[0037]在该基板搬运装置10中，安装元件的基板B—边被引导导轨13a、13b引导一边被传送带沿X轴方向搬运至元件安装位置。被搬运至元件安装位置的基板B被夹紧装置定位并夹紧于元件安装位置。
[0038]如图1所示，元件安装装置40具有引导导轨42、Y轴滑动件43、Y轴伺服马达(未图示)、Χ轴滑动件45、Χ轴伺服马达(未图示)、元件安装头48以及吸嘴47(图11所示)。
[0039]Υ机器人由引导导轨42、Υ轴滑动件43以及Υ轴伺服马达构成。引导导轨42沿Υ方向装架于基台41上且配设于基板搬运装置10的上方。Υ轴滑动件43被设为能够沿引导导轨42在Υ轴方向上移动。Υ轴滑动件43通过具有连结于Υ轴伺服马达的输出轴的滚珠丝杠的滚珠丝杠机构而在Υ轴方向上移动。
[0040]X机器人由X轴滑动件45和X轴伺服马达构成。X轴滑动件45被设为能够沿X轴方向在Υ轴滑动件43上移动。在Υ轴滑动件43设有X轴伺服马达。X轴滑动件45通过连结于该X轴伺服马达的输出轴的省略图示的滚珠丝杠机构而在X轴方向上移动。
[0041 ]在X轴滑动件45设有元件安装头48。元件安装头48能够装卸地保持吸嘴47(图11所示)。吸嘴47吸附被供给至供给位置21a的元件，并将该元件安装于被基板搬运装置10定位于元件安装位置的基板B上。
[0042](供料器)
[0043]以下，使用图4?图8，说明本实施方式的供料器21。此外，在以下的说明中，“搬运方向”是指载带900的搬运方向。另外，在图4?图8中，将纸面右侧设为前方(搬运方向下游侧)，将纸面左侧设为后方(搬运方向上游侧)。另外，在图4?图6中，将纸面上方设为上方，将纸面下方设为下方。
[0044]供料器21主要由主体21b、第一伺服马达22、第二伺服马达23、第一齿轮24、第二齿轮25、第三齿轮26、第四齿轮27、上浮防止构件28、扭簧29、止动构件31、上游侧按压构件32、下游侧按压构件33、第一链轮61、第二链轮62、第三链轮63、第四链轮64、导轨38、控制部39以及带剥离单元70构成。
[0045]供料器21自其前方侧插入并安装于插口20a。主体21b为扁平的箱形。此外，图4?图6是去除主体21b的侧壁而能够识别供料器21的内部构造的图。
[0046]导轨38被设置为从主体21b的后部的插入部21d起至前部的供给位置21a。导轨38的上表面构成载带900的搬运路径。导轨38的前部38a形成为水平。在本实施方式中，导轨38以从其后部至前部38a的近前缓缓地升高的方式倾斜。此外，虽未图示，在导轨38的两侧，设有以比载带900的宽度尺寸稍大的尺寸分离的引导构件。
[0047]在导轨38的前部38a的下方的主体21b处、即与主体21b的供给位置21a相邻接的位置，以从前方朝向后方(从搬运方向下游侧朝向上游侧)的方式分别能够旋转地设置第一链轮61以及第二链轮62。在导轨38的后部的下方的主体21b处，以从前方朝向后方的方式分别能够旋转地设置第三链轮63以及第四链轮64。在第一链轮61、第二链轮62以及第三链轮63的各自的外周，隔开一定角度地形成有第一卡合突起61a、第二卡合突起62a、第三卡合突起63a。在第四链轮64的外周的一部分，隔开一定角度地设有第四卡合突起64a。各个卡合突起61a?64a与载带900的卡合孔901b卡合。
[0048]此外，如图7(A)、(B)所示，在搬运方向上，第二卡合突起62a的齿厚尺寸b被设定为比第一卡合突起61a的齿厚尺寸a小。此外，在本实施方式中，如图8所示，第一卡合突起61a的齿宽尺寸c与第二卡合突起62a的齿宽尺寸d形成为相同。此外，齿宽尺寸是与齿厚尺寸正交的方向上的卡合突起61a、62a的尺寸。这样，第二卡合突起62a的截面积被设定为比第一卡合突起61a的截面积小。
[0049]如图8(A)所示，在俯视第一卡合突起61a的情况下，第一卡合突起61a的四角与卡合孔901b的内周面接触。由此，通过与卡合孔901b可靠地卡合的第一卡合突起61a，被收纳于载带900的元件被准确地向供给位置21a定位并供给。另一方面，如图8(B)所示，在俯视第二卡合突起62a的情况下，在第二卡合突起62a与卡合孔901b之间具有间隙，第二卡合突起62a的四角不与卡合孔901b的内周面接触。
[0050]此外，第三卡合突起63a以及第四卡合突起64a形成为与第一卡合突起61a相同的形状。因此，在俯视第三卡合突起63a以及第四卡合突起64a的情况下，第三卡合突起63a以及第四卡合突起64a的四角与卡合孔901b的内周面接触。
[0051 ]在比第一链轮61?第四链轮64的外周部靠内侧的位置，分别形成有第一链轮齿轮61b、第二链轮齿轮62b、第三链轮齿轮63b以及第四链轮齿轮64b。此外，在导轨38的各链轮61?64的上方设有窗孔38b(图5所示)。从该窗孔38b起，各卡合突起61a?64a从导轨38上突出。
[0052]第一伺服马达22是使第一链轮61以及第二链轮62旋转的伺服马达。在第一伺服马达22的旋转轴22a设有第一驱动齿轮22b。第一齿轮24能够旋转地设于第一链轮61以及第二链轮62的下方的主体21b。在第一齿轮24处，在外周形成有与第一驱动齿轮22b啮合的第一外侧齿轮24a。在比第一齿轮24的外周靠内侧的位置，形成有第一内侧齿轮24b。
[0053]第二齿轮25能够旋转地设于第一链轮61以及第二链轮62与第一齿轮24之间的主体21b。第二齿轮25与第一链轮齿轮61b、第二链轮齿轮62b以及第一内侧齿轮24b啮合。根据这样的结构，第一伺服马达22的旋转被减速并被向第一链轮61以及第二链轮62传递，从而使第一链轮61以及第二链轮62同步地旋转。
[0054]第二伺服马达23是使第三链轮63以及第四链轮64旋转的伺服马达。在第二伺服马达23的旋转轴23a设有第二驱动齿轮23b。第三齿轮26能够旋转地设于第三链轮63以及第四链轮64的下方的主体21b。在第三齿轮26处，在外周形成有与第二驱动齿轮23b啮合的第三外侧齿轮26a。在比第三齿轮26的外周靠内侧的位置形成有第三内侧齿轮26b。
[0055]第四齿轮27能够旋转地设于第三链轮63以及第四链轮64与第三齿轮26之间的主体2 lb。第四齿轮27与第三链轮齿轮63b、第四链轮齿轮64b以及第三内侧齿轮26b啮合。根据这样的结构，第二伺服马达23的旋转被减速并被向第三链轮63以及第四链轮64传递，从而使第三链轮63以及第四链轮64同步地旋转。
[0056]下游侧按压构件33为块状，在导轨38后部的上方设于主体21b的插入部21d。下游侧按压构件33经由轴34-1以能够在上下方向上移动的方式安装于第一支撑构件30-1以及第二支撑构件30-2，该第一支撑构件30-1以及第二支撑构件30-2安装于主体21b。在轴34-1上安装有将下游侧按压构件33向下方施力的螺旋弹簧35-1。在下游侧按压构件33的前方形成有在第三链轮63上与导轨38抵接的按压部33d。根据这样的结构，按压部33d相对于导轨38靠近、离开。如图5所示，在按压部33d的后端下部，以缺口的方式形成有进入部33b。
[0057]上游侧按压构件32为块状，沿导轨38的后部上表面而设置。上游侧按压构件32经由轴34-2以能够在上下方向上移动的方式安装于下游侧按压构件33的后部的下方。上游侧按压构件32与按压部33d的后方相邻。在轴34-2上安装有将上游侧按压构件32向下方施力的螺旋弹簧35-2。根据这样的结构，上游侧按压构件32相对于导轨38靠近、离开。在上游侧按压构件32的后端的下部，以缺口的方式形成有插入凹部32a。
[0058]如图5所示，止动构件31为块状，被设置为与上游侧按压构件32的下游侧相邻。在止动构件31中，形成于其中间部分的轴支撑部31b被下游侧按压构件33轴支撑而能够摆动。在止动构件31的比轴支撑部31b靠前方的下部形成有朝向下方突出形成的抵接部31a。止动