专利名称：一种晶体预热装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体材料加工领域，尤其涉及ー种晶体预热装置。
背景技术：
在区熔炉中使用区熔法拉制晶体前，由于晶体不能被高频线圈感应，需要使用预热装置对区熔炉中的晶体进行预热，使晶体达到能被感应加热的状态。目前采用的预热装置为手动装置，包括操作手柄、连接杆和加热单元，操作手柄通过连接杆与加热单元固定连接，且操作手柄位于区熔炉外，连接杆穿过区熔炉的炉壁，加热単元位于区熔炉内。加热单元通常为预热叉或者预热环。当需要对区熔炉中位于炉膛中心的晶体进行预热时，操作人员通过操作手柄将加 热单元手动推到炉膛中心，当晶体被加热到一定温度后，操作人员再通过操作手柄将加热单元手动拉回，以远离炉膛中心。在使用上述区熔炉的过程中，由于预热装置为手动装置，当区熔炉具有较大直径吋，预热装置的位置相对较高，不便于操作人员进行操作，而且操作时运动的速度不够快，使得晶体原料容易冷却，又需要重新预热。另外，手动操作时容易因操作不当出现重大的损失。
发明内容
本发明的实施例提供ー种晶体预热装置，解决了现有预热装置操作不便、运动速度不够快、易出现重大损失的问题。为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案ー种晶体预热装置，用于对区熔炉内的所述晶体进行预加热，包括加热单元，还包括驱动装置，所述加热単元与所述驱动装置的连接杆固定连接；所述驱动装置固定在所述区熔炉的炉膛法兰外侧，且所述连接杆穿过所述炉膛法兰，所述驱动装置通过所述连接杆驱动所述加热单元。优选地，所述驱动装置与所述炉膛法兰间的固定方式为螺栓固定。优选地，所述的晶体预热装置，还包括调整块，所述加热単元通过所述调整块与所述驱动装置的连接杆固定连接。其中，所述的晶体预热装置，其特征在于，还包括固定环，所述连接杆的自由端通过所述固定环与所述调整块固定连接。优选地，所述连接杆的自由端具有凹孔，所述凹孔容纳部分所述调整块。优选地，所述调整块的用于连接所述加热単元的一端的端面上具有凹槽和螺孔，所述加热単元的用于连接所述调整块的一端的端面上具有与所述凹槽滑动配合的凸起及与所述螺孔相対的长圆孔；所述凸起用于使所述加热単元沿所述凹槽滑动；相对设置的所述螺孔与所述长圆孔用于通过螺钉将所述加热单元与所述调整块固定连接。其中，所述的晶体预热装置，还包括密封件，位于所述炉膛法兰与所述连接杆之间。本发明实施例提供的晶体预热装置中，由于加热单元12与驱动装置11的连接杆14连接，驱动装置11固定在区熔炉的炉膛法兰13外侧，且连接杆14穿过炉膛法兰13，驱动装置11通过连接杆14驱动加热单元12，因此，当需要对区熔炉中的晶体进行预热时，通过控制驱动装置11，可使驱动装置11的连接杆14驱动加热单元12在区熔炉内运动，从而使得加热单元12位于炉膛中心或者远离炉膛中心。由于驱动装置11的控制并不受限于驱动装置11的安装位置，因此可以选择方便操作人员进行操作的位置对驱动装置11进行控制，从而提高了操作便利性；另外由于驱动装置11的运动速度远大于人工操作的速度，使得加热单元12在区熔炉内运动速度较快，从而能保证晶体原料不易冷却，无需重新预热，并且，能避免因手动操作不当而出现重大的损失。
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本发明实施例提供的ー种晶体预热装置的示意图；图2为本发明实施例提供的另ー种晶体预热装置的示意图；图3为图2中加热单元的用于连接调整块的一端的端面放大图。
具体实施例方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。如图I所示，为本发明晶体预热装置的ー个具体实施例，本实施例中所述晶体预热装置，用于对区熔炉内的晶体进行预加热，包括加热单元12，还包括驱动装置11，加热单元12与驱动装置11的连接杆14固定连接，驱动装置11固定在所述区熔炉的炉膛法兰13外侧，且连接杆14穿过炉膛法兰13，驱动装置11通过连接杆14驱动加热单元12。本发明实施例提供的晶体预热装置中，由于加热单元12与驱动装置11的连接杆14连接，驱动装置11固定在区熔炉的炉膛法兰13外侧，且连接杆14穿过炉膛法兰13，驱动装置11通过连接杆14驱动加热单元12，因此，当需要对区熔炉中的晶体进行预热时，通过控制驱动装置11，可使驱动装置11的连接杆14驱动加热单元12在区熔炉内运动，从而使得加热单元12位于炉膛中心或者远离炉膛中心。由于驱动装置11的控制并不受限于驱动装置11的安装位置，因此可以选择方便操作人员进行操作的位置对驱动装置11进行控制，从而提高了操作便利性；另外由于驱动装置11的运动速度远大于人工操作的速度，使得加热单元12在区熔炉内运动速度较快，从而能保证晶体原料不易冷却，无需重新预热，并且，能避免因手动操作不当而出现重大的损失。其中，炉膛法兰13是固设在区熔炉上的，与区熔炉为一个整体结构。用于连接穿设在区熔炉炉壁上的ー些组件。如图2所示，为本发明晶体预热装置的另ー个具体的实施例。在图2所示的晶体预热装置中，驱动装置21与炉膛法兰22间的固定方式为螺栓固定。由于驱动装置21与炉膛法兰22间的固定方式为螺栓固定，可以使所述晶体预热装置的安装、拆卸以及维修方便。图2所示的晶体预热装置中，还包括调整块23，加热单元24通过调整块23与驱动装置21的连接杆25固定连接。由于加热单元24通过调整块23与驱动装置21的连接杆25固定连接，当驱动装置21的连接杆25运动时，通过调整块23可以带动与调整块23固定连接的加热单元24 —起运动。 图2所示的晶体预热装置中，还包括固定环26，连接杆25的自由端通过固定环26与调整块23固定连接。固定环26使得连接杆25与调整块23的连接更稳固。另外，图2所示的晶体预热装置中，连接杆25的自由端具有凹孔27，凹孔27容纳部分调整块23。由于连接杆25的自由端具有凹孔27，凹孔27可以容纳部分调整块23，这样设置，一方面调整块23可以相对于连接杆25发生轴向或周向运动，当需要改变与调整块23连接部件的位置吋，只需让调整块23在凹孔27中转动或移动就可以实现与所述调整块23连接部件的位置变化。另ー方面，因为连接杆25自由端的凹孔27容纳着部分调整块23，可以进一步提高连接杆25与调整块23的连接稳固性。參见图2和图3，上述的晶体预热装置中，调整块23的用于连接加热单元24的一端的端面上具有凹槽28和螺孔，加热单元24的用于连接调整块23的一端的端面上具有与凹槽28滑动配合的凸起29及与所述螺孔相対的长圆孔31 ;凸起29用于使加热单元24沿凹槽28滑动；相对设置的所述螺孔与长圆孔31用于通过螺钉将加热单元24与调整块23固定连接。由于调整块23的用于连接加热单元24的一端的端面上具有凹槽28和所述螺孔，加热单元24的用于连接调整块23的一端的端面上具有与凹槽28滑动配合的凸起29及与所述螺孔相対的长圆孔31，凸起29用于使加热单元24沿凹槽28滑动，相对设置的所述螺孔与长圆孔31用于通过螺钉将加热单元24与调整块23固定连接，因此，可以调整加热单元24在竖直方向的位置，使得加热单元24在位于炉膛中心时能实现高度的调整。当加热単元24的位置调整完毕后，将加热単元24通过螺钉穿过所述长圆孔与所述螺孔配合，可实现加热单元24与调整块23的固定连接。图2所示的晶体预热装置，还包括密封件201，位于炉膛法兰22与连接杆25之间。由于密封件201位于炉膛法兰22与连接杆25之间，可防止炉膛内的气体从连接杆25与炉膛法兰22接触处泄露而导致所述炉膛漏气，有效地保证了所述炉膛的气密性。上述实施例所述的驱动装置可以为气缸、液压缸等部件。以上所述，仅为本发明的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
权利要求
1.ー种晶体预热装置，用于对区熔炉内的晶体进行预加热，包括加热单元，其特征在于，还包括驱动装置，所述加热単元与所述驱动装置的连接杆固定连接； 所述驱动装置固定在所述区熔 炉的炉膛法兰外侧，且所述连接杆穿过所述炉膛法兰； 所述驱动装置通过所述连接杆驱动所述加热単元。
2.根据权利要求I所述的晶体预热装置，其特征在于，所述驱动装置与所述炉膛法兰间的固定方式为螺栓固定。
3.根据权利要求I所述的晶体预热装置，其特征在于，还包括调整块，所述加热単元通过所述调整块与所述驱动装置的连接杆固定连接。
4.根据权利要求3所述的晶体预热装置，其特征在于，还包括固定环，所述连接杆的自由端通过所述固定环与所述调整块固定连接。
5.根据权利要求3所述的晶体预热装置，其特征在于，所述连接杆的自由端具有凹孔，所述凹孔容纳部分所述调整块。
6.根据权利要求3所述的晶体预热装置，其特征在于，所述调整块的用于连接所述加热单元的一端的端面上具有凹槽和螺孔，所述加热単元的用于连接所述调整块的一端的端面上具有与所述凹槽滑动配合的凸起及与所述螺孔相对的长圆孔； 所述凸起用于使所述加热単元沿所述凹槽滑动； 相对设置的所述螺孔与所述长圆孔用于通过螺钉将所述加热单元与所述调整块固定连接。
7.根据权利要求I所述的晶体预热装置，其特征在于，还包括密封件，位于所述炉膛法兰与所述连接杆之间。
全文摘要
本发明公开了一种晶体预热装置，涉及半导体材料加工领域，解决了现有预热装置操作不便、运动速度不够快、易出现重大损失的问题。晶体预热装置，用于对区熔炉内的晶体进行预加热，包括加热单元和驱动装置，加热单元与驱动装置的连接杆固定连接，驱动装置固定在区熔炉的炉膛法兰外侧，且连接杆穿过炉膛法兰，驱动装置通过连接杆驱动加热单元。
文档编号C30B13/00GK102864490SQ20121032239
公开日2013年1月9日 申请日期2012年9月3日 优先权日2012年9月3日
发明者袁静, 张继宏, 李岩 申请人:北京京运通科技股份有限公司