电极结构和有机发光单元及其制造方法_2

文档序号:9398302阅读:来源:国知局
层201的顶面,并且在与条状隔离物20的延伸方向 相垂直的平面内,上层202的底面宽度大于下层201的顶面宽度。
[0040] 多个条状隔离物20相互平行地设置,并且沿图1的水平方向延伸,图2示意了与 图1延伸方向相垂直的截面图。从图中可以看出,上层202的底面宽度大于下层201的顶 面宽度能使电极30的第一部分301与第二部分302彼此分离并且相互绝缘。在一个示例 中,为了进一步保证电极30的第一部分301与第二部分302彼此分离,下层201的上表面优 选高于电极30的第二部分302的上表面,例如高600nm。图2中,上层202和下层201构成 的叠层的截面为轴对称。优选地,上层202 -侧的最大宽度w2比位于同一侧的下层201的 最大宽度wl大Ιμπι~2μηι。然而,在本发明其他实施例中,叠层可以不是轴对称的,例如 下层201的中心可以与上层202的中心错开一定距离,只要上层的底面能够完全覆盖所述 下层的顶面,同样可以实现本发明目的。在此情况下,上层202的底面宽度优选比下层201 的底面宽度大2 μ m~4 μ m。在理想情况下,各层的截面应为矩形,但受实际刻蚀工艺影响, 各层的截面实际多为梯形。
[0041] 在一个示例中,上层202和下层201之一由树脂材料制成,另一层由无机绝缘材料 制成。例如,由无机绝缘材料制成的层的厚度为〇. 2 μ m~1 μ m,若太薄强度不够,若太厚存 在产能和薄膜应力问题,该厚度优选为〇. 4 μ m~0. 6 μ m。在一个示例中,由树脂材料制成 的层的厚度为1 μ m~3 μ m,若太薄隔离效果差,若太厚存在材料浪费和薄膜应力问题,该 厚度优选为1. 5 μ m~2 μ m。
[0042] 在一个示例中,上层202可由无机绝缘材料制成,例如SiNx、SiOx、SiON、AlOx等, 因此强度高;即使在旋涂后进行刮边动作时,依然不会被破坏;下层201可由树脂材料制 成,例如热固化树脂或光固化树脂,包括常用的正性、负性光刻胶、环氧树脂等,这些材料的 耐温性在130°C以上,具有一定的机械强度,而且隔离效果较好。
[0043] 在另一个示例中,上层202可由树脂材料制成,下层201可由无机绝缘材料制成。 在此情况下,为了便于条状隔离物的制造,该树脂材料优选采用感光树脂,以便其被图案化 后作为掩模使用。无机绝缘材料的具体示例可参见上述示例。
[0044] 在本实施例中,条状隔离物采用由无机绝缘层和树脂层构成的双层结构,不仅提 高了机械强度,而且有利于电极30的两个部分(第一部分301和第二部分302)彼此绝缘, 从而避免了短路,提高了电极结构的稳定性。该条状隔离物可广泛应用在显示技术领域,尤 其是在基板上制造彼此绝缘的电极图案时。下面以该条状隔离物应用于有机发光单元为例 做进一步说明,但是本公开的范围不限于此。
[0045] 如图3a和3b所示,根据本发明另一实施例,提供一种有机发光单元,包括:衬底基 板100 ;依次设置在衬底基板100上的金属电极102、层间介质层104、第一电极106 ;设置在 第一电极106上的多个条状隔离物20 ;和设置在相邻两个条状隔离物20之间的有机发光 层400。该有机发光单元还包括覆盖基板表面的第二电极30,该第二电极30包括位于每个 条状隔离物表面上的第一部分301和位于有机发光层400表面上的第二部分302。每个条 状隔离物20包括位于下层201的第一材料层和位于上层202的第二材料层。第一材料层 和第二材料层由不同材料制成。例如,第一材料层和第二材料层之一由树脂材料制成,另一 层由无机绝缘材料制成。上层202的底面完全覆盖下层201的顶面,并且在与条状隔离物 20的延伸方向相垂直的平面内,上层202的底面宽度大于下层201的顶面宽度以使第二电 极30的第一部分301与第二部分302彼此分尚并且相互绝缘。
[0046] 本实施例中,条状隔离物20的布局、材料和厚度与前述实施例相同,此处不再赘 述。与前述实施例不同的是,本实施例在衬底基板100上设置了多个功能层,包括金属电极 102、层间介质层104、第一电极106、有机发光层400。这里,衬底基板100可以采用例如玻 璃、石英、塑料等透明基板。金属电极102可以由金属或合金材料制成。层间介质层104可 以由绝缘材料制成,例如Si0x、SiNx等。该层间介质层104上设置有过孔,第一电极106通 过该过孔与层间介质层104电连接。
[0047] 本实施例中,第一电极106用作阴极,第二电极30用作阳极,有机发光层400夹在 阴极和阳极之间。可以理解的是,图3b的有机发光单元的构造仅为示意性的,在本发明其 他实施例中,可以省略金属电极102、层间介质层104,同样可以实现本发明目的。另外,也 可以在阴极106和阳极30之间额外设置空穴注入层、空穴传输层、电子注入层、电子传输层 等,从而进一步提尚有机发光单兀的性能。
[0048] 在本实施例中,有机发光单元中阴极隔离物采用由无机绝缘层和树脂层构成的双 层结构,不仅提高了机械强度,而且有利于第二电极的两个部分(第一部分301和第二部分 302)彼此绝缘,从而避免了短路,提高了阴极稳定性。
[0049] 根据本发明实施例再一实施例,提供一种有机发光单元的制造方法,如图4所示, 该方法包括以下步骤:
[0050] SlOl :在衬底基板之上形成第一电极;
[0051] S102 :在第一电极上形成第一材料层;
[0052] S103:在第一材料层上形成第二材料层并且图案化第二材料层以得到多个第一条 状物;
[0053] S104:以多个第一条状物作为掩模刻蚀第一材料层以得到多个第二条状物,使得 彼此层叠的每个第一条状物和每个第二条状物构成条状隔离物;
[0054] S105 :在多个条状隔离物之间形成有机发光层;以及
[0055] S106:在基板表面形成第二电极,第二电极包括位于每个条状隔离物表面上的第 一部分和位于有机发光层表面上的第二部分;第一材料层和第二材料层由不同材料制成; 在与条状隔离物的延伸方向相垂直的平面内,第二材料层的底面宽度大于第一材料层的顶 面宽度,并且第二材料层的底面完全覆盖第一材料层的顶面。
[0056] 在一个示例中,为了制造图3b所示的有机发光单元,步骤SlOl还可以包括在形成 第一电极106之前,在衬底基板100上形成金属电极102和层间介质层104,其中层间介质 层104中形成有过孔,以使第一电极106通过该过孔与金属电极102电连接。
[0057] 下面以图3b有机发光单元中条状隔离物20的下层为树脂层、上层为无机绝缘层 为例进一步说明该有机发光单元的制造方法。
[0058] 根据本发明又一实施例,提供一种有机发光单元的制造方法,包括以下步骤:
[0059] S201 :在衬底基板100上依次形成金属电极102、层间介质层104和第一电极106, 其中层间介质层104设置有过孔,该金属电极102通过该过孔与第一电极106电连接。
[0060] 在一个示例中,该步骤S201可包括以下步骤S201a~S201c。
[0061] S201a :在衬底基板100上形成金属薄膜,并且通过构图工艺图案化该金属薄膜以 形成多个金属电极
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