专利名称：氧化锌单晶的制造方法
技术领域：
本发明涉及一种氧化锌单晶的制造方法，更详细而言，涉及一种 利用从熔液的提拉法的氧化锌单晶的制造方法。
背景技术：
氧化锌(ZnO)可应用于热电元件、压电元件、气体传感器、透明导 电膜等，为具有禁带宽度3.4eV的直接跃迁型半导体，作为蓝色至紫 外区域的LED以外的光电子器件用材料是有希望的。
因此，目前的水热合成法、助熔剂法不仅制造大型的单晶困难， 而且，水热合成法需要产生高温高压的特殊的制造装置，在成本上有 缺点。另外，也提出了分子束外延法等。该方法适于单晶薄膜的制造， 但不适合大型的单晶块体的制造。其中，提出了将氧化硼和氧化钒或 氧化钼用作溶剂的熔液提拉法(特开2002 - 193698号公报、特开2003 - 2790号公报)。
在本申请说明书中，所谓"溶质"，表示氧化锌。其次，所谓"溶 剂"，是用于使上述溶质溶解的物质，表示含有1种以上氧化物或氟 化物、氯化物等卣化物等化合物的物质。另外，所谓"熔液"，表示 在上述溶剂中溶解有溶质的状态，根据情况，也包含溶解了的溶质的
一部分析出、固体和液体共存的状态。为了与熔液区别，将该情况的 液体部分记作"液相"。具体而言，在特开2002 - 193698号公报中，作为溶质的氧化锌和 作为溶剂的氧化钒及/或氧化硼混合并加热熔解后，使熔液降温，在籽 晶上或基板上使氧化锌Zn0的微结晶析出、成长。此时，与熔液温度 相比，籽晶与熔液接触的部分的温度降低数十'C。其理由是因为从安 装有籽晶的棒放热。由此，在籽晶上选择性地析出氧化锌的结晶。在 特开2003 - 2790号公报中，将作为溶质的氧化锌和作为溶剂的氧化钼 混合并加热熔解后，使熔液保持在恒温或使其降温，在籽晶上或基板 上使氧化锌ZnO的微结晶析出、成长。
发明内容
利用熔液提拉法可以制造大型的氧化锌单晶，但期望提高单晶的 质量，另外将单晶进一步大型化，可以进行连续生产，进一步提高生 产率。
在熔液提拉法中，溶剂在用熔液提拉法从熔液提拉氧化锌单晶时， 如果使用包含由1种或2种以上的化合物的具有高于氧化锌的密度的 平均密度的溶剂，可以制造高质量的氧化锌单晶，而且，如果将与提 拉的氧化锌同量的氧化锌原料供给熔液，可以连续地制造氧化锌单晶， 可以进一步延长提拉的氧化锌单晶，也可以使生产率提高，基于这样 的想法，本发明提供下述方法。
(1) 一种氧化锌单晶的制造方法，其特征在于，从可以溶解氧化锌 且在熔液中具有高于氧化锌的平均密度的溶剂、和氧化锌的混合熔液 使氧化锌的结晶析出于籽晶上。
(2) 如上述(1)所述的氧化锌单晶的制造方法，其是从与可以溶解 作为溶质的氧化锌的溶剂的混合熔液使氧化锌的结晶析出于籽晶上， 从熔液提拉氧化锌的单晶，同时进行制造的方法，其特征在于，在提 拉时，供给与提拉的氧化锌同量的氧化锌原料，连续地提拉氧化锌单 晶。
(3) 如上述(2)所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于，从熔 液提拉特定量的氧化锌的结晶后，将与该提拉的氧化锌同量的氧化锌原料供给熔液，其后再反复进行从熔液提拉氧化锌的结晶的操作，且 氧化锌的提拉量设定为结晶附近的熔液的組成不成为以溶剂和氧化锌 为成分的体系的相图中的液相线之上的仅液相组成的量。
(4) 如上迷(1) ~ (3)所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于， 将氧化锌原料进行预热而供给。
(5) 如上述(4)所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于，预热 温度与熔液的温度之差为IOO'C以内。
(6) 如上述(2) ~ (5)所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于， 在熔液的结晶提拉部分和氧化锌原料的供给部之间设置堤坝(堰)而 供给氧化锌原料时，使在结晶提拉部分的熔液中不产生混乱。
(7) 如上述(1) ~ (6)所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于， 上述溶剂为与作为溶质的氧化锌形成共晶体系状态图的化合物，由共 晶点的组成按氧化锌的浓度计为30摩尔％~99. 9摩尔y。的范围、且共 晶温度为700°C ~ 172(TC的范围的化合物中的一种以上形成的溶剂。
(8) 如上述(1) ~ (7)所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于， 作为上述溶剂，使用与作为溶质的氧化锌形成共晶体系状态图的化合 物，固体状态下的平均密度(于室温)为5.6g/ci^以上的化合物。 (9) 如上述(1) ~ (8)所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于， 构成上述溶剂的化合物在氧化物或氟化物、氯化物等闺化物中含有1 种以上。
(10) 如上述(I) ~ (9)所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于， 氧化锌和构成上述溶剂的化合物的混合比为99.9摩尔％~30摩尔 °/ : 0. 1摩尔％~ 70摩尔％，各种溶剂之间的混合比分别为100摩尔％~0 摩尔％。
(11) 如上述(l) ~ (IO)所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在 于，构成上述溶剂的化合物含有氧化鴒(冊3)、氟化铅(PbF2)、氯化铅 (PbCh)、氧化铌(Nb20s)、 一氧化钴(CoO)、 二氧化硅(Si02)、氧化钛 (Ti02)、氧化铝(A1力3)、四硼酸钠(Na2B40 )中的一种以上。
图l是表示本发明的氧化锌单晶连续提拉装置的实例； 图2是用于说明本发明的氧化锌单晶的制造步骤的状态图。
具体实施例方式
本发明为如下方法在熔液提拉法中，溶剂在用熔液提拉法从熔 液提拉氧化锌单晶时，使用具有高于氧化锌的密度的平均密度的溶剂， 制造高质量的氧化锌单晶。而且，为如下方法使氧化锌的结晶从与 可以溶解作为溶质的氧化锌的溶剂的混合熔液析出于籽晶上，从熔液
提拉析出于籽晶上的氧化锌的单晶，使氧化锌的单晶成长，且将与提 拉的氧化锌同量的氧化锌原料供给熔液，由此连续地制造氧化锌单晶。 优选地是，使用由具有高于氧化锌的密度的平均密度的化合物形成的 溶剂，另外将追加供给熔液的氧化锌原料进行预热而供给。由于连续 地提拉氧化锌单晶，因此可以使氧化锌单晶的尺寸变大，还可使生产 效率提高。
原料的氧化锌的形态等没有特别限定，只要可以连续地供给熔液 即可。例如，可以将粉末状、用喷雾干燥机等将粉末制成颗粒状的氧 化锌、烧结粉末而制成粒料状的氧化锌、或成形为棒状的氧化锌等用 作原料。
在本发明中，作为溶剂，使用具有高于氧化锌的密度的平均密度 的溶剂。溶剂可以由1种或2种以上的化合物形成，但由其1种或2 种以上的化合物形成的溶剂的平均密度高于氧化锌的密度。当使用溶 剂的密度高于氧化锌的密度的熔液时，在熔液上部氧化锌Zn0容易偏 析，因此，得到如下效果氧化锌结晶的质量提高，而且，对提拉产 生可有利地作用，可提高提拉速度。
为了制作可以溶解氧化锌且在熔液中具有高于氧化锌的平均密度 的包含1种或2种以上的化合物的溶剂，简便来讲，由于氧化锌Zn0 的密度(于室温)为5. 6g/cii^以上，因此，可以使用含有一种以上与作 为溶质的氧化锌形成共晶体系状态图的化合物、密度(于室温)为5. 6g/cn^以上的化合物的溶剂。
构成溶剂的化合物只要可以溶解作为溶质的氧化锌、可以从与溶 质的混合熔液使氧化锌的结晶析出于籽晶上的溶剂，就没有限定，例 如可以含有氧化鵠(W03)、氧化铝(A1203)、氧化钼(Mo03)、氧化钛(Ti02)、 氟化铅(PbF》、氯化铅(PbCU、氧化铌(NbA)、 一氧化钴(CoO)、四 氧化三钴(C(h04)、 一氧化锰(MnO)、 二氧化锰(MnO》、三氧化二锰 (Mn203)、四氧化三锰(Mri304)中的一种或两种以上。优选含有氧化鴒 (W03)、氟化铅(PbF2)、氯化铅(PbCl2)、氧化铌(N跳)、 一氧化钴(CoO)、 二氧化硅(SiO》、氧化钛(Ti02)、氧化铝(AhO》、四硼酸钠(Na2B407) 中的一种以上。特别是由于氧化钨(W03)、氟化铅(PbF》、氯化铅 (PbCU、氧化铌(Nb20》、 一氧化钴(CoO)的共晶温度低，因此，制造 上有利，优选。
含有两种以上时，各种溶剂之间的混合比可以分别为100摩尔％~ 0摩尔％，优选各自为0. 001摩尔％~ 99. 999摩尔％。
溶剂优选为由与作为溶质的氧化锌形成共晶体系状态图的化合 物，以共晶点的组成按氧化锌的浓度计为5摩尔％~ 99. 9摩尔％的范围、 且共晶温度为700°C ~ 1720'C的范围的化合物中的一种以上形成的溶 剂。使用这种溶剂时，可以控制液相线的斜率(傾$)，因此，增加 可用提拉法回收的单晶量，或制造时的控制性提高。
构成溶剂的化合物可以在氧化物或氟化物、氯化物等卣化物中含 有2种以上。通过组合这种溶剂，具有如下效果更容易控制液相线 的斜率，增加可用提拉法回收的单晶量，或制造时的控制性提高。
作为原料的氧化锌和构成溶剂的化合物的混合比优选为99.9摩 尔％~ 30摩尔％: 0. 1摩尔％~ 70摩尔％，各种溶剂之间的混合比分别可 以为100摩尔％~ 0摩尔％。通过组合溶剂，可以控制液相线的斜率， 因此，增加可用提拉法回收的单晶量，或制造时的控制性提高，通过 氧化锌和构成溶剂的化合物的混合比为上述范围，只要在该范围，就 可以良好地提拉。例如，溶剂的量大于99. 9摩尔％时，熔液的熔点升 高，原料的氧化锌升华、不能生成熔液，因此，单晶的提拉困难。另一方面，溶剂的量小于30摩尔％时，超过共晶组成、氧化锌不析出。
已知有Zn0因不同种元素的混入而显著改变特性，将Li、 Na、 K、 Cu、 Ag、 N、 P、 As、 Cr、 Al、 Bi、 Sb、 Co、 Fe、 Ni、 Ti、 Mn、 V、 Pr
进行混合数y。以下，有p型半导体化、磁性半导体、导电率的控制、变 阻器等的应用。
在本发明中，从以氧化锌和溶剂为基本的构成溶液在Zn0或晶格 常数及熔点与ZnO接近的籽晶上连续地析出Zn0单晶，使其成长，制 造ZnO单晶。
含有氧化锌和溶剂的浴进行加热并在液相线上的温度下使其熔解 而形成熔液后，使其降温，在熔液中析出氧化锌，使其在籽晶上结晶 化，提拉结晶化了的氧化锌单晶，使单晶成长。该提拉法本身为公知 的，可以与例如特开2002 - 193698号公报及特开2003 - 2790号公报 中记载的方法同样。
作为其它的制造条件，不应该限定，但提拉速度优选为0. 5~ 50mm/天，更优选0. 5 ~ 10mm/天，旋转速度优选0~ 700rpm、更优选0~ 400rpm，熔液的降温速度优选0. 5 ~ 10'C/小时，更优选O. 5 5。C/小 时。如果考虑结晶的质量，优选提拉速度慢的一方，如果考虑制造速 度，优选快的一方。只要为上述范围，就可以不影响结晶的质量而制 造氧化锌的结晶。为了摆脱用于搅拌熔液的效果和不需要的溶剂，旋 转速度使用如上所述的宽的旋转数。为了摆脱不需要的溶剂，优选尽 可能高的旋转数，但旋转过高时，发生熔液的混乱，给结晶成长带来 不良影响，因此，优选如上所述的范围。从结晶的质量和生产率的观 点考虑，冷却速度优选上述范围。
在本发明中，在提拉氧化锌单晶而单晶成长，同时氧化锌从浴组 成减少、氧化锌不析出之前，将与提拉的氧化锌单晶的量同量的氧化 锌原料供给浴。
提拉的氧化锌单晶的量的测定方法及向氧化锌原料的浴的供给方 法没有特别限定。例如，可以用称重传感器(load cell)测定提拉的 氧化锌单晶的量。氧化锌原料向浴的供给不需要与氧化锌单晶的提拉量完全连续地 同步，提拉特定量的氧化锌单晶后，可以将与其提拉量同量的氧化锌 原料供给浴，再反复进行提拉特定量的氧化锌单晶的操作。后者的供 给方法具有将熔液的组成均匀化(稳定化)、容易进行提拉的优点。但 是，在原料供给前氧化锌单晶的提拉量过多时，熔液组成成为液相线 的上部的组成，固相不存在，仅为液相，不能提拉，因此，设定为其 以下的量的提拉。另外， 一次供给的氧化锌原料的量过多时，有可能 浴的温度急剧下降，使结晶的质量降低，因此，优选以不使浴温急剧 下降的量供给。与提拉量同量的氧化锌原料的供给也不需要每次供给 都是精密的，只要控制在可以在整个工艺中连续制造的范围内即可。
根据提拉量供给的氧化锌原料优选进行预热而供给。供给的氧化 锌原料为低温时，有可能熔液的温度形成不均，使结晶质量降低，但 通过将氧化锌原料预热而供给，在防止熔液的温度不均、使结晶质量 稳定方面优选。氧化锌原料的预热温度优选与熔液的温度相同，但高 于熔液的温度也优选。只要为低于氧化锌原料的升华温度的温度即可。 另外，即使为低于熔液的温度，如果进行预热，也可得到预热的效果。
只要预热温度与熔液的温度差为IO(TC以内就没问题，进一步优选为 5(TC以内。
根据提拉量供给的氧化锌原料可以在从结晶提拉部尽可能离开的 位置尽可能平静地供给，以使在熔液、尤其是结晶提拉部分的熔液中 不产生混乱。如图1所示，可以在氧化锌原料的供给部和提拉部之间 设置堤坝(坩埚8)，使由原料供给产生的原料供给部的熔液的混乱平 静下来的熔液导入到结晶提拉部(例如介由堤坝下的狭道)。
根据本发明已确认，使用包含具有高于氧化锌的密度的平均密度 的化合物的溶剂时，可以制造高质量的氧化锌结晶；通过用图2所示 的后续步骤反复进行提拉，可以用提拉方法连续地制造长的单晶，而 且，通过将密度比氧化锌还大的化合物用作溶剂，可以加快提拉速度。
实施例
(实施例1)表示利用连续提拉法制造氧化锌单晶的具体例。图l表示氧化锌
单晶连续提拉装置。图1中，l为氧化铝支承棒，2为铂支承棒，3为 隔热羊毛(wool)， 4为高频加热线圏，5为铂-铑热电偶，6为放射 温度计，7为铂外坩埚，8为铂内坩埚，9为熔液，IO为籽晶，11为 成长的单晶，12为氧化锌(原料)，13为原料氧化锌供给装置，14为 称重传感器，15为电动机。
按照图2所示的制造步骤进行说明。用铂线将籽晶10固定在铂支 承棒2上。将其进一步用铂线固定在氧化铝支承棒1上。由此，可以 避免熔液9和氧化铝支承棒1接触而反应。将氧化锌(密度5. 6g/cm3): 氧化钨(密度7. 16g/cm3)按摩尔y。计以71. 5: 28. 5混合，将其500g填 充在兼备口径100mm、高度70mm的发热体的铂坩埚7中。通过利用高 频加热线圈4的感应加热方式将其加热至约135(TC，使原料均匀地熔 融后，冷却至1300'C(图2中、1 — 2)。使作为籽晶的氧化锌单晶10 接触于熔液表面。使熔液緩慢地冷却时，从温度最低的籽晶和熔液的 界面析出氧化锌的结晶。通过将这样成长的结晶緩慢地提拉，可以得 到单晶。但是，在该方法中，图2中从2到3温度发生变化，提拉氧 化锌的单晶，结果熔液的组成从2变化到3，。此时，提拉量过多时， 熔液组成形成液相线的组成(3'，)，成为氧化锌的固相不共存的仅液 相的熔液，不能继续提拉，因此，需要控制提拉量，以使熔液组成不 成为液相线的组成。如果熔液组成为3，，则由原料氧化锌供给装置 13补充与用称重传感器14测量的提拉了的单晶的重量同量的原料氧 化锌，将熔液的组成从3，返回到3，继续提拉。在高于共晶温度5 10。C的温度下停止该操作，将熔液组成返回到5，再次使熔液温度为2， 继续进行提拉。通过继续该循环，可以在提拉方向连续制造长的单晶。 作为此时的其它制造条件，提拉速度为1 5mm/天，旋转速度为0~ 400rpm，熔液的降温速度为l-l(TC/小时。得到的结晶为20 x 20 x 40mm的大小，可以10天制造杂质少的大致透明的氧化锌单晶。
(实施例2)
使用与实施例l相同的装置，利用连续提拉法制造氧化锌单晶。将氧化锌氧化鴒(密度7. 16g/cm。按摩尔。/。计以71.5:28.5混合，填 充在铂坩埚7中，加热至1350。C使其充分熔融后，冷却至1250°C，在 1250。C下保持的状态下开始提拉。在温度一定的条件下进行提拉时， 用称重传感器测定提拉的单晶的重量，熔液组成控制在不超过液相线 的组成，从原料氧化锌供给装置13断断续续地补充与提拉的单晶的重 量相同重量的原料氧化锌，同时继续提拉。提拉量多时，补充量增多， 在原料补充时熔液的温度急剧下降，给单晶的培育带来不良影响，因 此，优选以尽可能少量控制提拉量。在该实例中，单晶的重量每增加 0. 1 ~ 0. 5g，以使得熔液温度不急剧变化地填充原料氧化锌。作为此时 的制造条件，提拉速度为1 5mm/天，旋转速度为0~ 400rpm。得到的 氧化锌单晶为20 x 20 x 35mm的大小，可以IO天制造杂质少的淡黄色 的氧化锌单晶。 (实施例3)
使用与实施例l相同的装置，利用连续提拉法制造氧化锌单晶。 将氧化锌氧化铌(密度5. 9g/cm》按摩尔。/o计以84. 6: 15. 4混合，填 充在铂坩埚7中，加热至1450。C使其充分熔融后，冷却至1400°C，开 始提拉。作为此时的制造条件，提拉速度为1 5mm/天，旋转速度为0~ 400rpm，熔液的降温速度为l-10'C/小时。得到的氧化锌单晶为20 x 20 x 35mm的大小，可以10天制造杂质少的淡黄色的氧化锌单晶。
(实施例4)
使用与实施例l相同的装置，利用连续提拉法制造氧化锌单晶。 将氧化锌氟化铅(密度8.4g/cm"按摩尔。/。计以25:75混合，填充在 铂坩埚7中，加热至120(TC使其充分熔融后，冷却至IIO(TC，开始提 拉。作为此时的制造条件，提拉速度为1 5mm/天，旋转速度为0~ 400rpm，熔液的降温速度为1~10匸/小时。得到的氧化锌单晶为20 x 20 x 35mm的大小，可以10天制造杂质少的大致透明的氧化锌单晶。
(实施例5)
使用与实施例l相同的装置，利用连续提拉法制造氧化锌单晶。 将氧化锌氧化钨(密度7.16g/cm":四硼酸钠(密度2. 36g/cm3)按摩尔°/。计以70:24:6混合。该组成的氧化鴒和四硼酸钠的平均密度为 6. 2g/cm3。将它们填充在铂坩埚7中，加热至1300。C使其充分熔融后， 冷却至1250'C，开始提拉。作为此时的制造条件，提拉速度为1 ~ 5mm/ 天，旋转速度为0~ 400rpm，熔液的降温速度为1 ~ IOC/小时。得到 的氧化锌单晶为20 x 20 x 35mm的大小，可以IO天制造杂质少的大致 透明的氧化锌单晶。 (实施例6)
使用与实施例l相同的装置，不供给原料氧化锌，而利用连续提 拉法制造氧化锌单晶。将氧化锌氧化钨(密度7. 16g/cm"按摩尔。/。计 以71. 5: 28. 5混合，填充在铂坩埚7中，加热至1350。C使其充分熔融 后，冷却至1300。C。作为此时的制造条件，提拉速度为1 5mm/天， 旋转速度为l~ 400rpm，熔液的降温速度为1 ~ IOC/小时。得到的氧 化锌单晶为20 x 20 x lmm的大小，可以制造杂质少的淡黄色的氧化锌
单晶。但是，不能进行2天以上的制造。 (比较例1)
使用与实施例l相同的装置，利用连续提拉法制造氧化锌单晶。 将氧化锌氧化钒(、05)(密度3. 4g/cm》按摩尔。/。计以85: 15混合，填 充在铂坩埚7中，加热至1300'C使其充分熔融后，暂时冷却至1280 。C,开始结晶制造。作为此时的制造条件，提拉速度为1~5腿/天， 旋转速度为l~ 400rpm,熔液的降温速度为1 ~ l(TC/小时。得到的氧 化锌单晶为8x8x提拉方向的长度20mm的大小，IO天制造杂质多的 深绿色的氧化锌单晶。
(比较例2)
使用与实施例l相同的装置，利用连续提拉法制造氧化锌单晶。 将氧化锌氧化钼(Mo03)(密度4. 7g/cm"按摩尔y。计以54:46混合， 填充在铂坩埚7中，加热至1200。C使其充分熔融后，暂时冷却至1150 "C,开始结晶制造。作为此时的制造条件，提拉速度为1~5咖/天， 旋转速度为l~ 400rpm，熔液的降温速度为1 ~ 10。C/小时。得到的氧 化锌单晶为9x9x提拉方向的长度15mm的大小，IO天制造杂质多的深蓝色的氧化锌单晶。
工业上的可应用性
氧化锌(ZnO)除热电元件、压电元件、气体传感器、透明导电膜等 之外，是希望作为蓝色至紫外域的LED以外的光电子装置用材料的材 料。根据本发明，可以提高通过熔液提拉法制造的大型的氧化锌单晶 的质量，而且将单晶进一步大型化，可以连续进行生产，并进一步提 高生产率，因此，本发明的工业上的有用性是显而易见的。
权利要求
1、一种氧化锌单晶的制造方法，其特征在于，从可以溶解氧化锌且在熔液中具有高于氧化锌的平均密度的溶剂、和氧化锌的混合熔液使氧化锌的结晶析出于籽晶上。
2、 如权利要求1所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于，从 上述混合熔液使氧化锌的结晶析出于籽晶上，从熔液提拉氧化锌的单 晶，在上述提拉时，供给与提拉的氧化锌同量的氧化锌原料，连续地提 拉氧化锌单晶。
3、 如权利要求2所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于，从 熔液提拉特定量的氧化锌的结晶后，将与该提拉的氧化锌同量的氧化锌 原料供给熔液，其后，再反复进行从熔液提拉氧化锌的结晶的操作，且 氧化锌的提拉量设定为结晶附近的熔液的组成不成为以溶剂和氧化锌 为成分的体系的相图中的液相线之上的仅液相组成的量。
4、 如权利要求1 ~ 3中任一项所述的氧化锌单晶的制造方法，其特 征在于，将氧化锌原料进行预热而供给。
5、 如权利要求4所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于，预 热温度与熔液的温度之差为IO(TC以内。
6、 如权利要求2或3所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于， 在熔液的结晶提拉部分和氧化锌原料的供给部之间设置堤坝而供给氧 化锌原料时，使在结晶提拉部分的熔液中不产生混乱。
7、 如权利要求1或2所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于， 上述溶剂为与作为溶质的氧化锌形成共晶体系状态图的化合物，为由共 晶点的组成按氧化锌的浓度计为30摩尔％~99.9摩尔％的范围、且共晶 温度为700'C ~ 1720r的范围的化合物中的一种以上形成的溶剂。
8、 如权利要求1或2所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于， 作为上述溶剂，使用与作为溶质的氧化锌形成共晶体系状态图的化合 物、固体状态下的平均密度(于室温)为5. 6g/cii^以上的化合物。
9、 如权利要求1或2所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于，构成上述溶剂的化合物在氧化物或氟化物、氯化物等卣化物中含有l种 以上。
10、 如权利要求1或2所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于， 氧化锌和构成上述溶剂的化合物的混合比为99. 9摩尔°/。~ 30摩尔％: 0. 1 摩尔°/。~70摩尔％，各种溶剂之间的混合比分別为100摩尔°/ ~ 0摩尔％。
11、 如权利要求1或2所述的氧化锌单晶的制造方法，其特征在于， 构成上述溶剂的化合物含有氧化钨(W03)、氟化铅(PbF2)、氯化铅 (PbCh)、氧化铌(Nb205)、 一氧化钴(CoO) 、 二氧化硅(Si02)、氧化钛 (Ti02)、氧化铝(Al20》、四硼酸钠(Na2B407)中的一种以上。
全文摘要
一种氧化锌单晶的制造方法，从可以溶解氧化锌且在熔液中具有高于氧化锌的平均密度的溶剂、和氧化锌的混合熔液使氧化锌的结晶析出于籽晶上。优选的是，在提拉时，供给与被提拉了的氧化锌同量的氧化锌原料，同时连续地提拉氧化锌单晶。可以连续地制造结晶质量优异、在提拉方向长的单晶。
文档编号C30B29/10GK101646809SQ200880005468
公开日2010年2月10日 申请日期2008年3月14日 优先权日2007年3月16日
发明者田中吉积, 藤井一宏 申请人:宇部兴产株式会社