一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体的制作方法

文档序号:13671681阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体,其特征在于:包括真空箱体(1),在真空箱体(1)内部的水平或垂直方向上平行的设置多层电极板(2),相邻的两层电极板(2)极性相反;在相邻的两层电极板(2)之间的真空箱体(1)的侧壁上开有通孔,在真空箱体(1)的外侧壁上安装有与通孔相连通的密封连接装置(5),导光棒(3)穿过密封连接装置(5);导光棒(3)一端位于真空箱体(1)内,一端位于真空箱体(1)外并与光控开关(6)上的光敏电阻(4)相连。

2.根据权利要求1所述的一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体,其特征在于:所述导光棒(3)为石英材质。

3.根据权利要求1所述的一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体,其特征在于:所述光控开关(6)的输出端口与总信号输出接头(8)连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体,其特征在于:所述电极板(2)采用铝制电极板。

5.根据权利要求1所述的一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体,其特征在于:在真空箱体(1)外部设有保护罩(7)将光控开关(6)、密封连装置(5)、导光棒(3)以及光控开关(6)上的光敏电阻(4)均罩在内。

6.根据权利要求1所述的一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体,其特征在于:所述真空箱体(1)为铝制。

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