电非常弱或者不放电时)可通过光控开关6将开关信号输出到PLC,实现设备自动报警,提醒生产人员,防止无效处理产品的产生,保证产品处理效果,操作简单,降低不良率。

以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何不经过创造性劳动想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。

再多了解一些
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