检测元件、锁定检测装置、基板及检测元件的制造方法与流程

文档序号:11892692阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种检测元件,具备:多个光电转换元件,输出与入射光相应的电信号;及多个滤波电路,与多个光电转换元件分别对应地设置,或者与分别包含多个光电转换元件中的规定个数的光电转换元件的多个元件组分别对应地设置,从由多个光电转换元件输出的电信号中,使具有规定频率的信号衰减。在上述检测元件中,多个光电转换元件可以设于第一基板,多个滤波电路可以设于层叠于第一基板的第二基板。

技术研发人员:猿渡修;青木滋;冈本和也;菅谷功;冈田政志;大木裕史
受保护的技术使用者:株式会社尼康
文档号码:201580018291
技术研发日:2015.03.31
技术公布日:2016.11.16

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