一种单晶炉炉盖提升装置的制作方法

文档序号:8190609阅读:336来源:国知局
专利名称:一种单晶炉炉盖提升装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体涉及一种单晶炉炉盖提升装置。
背景技术
直拉法单晶炉工艺的要求,单晶炉设备必须有一套炉室提升装置,在取晶体、清理炉膛或者安装热场时,该装置必须使副室及炉盖提起一定高度并旋开,相关工作完成之后,再将副室及炉盖复位。目前大多数的直拉法单晶炉所采用的炉室提升机构,分为副室提升部分和炉盖提升部分,副室提升部分目前均可达到单晶炉操作要求。其炉盖提升部分,大都采用在炉盖上焊接提拉板,提升导柱上装有提升板,提升板及导柱座与导柱的配合孔内装有铜套,提升板与炉盖提拉板之间设置一个连接板,连接板固定在提升板上,连接板通过销轴与炉盖提拉 板连接,驱动油缸推动导柱带动提升炉盖。此结构有两点弊端1、提升板与导柱座孔内装有铜套,必须定期加润滑油维护,否则长期运行将对导柱有磨损,会降低提升精度。2、此结构由于炉盖自重的原因,提起来后,过渡板与提升板容易松动,炉盖总是以销轴为轴心转动而偏斜,这样炉盖降下放置在主炉室上时很难复位,不仅需要调整且不易保证复位精度,严重时影响到单晶炉的真空密封和上传动的水平及对中,最终影响单晶生长的品质。
发明内容为了克服上述现有技术存在的缺点,本实用新型的目的在于提供一种单晶炉炉盖提升装置,解决了目前单晶炉炉盖提升复位精度的技术问题。为达到上述目的,本实用新型采用以下技术方案一种单晶炉炉盖提升装置,包括固定在单晶炉炉盖I上的提拉板2,和提拉板2连接的连接板5,和连接板5固定连接的提升板6,提升板6通过其上的导柱配合孔和导柱9滑动连接,在单晶炉炉盖I上设有定位块4,连接板5上设有定位台,提升板6上设有第一可调顶丝7和第二可调顶丝8,提升炉盖时,第一可调顶丝7和第二可调顶丝8分别顶住连接板5上的定位台和单晶炉炉盖I上的定位块4。所述导柱9安装在第一导柱座10和第二导柱座11内,提升板6上的导柱配合孔内及第一导柱座10、第二导柱座11孔内均装有自润滑耐磨轴承。所述提拉板2和定位块4焊接在单晶炉炉盖I上。所述提拉板2通过销轴3与连接板5连接。所述连接板5和提升板6通过螺钉固定。本实用新型和现有技术相比具有如下优点I、提升炉盖时,提升板6上的第一可调顶丝7和第二可调顶丝8分别顶住连接板5上的定位台和单晶炉炉盖I上的定位块4,限制炉盖提升后由于自重而偏斜,能够提高单晶炉炉盖的提升和复位精度。2、导柱9上的第一导柱座10、第二导柱座11孔内及提升板6上的导柱配合孔内均装有自润滑耐磨轴承,结构简洁,免维护。

附图是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作更详细说明。如附图所示,本实用新型一种单晶炉炉盖提升装置,在单晶炉炉盖I上焊接提拉板2和定位块4,提拉板2通过销轴3与连接板5连接,连接板5与提升板6通过螺钉固定,连接板5上设有定位台,提升板6上设有第一可调顶丝7和第二可调顶丝8,提升板6上还设有导柱配合孔,孔内装有自润滑耐磨轴承,提升板6通过其上的导柱配合孔和导柱9滑动连接,导柱9上设有抱箍12,导柱9安装在第一导柱座10和第二导柱座11内,第一导柱座10和第二导柱座11孔内均装有自润滑耐磨轴承,导柱9下端设有油缸13,油缸13、第一导 柱座10以及第二导柱座11均安装在立柱14上,立柱14上设有限位器15。本实用新型的工作原理为油缸13工作,推动导柱9上移,当抱箍12上端面接触到提升板6下端面时,抱箍12推动提升板6上升,提升板6带动连接板5和提拉板2上升,最终带动单晶炉炉盖I上升,提升的过程中,第一顶丝7顶住定位块4,第二顶丝8顶住连接板5的定位台,防止炉盖由于自重而绕着销轴3转动偏斜,当提升板6上端面接触到限位器15时,提升动作停止;需要复位时,油缸13工作,导柱9下移,最终带动单晶炉炉盖I下移,当炉盖降在下炉室上时,油缸继续下移,抱箍12相对提升板6下端面脱开一定距离,下降动作停止,炉盖复位。
权利要求1.一种单晶炉炉盖提升装置,包括固定在单晶炉炉盖(I)上的提拉板(2),和提拉板(2)连接的连接板(5),和连接板(5)固定连接的提升板(6),提升板(6)通过其上的导柱配合孔和导柱(9)滑动连接,其特征在于在单晶炉炉盖(I)设有定位块(4),连接板(5)上设有定位台,提升板(6)上设有第一可调顶丝(7)和第二可调顶丝(8),提升炉盖时,第一可调顶丝(7)和第二可调顶丝(8)分别顶住连接板(5)上的定位台和单晶炉炉盖(I)上的定位块⑷。
2.根据权利要求I所述的单晶炉炉盖提升装置,其特征在于所述导柱(9)安装在第一导柱座(10)和第二导柱座(11)内,提升板(6)上的导柱配合孔及第一导柱座(10)和第二导柱座(11)孔内均装有自润滑耐磨轴承。
3.根据权利要求I所述的单晶炉炉盖提升装置,其特征在于所述提拉板(2)和定位块⑷焊接在单晶炉炉盖⑴上。
4.根据权利要求I所述的单晶炉炉盖提升装置,其特征在于所述提拉板(2)通过销轴⑶与连接板(5)连接。
5.根据权利要求I所述的单晶炉炉盖提升装置,其特征在于所述连接板(5)和提升板(6)通过螺钉固定。
专利摘要一种单晶炉炉盖提升装置,包括固定在单晶炉炉盖上的提拉板,和提拉板连接的连接板,和连接板固定连接的提升板,通过其上的导柱配合孔和导柱滑动连接,在单晶炉炉盖设有定位块,连接板上设有定位台,提升板上设有第一可调顶丝和第二可调顶丝,提升炉盖时,第一可调顶丝和第二可调顶丝分别顶住连接板上的定位台和单晶炉炉盖上的定位块;本实用新型提升装置限制炉盖提升后由于自重而偏斜,能够提高单晶炉炉盖的提升和复位精度。
文档编号C30B15/00GK202430324SQ20112056772
公开日2012年9月12日 申请日期2011年12月21日 优先权日2011年12月21日
发明者时刚, 武海军 申请人:西安创联新能源设备有限公司
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