[0083] 在一个示例中，步骤S301可包括S201a~S201c，如图5a至7b所示。
[0084] S302 :在第一电极106上形成用于第一材料层的无机绝缘薄膜114,然后在无机绝 缘薄膜上形成用于第二材料层的树脂薄膜116,如图13所示；接下来，通过曝光、显影工艺 图案化该树脂薄膜116以得到由树脂材料制成的多个第一条状物202'并且暴露部分无机 绝缘薄膜，如图14所示。
[0085] S303 :以多个第一条状物202'作为掩模通过干法刻蚀工艺刻蚀暴露的无机绝缘 薄膜114以得到由无机绝缘材料制成的多个第二条状物201'，如图15所示。该第一条状物 202'和第二条状物201'构成了条状隔离物20。
[0086] 在干法刻蚀工艺中，刻蚀气体和上一实施例相同。
[0087] S304:与步骤 S206 相同。
[0088] S305 :与步骤 S207 相同。
[0089] 本实施例中，无机绝缘薄膜114与前述实施例中无机绝缘薄膜110在材料和厚度 上相同。然而，本实施例中树脂薄膜采用感光树脂，优选为DPI-1000,这样更有利于用作掩 模，使成本降低。薄膜的形成工艺与前述实施例相同。由于第一条状物202'的宽度大于第 二条状物201'的宽度，第二电极30的第一部分301与第二部分302彼此分离并且相互绝 缘。
[0090] 在本实施例中，有机发光单元的阴极隔离物采用无机绝缘层/树脂层构成的双层 结构，不仅提高了机械强度，而且有利于两个电极部分（第一部分301和第二部分302)彼 此绝缘，从而避免了短路，提高了阴极稳定性。
[0091] 以上所述仅是本发明的示范性实施方式，而非用于限制本发明的保护范围，本发 明的保护范围由所附的权利要求确定。
【主权项】
1. 一种电极结构，包括： 基板； 设置在所述基板上的多个条状隔离物；和 覆盖基板表面的电极，该电极包括位于每个条状隔离物表面上的第一部分和位于两个 相邻条状隔离物之间的第二部分； 其中，每个条状隔离物包括彼此层叠的上层和下层，所述上层和所述下层由不同材料 制成；所述上层的底面完全覆盖所述下层的顶面，并且在与所述条状隔离物的延伸方向相 垂直的平面内，所述上层的底面宽度大于所述下层的顶面宽度。2. 根据权利要求1所述的电极结构，其中所述下层的上表面高于所述电极的第二部分 的上表面。3. 根据权利要求1所述的电极结构，其中所述上层的底面宽度比所述下层的底面宽度 大 2ym ~4tim〇4. 根据权利要求1所述的电极结构，其中在与所述条状隔离物的延伸方向相垂直的平 面内，由所述上层和所述下层构成的叠层的截面为轴对称。5. 根据权利要求1所述的电极结构，其中所述上层和所述下层之一由树脂材料制成， 另一层由无机绝缘材料制成。6. 根据权利要求3所述的电极结构，其中由所述无机绝缘材料制成的层的厚度为 0. 2 ym~I ym，由所述树脂材料制成的层的厚度为I ym~3 ym。7. -种有机发光单元，包括： 衬底基板； 设置在所述衬底基板之上的第一电极； 设置在所述第一电极上的多个条状隔离物； 设置在相邻两个条状隔离物之间的有机发光层；和 覆盖基板表面的第二电极，所述第二电极包括位于每个条状隔离物表面上的第一部分 和位于所述有机发光层表面上的第二部分； 其中，每个条状隔离物包括位于下层的第一材料层和位于上层的第二材料层，所述第 一材料层和所述第二材料层由不同材料制成；所述上层的底面完全覆盖所述下层的顶面， 并且在与所述条状隔离物的延伸方向相垂直的平面内，所述上层的底面宽度大于所述下层 的顶面宽度。8. 根据权利要求7所述的有机发光单元，其中所述上层的底面宽度比所述下层的底面 2 ym ~ 4 ym〇9. 根据权利要求7所述的有机发光单元，其中所述第一材料层和所述第二材料层之一 由树脂材料制成，另一层由无机绝缘材料制成。10. 根据权利要求9所述的有机发光单元，其中由所述无机绝缘材料制成的层的厚度 为0. 2 ym~I ym，由所述树脂材料制成的层的厚度为I ym~3 ym。11. 一种有机发光单元的制造方法，包括： 在衬底基板之上形成第一电极； 在所述第一电极上形成第一材料层； 在所述第一材料层上形成第二材料层并且图案化所述第二材料层以得到多个第一条 状物； 以多个第一条状物作为掩模刻蚀所述第一材料层以得到多个第二条状物，使得彼此层 叠的第一条状物和第二条状物构成条状隔离物； 在多个条状隔离物之间形成有机发光层；以及 在基板表面形成第二电极，所述第二电极包括位于每个条状隔离物表面上的第一部分 和位于所述有机发光层表面上的第二部分； 其中所述第一材料层和所述第二材料层由不同材料制成；在与所述条状隔离物的延伸 方向相垂直的平面内，所述第二材料层的底面宽度大于所述第一材料层的顶面宽度，并且 所述第二材料层的底面完全覆盖所述第一材料层的顶面。12. 根据权利要求11所述的方法，其中所述第一材料层由树脂材料制成，所述第二材 料层由无机绝缘材料制成。13. 根据权利要求12所述的方法，其中， 形成用于所述第一材料层的树脂薄膜，然后在所述树脂薄膜上形成用于所述第二材料 层的无机绝缘薄膜； 在所述无机绝缘薄膜上形成光刻胶，并且通过曝光、显影工艺图案化该光刻胶以暴露 部分无机绝缘薄膜；以及 通过干法刻蚀工艺刻蚀暴露的部分无机绝缘薄膜以得到由所述无机绝缘材料制成的 多个第一条状物。14. 根据权利要求13所述的方法，其中， 以所述多个第一条状物作为掩模通过灰化工艺处理所述树脂薄膜以同时去除部分树 脂薄膜和剩余的光刻胶，得到由树脂材料制成的多个第二条状物。15. 根据权利要求14所述的方法，其中在所述灰化工艺中，灰化气体为氧气等离子体。16. 根据权利要求11所述的方法，其中所述第一材料层由无机绝缘材料制成，所述第 二材料层由树脂材料制成。17. 根据权利要求16所述的方法，其中， 形成用于所述第一材料层的无机绝缘薄膜，然后在所述无机绝缘薄膜上形成用于所述 第二材料层的树脂薄膜，并且通过曝光、显影工艺图案化该树脂薄膜以得到由树脂材料制 成的多个第一条状物并且暴露部分无机绝缘薄膜。18. 根据权利要求17所述的方法，其中， 以所述多个第一条状物作为掩模通过干法刻蚀工艺刻蚀暴露的无机绝缘薄膜以得到 由无机绝缘材料制成的多个第二条状物。19. 根据权利要求16所述的方法，其中所述树脂材料为感光树脂。
【专利摘要】一种电极结构和有机发光单元及其制造方法。该电极结构包括：基板；设置在所述基板上的多个条状隔离物；和覆盖基板表面的电极，该电极包括位于每个条状隔离物表面上的第一部分和位于两个相邻条状隔离物之间的第二部分；每个条状隔离物包括彼此层叠的上层和下层，所述上层和所述下层由不同材料制成；所述上层的底面完全覆盖所述下层的顶面，并且在与所述条状隔离物的延伸方向相垂直的平面内，所述上层的底面宽度大于所述下层的顶面宽度。
【IPC分类】H01L51/56, H01L51/52
【公开号】CN105118929
【申请号】CN201510482988
【发明人】何晓龙, 舒适, 徐威, 曹占锋, 姚琪
【申请人】京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年8月3日